Materiały pomocnicze do wykładów i laboratorium z
Transkrypt
Materiały pomocnicze do wykładów i laboratorium z
POLITECHNIKA KOSZALIŃSKA KATEDRA INŻYNIERII MATERIAŁOWEJ Materiały pomocnicze do ćwiczeń laboratoryjnych z tematyki - wyładowania elektryczne w gazach rozrzedzonych - budowa i zasada działania magnetronu DC - wybrane właściwości powłok uzyskiwanych metodą PVD Opracował dr Kazimierz Reszka, z udziałem Patryka Śmigielskiego Koszalin 2004 Spis treści I. Wyładowania elektryczne w gazach rozrzedzonych 1.1 Wstęp do teorii wyładowań 1.1.1 Pojęcie energii wzbudzania i energii jonizacji 1.1.2 Sposoby jonizacji 1.1.3 Pojęcie przekroju czynnego i długości drogi swobodnej 1.2 Mechanizm wyładowań 1.3 Wyładowania anormalne w technice magnetronowej II. Magnetrony DC 2.1 Emisja elektronu z metalu, rodzaje emisji 2.2 Oddziaływanie pola elektrycznego i magnetycznego na ładunek elektryczny (elektron) 2.3 Budowa magnetronu i mechanizm rozpylania magnetronowego 2.4 Mody pracy magnetronu 2.5 Warunki pracy magnetronu (stabilne, niestabilne) 2.6 Typy i układy magnetronów III. Wybrane właściwości powłok uzyskiwanych metodą PVD 3.1 Rodzaje powłok 3.2 Modele osadzania powłok 3.3 Przygotowanie podłoża pod powłoki 3.4 Właściwości eksploatacyjne powłok osadzanych metodami PVD 3.4.1 Ogólna charakterystyka 3.4.2 Właściwości dekoracyjne 3.4.3 Właściwości tribologiczne 3.4.4 Właściwości antykorozyjne 3.4.5 Właściwości optyczne i elektryczne IV. Dodatek do ćwiczeń laboratoryjnych 4.1 Budowa i zasada działania stanowiska do badań z zakresu wyładowań elektrycznych 4.2 Budowa i zasada działania stanowiska do badań z zakresu rozpylania magnetronowego PVD 1.1 Wstęp do teorii wyładowań 1.1.1 Pojęcie energii wzbudzania i energii jonizacji Wyładowania elektryczne możliwe są dzięki procesom wzbudzania i jonizacji atomów cząsteczek. Wzbudzanie atomu polega na zmianie poziomów energetycznych elektronów przez dostarczenie obojętnej cząsteczce kwantu energii. E1- kwant energii wzbudzania E2 – kwant energii wypromieniowanej h – stała Plancka νi – częstotliwość fali E1 = h ⋅ ν1 E2 = h ⋅ν 2 Energia wzbudzania jest najmniejszą energią potrzebną do zainicjowania przejścia elektronu z jednego stanu energetycznego w drugi E w = E 2 − E1 Energii tej odpowiada napięcie wzbudzania Ew e Odwrotność częstotliwości promieniowania związanego z przejściem elektronu jest miarą długości fali. −1 Uw = fi =ν i Promieniowanie widzialne zawiera się w przedziale długości fal o f ∈ (4 ÷ 8000) A gdzie dolna granica odpowiada promieniowaniu widzialnemu o kolorze czerwonym, natomiast górna promieniowaniu widzialnemu o kolorze niebieskim. Jonizacja cząsteczki związana jest z wybiciem elektronu obojętnej cząsteczki w wyniku wzajemnych zderzeń cząsteczek. Dzięki jonizacji zwiększa się ilość nośników ładunku, co sprzyja wyładowaniu. Najmniejsza energia potrzebna do wybicia elektronu, E2 = h ⋅ν 2 E1 = h ⋅ν1 podobnie jak w przypadku energii wzbudzania, definiowana jest różnicą poziomów energetycznych E2 i E1. Napięcie jonizacji Uj jest z kolei stosunkiem energii jonizacji Ej do ładunku e Uj = Ej e 1.1.Sposoby jonizacji Na ogół gazy są izolatorami, gdyż wynika to z ich obojętnych elektrycznie cząsteczek. Przewodnictwo elektryczne w gazie może zaistnieć tylko wtedy, gdy pewna część cząsteczek uległa jonizacji. Pod wpływem zewnętrznego pola elektrycznego swobodne ładunki zaczną się przemieszczać, tj. nastąpi przepływ prądu. Jonizacja gazu wymaga dostarczenia cząsteczkom energii w postaci energii kinetycznej (podczas ich zderzeń) lub w postaci odpowiedniego promieniowania. Czynnikami umożliwiającymi jonizację są: Wysoka temperatura Wzrost temperatury powoduje wzrost energii kinetycznej cząsteczek, co zwiększa prawdopodobieństwo zderzeń a tym samym jonizacji. Promieniowanie jonizujące( rentgenowskie, nadfioletowe lub jądrowe) Przykładem może być promieniowanie nadfioletowe i rentgenowskie Słońca, powodujące tworzenie się warstwy przewodzącej (jonosfery), sprzyjającej rozchodzeniu się fal radiowych. Warto też wiedzieć, że promieniowanie nadfioletowe, wyemitowane podczas wyładowania atmosferycznego i pochłonięte przez ośrodek, wpływa na dalszą jonizację i dalsze rozprzestrzenianie się wyładowania. Duże natężenie pola elektrycznego Duże natężenie pola elektrycznego rozpędza jony i elektrony do tak wielkiej prędkości, że w czasie zderzeń z obojętnymi cząsteczkami gazu te ostatnie ulegają dalszej jonizacji. Dzięki temu liczba jonów może się lawinowo zwiększyć, nawet jeśli początkowo było ich niewiele. Taki mechanizm wyładowania odgrywa szczególnie ważną rolę w niskich ciśnieniach, gdyż wtedy zderzenia jonów i cząsteczek są rzadsze, a więc długość drogi swobodnej jest większa. 1.1.3 Pojęcie przekroju czynnego i długości drogi swobodnej Również decydującym czynnikiem sprzyjającym wyładowaniu jest ciśnienie gazu, gdyż właśnie od jego koncentracji zależy swobodny przepływ ładunku. Miarą koncentracji gazu jest długość drogi swobodnej λs, zależna od ciśnienia gazu oraz energii kinetycznej jego cząsteczek. m⋅v 2 λs = 3 2 ⋅ π ⋅ d 02 ⋅ p Do analizy procesu jonizacji wprowadzono pojęcie przekroju czynnego Sc. Przekrój ten jest miarą efektywnej powierzchni tarczy na zajście procesu jonizacji. Rys. 1. Model przekroju czynnego zderzenia dwóch jednakowych cząsteczek gazu Wielkość przekroju czynnego zależy od takich czynników jak położenie energetyczne jonizowanego poziomu, wielkość oddziaływania czy prędkość wzajemna poruszających się cząstek. Przekrój czynny na jonizację ma dosyć złożoną zależność od energii kinetycznej cząstek. W przypadku, gdy jonizowana cząstka spoczywa, przekrój czynny na jonizację będzie niezerowy dopiero, gdy energia kinetyczna jonizującego elektronu będzie większa od energii jonizacji Przekrój czynny osiąga maksimum przy energiach rzędu 2-3 energii jonizacji i następnie wolno spada aż do osiągnięcia stałej wartości. Rys.2. Zależność przekroju czynnego na jonizację w zależności od energii elektronu Prawdopodobieństwo jonizacji cząstki w zderzeniu z elektronem zależy od wielu czynników, takich jak na przykład prędkość cząstek czy energia jonizacji. Jeżeli energia przekazana w zderzeniu będzie mniejsza od energii jonizacji to jonizacja nie zaistnieje. Energie jonizacji zostały przedstawione poniżej dla kilku wybranych cząsteczek Tab.1 Energie jonizacji jednokrotnej dla przykładowych gazów Cząsteczka Energia jonizacji [eV] H2O 12.6 CO2 14.4 C6H6 9.6 N2 15.5 O2 12.5 W rzeczywistości bardzo rzadko możemy mówić o fizycznym uderzeniu jednego elektronu w drugi. Oddziaływanie tych cząstek ma naturę elektromagnetyczną. Wielkość przekazanej energii będzie zależała od parametru zderzenia. Im większy parametr zderzenia tym mniejsza będzie wielkość energii przekazanej w "zderzeniu". Możemy w związku z tym określić pewną graniczną wartość parametru zderzeniu powyżej którego przekaz energii jest niewystarczający na oderwanie elektronu. Wartość granicznego parametru zderzenia, a tym samym objętość Vc aktywnego obszaru jonizacji będzie rosła z pierwotną energią elektronu powodującego jonizację. Temu zjawisku zawdzięczamy wzrost prawdopodobieństwa jonizacji ze wzrostem energii pocisku. Jednak wielkość przekazanej energii będzie zależała nie tylko od parametru zderzenia, lecz również i od czasu oddziaływania cząstek. Jeżeli ten czas będzie zbyt krótki, to pomimo posiadania przez cząstkę wystarczającej energii kinetycznej proces jonizacji nie zajdzie. Powyższe ograniczenie powoduje, że po przekroczeniu pewnej wartości energii kinetycznej pocisku, prawdopodobieństwo jonizacji zaczyna spadać. 1.2 Mechanizm wyładowań elektrycznych Mechanizm wyładowań elektrycznych opisuje charakterystyka prądowo-napięciowa. Rys.3. Charakterystyka prądowo-napięciowa wyładowania elektrycznego w gazie rozrzedzonym W każdym gazie znajduje się określona liczba nośników wynikających z oddziaływania promieniowania kosmicznego. Dzięki temu już przy niewielkiej różnicy potencjałów przyłożonej do zacisków anody A i katody K, popłynie niewielki prąd rzędu 10-15A. Niewielki wzrost napięcia na katodzie nie wywołuje wzrostu natężenia przepływu nośników (A-B strefa wyładowania cichego). Istnieje pewna wartość napięcia, w której zaczyna się proces jonizacji gazu. Przyłożona różnica potencjałów sprawia, że energia zderzeń jest większa od energii jonizacji (warunek zaistnienia procesu jonizacji) Uj = Ej e Przy tym napięciu następuje przyrost prądu spowodowany przyrostem nośników ładunku w wyniku jonizacji (B-C). Ten przedział prądowy odpowiada wyładowaniom niesamodzielnym (Townseda), tzn. że obniżenie napięcia zasilającego spowoduje przejście do strefy cichego wyładowania (A-B). Od momentu jonizacji, niewielki przyrost napięcia zasilającego powoduje zainicjowanie wyładowania jarzeniowego podnormalnego (przejście w obszar wyładowań samodzielnych). Jeżeli w układzie zasilającym obecny będzie opornik R o rezystancji powyżej 1MΩ, - + Rys.4. Schemat układu lampy wyładowczej R lampa wyładowcza to między wyładowaniem Townseda a jarzeniowym wystąpi jeszcze wyładowanie koronowe o łagodnej charakterystyce (C-D). Ten obszar ma decydujące znaczenie w działaniu licznika Geigera-Mullera. Silne zewnętrzne promieniowanie przechodząc przez lampę wyładowczą jest w stanie uzupełnić ilość nośników (przez oddziaływanie jonizujące) na tyle, by przejść w obszar jarzeniowego wyładowania podnormalnego.Nagły spadek potencjału (C-E) to przejście z wyładowania jarzeniowego podnormalnego w normalne (moment stabilizacji napięcia jarzeniowego Uwj) W tym zakresie następuje rozwinięcie poświaty przykatodowej, tj. rozwinięcie plamki katodowej aż do pokrycia całej katody (rys.5). Rozwinięciu towarzyszy silny I II K K III K Rys.5 Rozrost plamki katodowej przyrost nośników ładunków, co objawia się wzrostem prądu wyładowania bez konieczności zwiększania napięcia zasilającego. Poniżej (rys.6) przedstawione zostały rozkłady charakterystycznych wielkości w przestrzeni międzyelektrodowej oraz strefy wyładowania widoczne w lampie wyładowczej Rys.6. Rozkład charakterystycznych wielkości wyładowania w przestrzeni międzyelektrodowej Dokonując analizy energetycznej gazu w stanie zjonizowanym można stwierdzić, że ulega on przemianom energetycznym, które wyrażane są przez moc wydzielaną. Moc ta, bez praktycznego znaczenia, zmienia się od wartości niskoenergetycznych 10-3W (odcinek O-A, przy I=10-15A, U=100V) poprzez średnio energetyczne 1kW (odcinek F-G, przy I=1A, U=1000V) aż po wysokoenergetyczne 10kW (odcinek H-I, przy I=10A, U=100V). 1.3 Wyładowania anormalne w technice magnetronowej Rys.7. Charakterystyka prądowo-napięciowa anomalnego wyładowania jarzeniowego Istnieje możliwość zwiększenia natężenia prądu wyładowania przez zwiększenie ciśnienia gazu (zwiększenie koncentracji) lub napięcia zasilającego. Przyrost ten zachodzi liniowo a jego zakres zwany jest zakresem wyładowań anormalnych (F-G). Z uwagi na możliwość precyzyjnego sterowania mocą wyładowania zakres ten wykorzystuje się w stałoprądowych źródłach rozpylających typu magnetron. Punkt G wyznacza granicę napięcia i ciśnienia gazu, w której jego stan energetyczny jest na tyle wysoki by przejść do samoistnego zapłonu wyładowania łukowego (plazmy). Wskutek spadku napięcia i wzrostu natężenia prądu wyładowania spada oporność gazu (G-H). W tym stanie o jonizacji decyduje głównie bardzo wysoka temperatura (joizacja termiczna), a w mniejszym stopniu potencjał pola elektrycznego (p.H). Jest to proces spontaniczny. Dalszy przepływ prądu jest możliwy na tyle na ile układ jest odporny termicznie i zabezpieczony odpowiednim opornikiem (od p.H) 2.1 Emisja elektronu z metalu, rodzaje emisji Istnieją cztery mechanizmy emisji elektronów z powierzchni metalu: - termoelektronowa – elektrony emitowane są z ogrzewanej powierzchni metalu; - fotoelektronowa – światło padające na metal wybija z jego powierzchni elektrony; - wtórna – wysokoenergetyczne cząstki padając na pewne substancje, uwalniają elektrony z ich powierzchni; - polowa – silne pole elektryczne wyrywa elektrony z powierzchni metalu. W każdej temperaturze, wewnątrz metalu, istnieje pewna ilość elektronów, których energia jest wystarczająca do pokonania bariery potencjału, lecz prąd wywołany tymi elektronami jest w warunkach normalnych (tj. w temp. T=293K) bardzo słaby. Prąd o praktycznym znaczeniu występuje w temp. 1000K a nawet 2500K. Rys.8. Zmiana potencjału na granicy metal próżnia Powyższy rysunek przedstawia energię potencjalną elektronu wewnątrz metalu jako funkcję odległości wzdłuż linii łączącej środki atomów. Linia pionowa stanowi powierzchnię metalu. Energia wyjścia elektronu jest równa pracy wyjścia eϕ. Gęstość prądu emisyjnego określana jest równaniem J = e ⋅ Vx ⋅ e Vx n px px0 m ϕ ne m3 – elementarny ładunek – prędkość elektronu w kierunku x – liczba elektronów o px>px0 – składowa pędu elektronu – krytyczna wartość pędu elektronu – masa elektronu – potencjał wyjścia W przypadku emisji fotoelektronowej energia kwantu światła hν, padającego na powierzchnię metalu, musi być większa od pracy wyjścia elektronu eϕ. Rys.9. Efekt oddziaływania kwantu energii świetlnej z powierzchnią katody Prędkość wyrzuconego z powierzchni elektronu można określić z poniższego przekształcenia mV hν − eϕ hν − eϕ = 0 x ⇔ Vx = 2 ⋅ 2 m0 2 2.2 Oddziaływanie pola elektrycznego i magnetycznego na ładunek elektryczny (elektron) Pole magnetyczne i elektryczne są polami wektorowymi. W praktyce przyjęły się dwa podstawowe mechanizmy oddziaływania pola na ładunek elektryczny i są to: - odchylanie toru wiązki ładunku w określonym kierunku (w polu magnetycznym); - przyspieszanie wiązki ładunku elektrycznego (w polu elektrycznym) Mechanizm oddziaływania obu pól w układzie doskonale tłumaczy zasada działania spektrometru masowego. Poniżej zostały przedstawione schematy opisujące pracę spektrometru w przypadku: a. działania pól na wiązkę ładunków dodatnich b. działania pól na wiązkę ładunków ujemnych (elektron) Rys.10. Oddziaływanie pola magnetycznego na tor lotu ładunku dodatniego i ujemnego Wiązka ładunku trafiając do przestrzeni przyspieszającej doznaje 1 m0V 2 = eU ⇔ m0V 2 = 2eU 2 przyspieszenia. Energia kinetyczna elektronu określana jest zależnością Jak widać energia kinetyczna elektronu zależna jest od różnicy potencjałów przyłożonej do okładzin kondensatora płaskiego. Siła F z jaką pole magnetyczne odchyla wiązkę elektronów jest iloczynem elementarnego ładunku e, indukcji magnetycznej B oraz prędkości wejścia elektronu V r r mV2 F = e( BxV ) = eBV = o ⇔ m0V = erB r r r Dla B i V wzajemnie prostopadłych, po przekształceniu powyższych zależności otrzymamy równanie r2 = 2Um 0 2Um 0 ⇔ r = B −1 2 eB e Wyprowadzone równanie opisuje zależność promienia zakrzywienia od napięcia U i indukcji magnetycznej B. Gdybyśmy przyjęli stałe wartości U i B, to dla zbadanych promieni zakrzywienia rx jesteśmy w stanie określić skład źródła elektronowego (spektralna analiza pierwiastków). Kierunek zakrzywienia wiązki elektronów wynika z „reguły prawoskrętnej śruby”. Jeśli obracamy śrubę od kierunku ruchu V cząstki (naładowanej dodatnio!) do kierunku wektora indukcji magnetycznej, to kierunek przesuwającej (wkręcającej) się śruby wyznacza kierunek wektora siły odchylającej F. W przypadku cząstki naładowanej ujemnie zwrot siły F jest przeciwny. Rys.11. Model reguły śruby prawoskrętnej dla ładunku dodatniego i ujemnego 2.3 Budowa magnetronu i mechanizm rozpylania magnetronowego ie j+ j+ 1 2 magnes stały magnetronu 5 4 3 6 Rys.12. Schemat źródła magnetronowego (przekrój) i magnesu stałego 1 - target-katoda ( w naszym doświadczeniu użyto target aluminiowy) 2 – anoda 3 – nabiegunniki 4 – przestrzeń środkowa 5 – przestrzeń erozyjna 6 – pobocze z warstwą ustronną Niejednorodne pole magnetyczne magnesu trwałego zakrzywia tor elektronu, wybitego z powierzchni targetu w wyniku bombardowania jonowego i prowadzi go stycznie wzdłuż linii sił pola przy powierzchni. Spiralny ruch elektronu zwiększa prawdopodobieństwo zderzeń a tym samym wzmocnienie jonizacji. Wzmocnienie to przynosi wzrost szybkości rozpylania. jon gazu + atom targetu target E E e B Rys.13. Ruch elektronu w polu magnetycznym magnetronu B S N S N S N 2.4 Mody pracy magnetronu Rozpylanie magnetronowe może zachodzić w gazie reaktywnym. Atomy, cząsteczki wybite z powierzchni targetu mogą wchodzić w reakcję z cząsteczkami gazu reaktywnego tworząc związki. Przykładem związku może być azotek tytanu TiN, powstały na skutek łączenia tytanu-targetu i azotu-gazu reaktywnego. Stechiometria utworzonego związku określa udział pierwiastka w związku i przyczynia się do własności tworzonych warstw (dla związku TiNX 0,7<X<0,9). Stechiometria związku zależeć będzie od modu pracy magnetronu. Jeżeli decydujący udział w procesie wezmą atomy-cząsteczki targetu, to będzie mieli mod metaliczny. Natomiast gdy przewagę w procesie będą miały atomycząsteczki gazu reaktywnego to rozpylanie będzie w modzie reaktywnym. Rys.14. Charakterystyki określające warunki pracy magnetronu 2.5 Warunki pracy magnetronu (stabilne, niestabilne) Przewaga atomów-cząsteczek gazu reaktywnego wpływa na charakterystykę pracy magnetronu. Istnieje niekorzystne zjawisko „zatruwania” targetu, kiedy tworzy się w obszarze pobocza strefy erozyjnej warstwa związku złożonego z atomów-cząsteczek targetu i gazu reaktywnego. Efektem zatrucia jest niekorzystny charakter rozpylania. Charakter pracy magnetronu określany jest przez pojęcie stabilności. Stabilność wyznaczana jest przez określenie różniczki cząstkowej funkcji będącej równaniem równowagi ϕ r = pr ⋅ S r + ϕ r' Gdzie: ϕ r - natężenie przepływu gazu reaktywnego S r - szybkość pompowania gazu reaktywnego przez układ pompowy ϕ r' - natężenie przepływu gazu reaktywnego pompowanego przez rozpylanie pr - ciśnienie cząstkowe gazu reaktywnego Różniczka po ciśnieniu cząstkowym stanowi podstawę do określenia stabilności pracy magnetronu. Jeżeli różniczka ta jest większa od zera (I,III), co odpowiada pracy w modzie metalicznym, to mówimy o stanie stabilnym. Natomiast jeżeli różniczka jest mniejsza od zera (II), wówczas mówimy o stanie niestabilnym – praca w modzie reaktywnym. ϕ r ,ϕ ' r a S r1 + dϕ r' >0 dpr S r1 + b dϕ r' <0 dpr A ϕ r max ϕr2 = pr ⋅ Sr2 + ϕr' ϕ r1 = pr ⋅ S r1 + ϕ r' B c 1 C D I 0 ϕ r = const 2 Rys.15. Przebieg charakterystyki pracy magnetronu dla warunków stabilnych i niestabilnych II pr 1 pr 2 pr Krzywa b przedstawia rozpylanie z efektem pętli histerezy. Powstaje ona wtedy, kiedy w przebiegu wystąpią dwa stany przejściowe (punkty A i C). Najbardziej korzystnym punktem pracy magnetronu jest punkt zbliżony do punktu przejścia A (stabilny-niestabilny), ponieważ w stanie stabilnym trudno jest uzyskać określony skład stechiometryczny. Z kolei skład ten jest łatwy do uzyskania w stanie niestabilnym ale występują problemy z „zatruwaniem” targetu. 2.5 Typy i układy magnetronów Rys. 16. Rozwiązania konfiguracji układów magnetycznych do różnych typów magnetronów 3.1 Powłoki, rodzaje powłok Powłoka nałożona na podłoże składa się ze strefy zewnętrznej i strefy przejściowej. Strefa zewnętrzna spełnia funkcje związane z założonymi wcześniej właściwościami chemicznymi, mechanicznymi, elektrycznymi lub dekoracyjnymi. Z kolei warstwa przejściowa zapewnia adhezję lub dyfuzję powłoki do podłoża i kompensuje ich odkształcenia cieplne lub obciążeniowe. Zależnie od metod nanoszenia, łączenie warstwy przejściowej z podłożem może mieć charakter adhezyjny (technika naparowywania) lub dyfuzyjny (technika magnetronowa). Bombardowanie jonowe sprzyja tworzeniu zdefektowanej punktowo powierzchni podłoża i narastającej warstwy, co wpływa na siłę wiązania. Rozpylane atomy podłoża i narastającej warstwy odbijają się od atomów gazu, mieszają i wtórnie kondensują (rekondensują) na powierzchni, dzięki czemu istnieje możliwość tworzenia warstw z materiałów, które w warunkach normalnych nie mogą wzajemnie dyfundować. Spójne warstwy przejściowe, dobrze łączące podłoże z powłoką, tworzą zwłaszcza azotki i węgliki metali przejściowych z metalami przejściowymi. Powłoki nanoszone metodami PVD można podzielić na dwie grupy: proste jednowarstwowe (monowarstwowe), składające się z jednego materiału powłokowego - metalu Al., Cr, Mo, Cu..., lub faz TiN, Tic, itp. złożone, składające się z wielu materiałów (metalu, fazy lub związku) Rozróżnia się pięć typów powłok złożonych Rys. 17 Schematy struktur powłok złożonych: a) powłoka stopowa (wieloskładnikowa); b) powłoka wielofazowa (wieloskładnikowa); c) powłoka kompozytowa (wieloskładnikowa); d) powłoka wielowarstwowa; e) powłoka gradientowa — stopowe (wieloskładnikowe), w których podsieć jednego pierwiastka jest częściowo wypełniona innym pierwiastkiem metalicznym. Należą do nich potrójne związki węgla i azotu z metalami należącymi do IVb, Vb, VIb grupy układu okresowego pierwiastków, np. TiN, VN, ZrN,... , TiC, VC, ZrC itp. Związki te wykazują lepsze właściwości niż powłoki proste, a szeroki zakres ich wzajemnej rozpuszczalności umożliwia sterowanie właściwościami; — wielofazowe, stanowiące mieszaninę dwóch lub więcej rozdzielnych faz składników, np. TiN/Ti2N; — kompozytowe, stanowiące również mieszaninę dwóch lub więcej faz i będące szczególnym typem powłok wielofazowych, w których jedna faza jest dyskretnie rozproszona w innej fazie występującej w sposób ciągły, np. TiC/Al2O3; — wielowarstwowe, zwane multiwarstwami lub mikrolaminatami warstwowymi, składające się z nałożonych na siebie kolejno warstw różnych materiałów (powłok prostych), o różnych właściwościach, tworzących między sobą również warstwy przejściowe, np. TiN/AlN. Zwykle warstwa wewnętrzna (przejściowa w stosunku do podłoża) zapewnia dobrą przyczepność do podłoża, jedna lub więcej warstw środkowych (pośrednich) zapewnia twardość i wytrzymałość powłoki, a warstwa zewnętrzna zapewnia dobre właściwości tribologiczne (np. niski współczynnik tarcia), antykorozyjne (odporność na działanie różnych środowisk agresywnych) i dekoracyjne (barwa, połysk). Przykładem powłoki wielowarstwowej, stosowanej na narzędziach z węglików spiekanych w celu zwiększenia ich trwałości eksploatacyjnej, jest powłoka trzywarstwowa TiC/Ti(C,N)/TiN lub TiC/TiN/Al2O3 oraz powłoka sześciowarstwowa TiN/Ti(C,N)/ZrN/(Ti,Al)N/HfN/ZrN. Dobre połączenie zapewniają warstwy: TiC/TiN, NiCr/TiN, TiC/TiN/Al2O3, WC/TiC/TiN. Pojedyńcze warstwy tworzące powłokę wielowarstwową należy tak ze sobą kojarzyć, aby powstająca między nimi warstwa przejściowa pozwalała na uzyskanie jak najlepszej wzajemnej adhezji, tzn. aby warstwa przejściowa tworzyła spójny obszar między-fazowy. Spójne połączenie tworzą materiały powłokowe o wiązaniu metalicznym - z metalami lub innymi materiałami powłokowymi o wiązaniu metalicznym, np. TiC/TiB2. Słabsze połączenia powstają miedzy materiałami o wiązaniach metalicznych a materiałami o wiązaniach jonowych (i silnie zależą od składu chemicznego i budowy strukturalnej warstwy przejściowej), np. TiC/Al2O3. Najsłabsze połączenia występują między materiałami o wiązaniach kowalencyjnych a materiałami o wiązaniach kowalencyjnych lub jonowych, np. B4C. Dobre połączenia uzyskuje się między tymi materiałami, które się wzajemnie rozpuszczają, tworząc stopy, np. TiC i TiN lub A12O3 i AIN; — gradientowe, stanowiące odmianę powłok wielowarstwowych, w których zmiana składu chemicznego i właściwości warstw pojedynczych nie następuje skokowo (jak przy powłokach wielowarstwowych), lecz płynnie, w sposób ciągły. Przykładem powłoki gradientowej jest powłoka TiN/Ti(C,N)/TiC. Mechanizm niszczenia mechanicznego powłoki stopowej i jej odmian jest zbliżony do mechanizmu niszczenia powłoki prostej, chociaż jej właściwości są lepsze; obydwie należą bowiem do powłok jednowarstwowych. W powłoce jednowarstwowej inicjacja mikropęknięć następuje zarówno od jej powierzchni, jak i od strony podłoża; propagacja i łączenie się mikropęknięć niszczy powłokę na całym jej przekroju poprzecznym (rys. 18a). Natomiast mechanizm niszczenia powłoki wielowarstwowej jest inny. Inicjacja mikropęknięć następuje głównie na powierzchni powłoki, zaś granice między warstwami zmieniają kierunki propagacji mikropęknięć i zwiększają trwałość mechaniczną powłoki: powłoka zużywa się niejako warstwowo (rys. 18b). Rys.18. Mechanizmy niszczenia mechanicznego powłok: a) jednowarstwowych; b) wielowarstwowych; / - schemat powłoki; //, /// kolejne stadia niszczenia Najwcześniej zostały wytworzone i najczęściej są stosowane powłoki proste. Spośród powłok złożonych najczęściej są stosowane powłoki wielowarstwowe, zwykle trzy- i czterowarstwowe; maksymalna liczba warstw może dochodzić do kilkudziesięciu i więcej, jednakże jak dotychczas, są to tylko próby laboratoryjne. Perspektywiczne wydają się być powłoki gradientowe, a także powłoki stopowe i ich odmiany. 3.2 Modele osadzania powłok W latach 60-tych podjęto próby uogólnienia wpływu parametrów osadzania cienkich twardych warstw metodami PVD na ich strukturę i właściwości. Jako podstawowy - i do dziś główny, choć nie jedyny - parametr materiałowy przyjęto temperaturę topnienia substratu metalowego Tt (w K), a jako parametr technologiczny osadzania, wpływający na strukturę powłoki, przyjęto temperaturę osadzania substratu T (temperaturę podłoża), a ściślej - ich stosunek T/Tt. W 1969 r. W. A. Mowczan i A.W. Demczyszyn zaproponowali model tworzenia warstwy słuszny dla naparowania próżniowego i wyróżnili w nim trzy strefy struktury metalograficznej zależnie od stosunku T/Tt (rys. 19a). Przy T/Tt < 0,3 występuje struktura I rodzaju (strefa 1), w której dominują drobne krystality: jest to struktura kolumnowa, porowata, zbliżona do amorficznej. Dla 0,3 < T/Tt < 0,5 występuje struktura II rodzaju (strefa 2), charakteryzująca się większymi ziarnami kolumnowymi i znacznymi mikronierównościami powierzchni. Dla wartości T/Tt > 0,5 pojawia się gęsta struktura III rodzaju, podobna do struktury zrekrystalizowanej (strefa 3), o dużych ziarnach równoosiowych, o twardości i wytrzymałości - podobnie jak struktura II rodzaju - odpowiadających materiałowi litemu (ten typ struktury jest pożądany w warstwach barierowych). W przypadku tradycyjnych metod naparowywania jedynym sposobem sterowania właściwościami osadzanej powłoki jest zmiana temperatury podłoża. Rys. 19. Zależność modeli struktur metalograficznych od warunków technologicznych osadzania powłok metodami PVD: a) model MowczanaDemczyszyna naparowania próżniowego; b) model Thomtona rozpylania katodowego i magnetronowego; c) model Messiera osadzania z wiązki jonów, T - temperatura substratu (podłoża), Tt - temperatura topnienia materiału odparowywanego lub rozpylanego W metodach PVD wspomaganych plazmą (PAPVD) poprzez zmianę ciśnienia i energii jonów można osadzać powłoki o zadanych właściwościach w szerokim zakresie temperatur podłoża, przy czym jest bardzo istotne, iż temperatura podłoża może ulec znacznemu obniżeniu. W 1986 r. model Mowczana-Demczyszyna zmodyfikował J.A. Thornton, odnosząc go do rozpylania katodowego i magnetronowego i wprowadzając dodatkowy parametr - ciśnienie w strefie rozpylania. Przy starym ciśnieniu mieszaniny gazu tworzenie się struktury I rodzaju jest uwarunkowane słabą dyfuzją powierzchniową atomów; ziarna mają charakter włóknisty. Stymulowany wzrostem temperatury podłoża wzrost dyfuzji powierzchniowej powoduje powstanie struktury (przejściowej) IV rodzaju (strefa T - Thorntona), o drobnych zagęszczonych krystalitach włóknistych przechodzących w miarę wzrostu temperatury w ziarna kolumnowe. Struktura ta charakteryzuje się wysoką wytrzymałością i twardością przy malej plastyczności, dużą gładkością powierzchni i występowaniem w niej naprężeń ściskających. Ma zatem najkorzystniejsze właściwości fizyczne i chemiczne. Dla zakresu temperatur T/Tt > 0,5 model Thorntona jest analogiczny do modelu Mowczana-Demcziszina Dla całego zakresu temperatur wzrost ciśnienia gazu powoduje przesunięcie zakresów występowania poszczególnych rodzajów struktur I-IV w kierunku większych wartości stosunku T/Tt (rys. 19b). W metodach wykorzystujących rozpylanie katodowe i magnetrono-we model Thorntona jest do dziś powszechnie używany ze względu na swą prostotę i dużą zgodność z praktyką przemysłową. Messier zmodyfikował model Thorntona dla metod osadzania powłok z wiązek jonów, wprowadzając zamiast ciśnienia gazu w strefie rozpylania energię jonów docierających do powierzchni podłoża (rys. 19c). W modelu tym występują te same typy struktur, co w modelu Thorntona. Dla przedziału stosunku temperatur 0,2 < T/Tt < 0,5 zakres występowania struktury T przesuwa się w stronę niższych temperatur. Przy osadzaniu powłok z wykorzystaniem jonów struktura i gładkość powłoki zależą od tego, czy podłoże jest spolaryzowane, czy też nie. Podczas rozpylania jonowego bez polaryzacji podłoża materiał powłokowy osadza się głównie na widocznych wierzchołkach chropowatości, a praktycznie niemal nie dociera do ocienionych wgłębień, w wyniku czego na wierzchołkach narastają krystality kolumnowe, między nimi zaś pozostają nie wypełnione materiałem, puste luki (rys. 20a). Przy rozpylaniu jonowym z polaryzacją podłoża wierzchołki nierówności są najsilniej rozpylane, a pochodzące z nich atomy odbijając się wstecznie od atomów gazu wypełniają wgłębienia nierówności, w które trafia również część atomów rozpylanych bezpośrednio ze ścian bocznych nierówności. W wyniku dyfuzji atomów do zagłębień powierzchnia powłoki podlega wygładzeniu, nie tworzy się struktura kolumnowa I, lecz struktura typu T. Powstanie jednej lub drugiej struktury zależy od tego, czy przeważa ocienianie, czy dyfuzja atomów. Ograniczenie tworzenia otwartych struktur strefy I i tworzenie struktur T nawet przy małych wartościach T/Tt wymaga intensywnego bombardowania jonowego, przy którym wtórne rozpylanie obejmuje 30-60% osadzonego materiału, i raczej chropowatej powierzchni podłoża. We wszystkich metodach osadzania twardych powłok metodami PVD - na strukturę, grubość, a nawet skład stechiometryczny osadzanych powłok wpływa w sposób istotny odległość od źródła par (głowicy napylającej) i odległość promieniowa od osi źródła (prostopadłej do powierzchni źródła). Rys. 6.20. Schematy tworzenia się struktur I i T przy rozpylaniu jonowym: a) bez polaryzacji podłoża; b) z ujemną polaryzacją podłoża; 1 - struktura kolumnowa typu I; 2- obszary zacieniane; 3 - struktura przejściowa typu T; 4 - wsteczne rozpylanie; 5 - wsteczne rozpraszanie Ponadto w wielu metodach osadzania można wykorzystywać specyficzne dla poszczególnych metod możliwości sterowania procesami, np. dogrzewanie lub chłodzenie podłoża, przeciwdziałanie powstawaniu kropel materiału powłokowego na podłożu, oczyszczanie jonowe podłoża, dawkowanie gazów reaktywnych, zmniejszanie lub zwiększanie intensywności odparowywania, rozpylania, jonizowania i in. We wszystkich przypadkach osadzanie powłok metodami PVD wymaga się dużej precyzji prowadzenia procesów osadzania, od której - w stopniu większym niż przy innych metodach - zależą wyniki osadzania, oraz dobrania indywidualnych warunków osadzania dla każdego typu wsadu (przy tym niedopuszczalne jest jednoczesne osadzanie powłoki na różnych gabarytowo elementach wsadu, np. na cienkich wiertłach i dużych frezach obwiedniowych lub na elementach wsadu o różnym przeznaczeniu, np. na narzędziach skrawających i chirurgicznych). Źle dobrane warunki osadzania mogą w konsekwencji prowadzić nie do wzrostu trwałości eksploatacyjnej pokrywanych przedmiotów, lecz do jej obniżenia mimo pozornie dobrego wyglądu powłoki. 3.3 Przygotowanie podłoża pod powłoki Wymagania stawiane pokrywanej powierzchni We wszystkich metodach osadzania powłok, może z wyjątkiem metody impulsowo-plazmowej, dobra adhezja powłoki do podłoża i w konsekwencji właściwości użytkowe powłok zależą od właściwego przygotowania powierzchni podłoża, które z kolei zależy od pokrywanego przedmiotu i jego przeznaczenia. Aby powłoka spełniła swoje zadanie, powierzchnia pokrywanego przedmiotu powinna charakteryzować się odpowiednią: — twardością: uzyskaną w wyniku obróbki cieplnej (np. hartowania i odpuszczania) lub cieplno-chemicznej (np. azotowania, chromowania), rzadziej mechanicznej; — gładkością: powierzchnia powinna być gładka (szlifowana lub polerowana do wartości Ra < 0,8) i nie mieć zadziorów na krawędziach; — czystością: na powierzchni nie mogą występować cząstki zanieczyszczeń mechanicznych (pyłu, kurzu), zanieczyszczenia organiczne (tłuszcze, smary, środki konserwujące, pot), produkty reakcji chemicznych (produkty korozji, np. tlenki, siarczki). Oczyszczanie wstępne Oczyszczanie wstępne jest realizowane poza komorą roboczą napylarki. Polega na usunięciu, z powierzchni przedmiotu przeznaczonego do pokrywania, zanieczyszczeń: mechanicznych, organicznych i chemicznych. Oczyszczanie wstępne jest wykonywane: — mechanicznie: przez usuwanie zendry i trwałych nalotów metodą śrutowania (wyjątkowo), bębnowania, ścierania; — chemicznie: przez usuwanie w kąpielach myjących tłuszczów organicznych metodą ich zmydlania w kąpielach zasadowych lub kwaśnych, w rozpuszczalnikach organicznych (np. w trójchloroetylenie - tri, lub w czterochloroetylenie - tetra), w ciekłym freonie; — fizycznie: przez usuwanie w kąpielach myjących zanieczyszczeń metodą ich rozpuszczania lub emulgowania; — fizykochemicznie: przez usuwanie poprzez odrywanie bardziej trwałych zanieczyszczeń w kąpielach myjących (np. rozpuszczalnikach organicznych, ciekłym freonie) poddanych działaniu drgań ultradźwiękowych. Nie przy wszystkich metodach osadzania i nie wszystkie przedmioty oczyszcza się wszystkimi - zgodnie z podaną kolejnością - sposobami. Przy niektórych metodach możliwe jest tylko ścieranie kurzu i smaru oraz odtłuszczanie chemiczne - zwykle w specjalnie przygotowanych kąpielach i rozpuszczalnikach organicznych. Odtłuszczanie w różnych kąpielach zwykle jest rozdzielone płukaniem (jednym lub dwoma) i ewentualnym suszeniem. Dość często jako końcowy etap oczyszczania stosuje się mycie ultradźwiękowe w tri. Stosowane dawniej mycie ultradźwiękowe w jednej lub dwóch różnych kąpielach freonu wychodzi już z użycia, głównie ze względu na szkodliwy wpływ freonu na atmosferę ziemską (freon prowadzi do powstawania "dziury ozonowej"). W tabl. 2 podano przykładowo schemat operacji oczyszczania wierteł (o średnicy 10 mm), stosowany praktycznie w MCNEMT w Radomiu.