Logo IFPAN po polsku - Instytut Fizyki PAN

INSTYTUT FIZYKI POLSKIEJ AKADEMII NAUK
PL - 02-668 WARSZAWA, AL. LOTNIKÓW 32/46
Tel. (48-22) 843 66 01 Fax. (48-22) 843 09 26
REGON: P-000326061, NIP: 525-000-92-75
DZPIE/020/2010
Specyfikacja istotnych warunków
zamówienia publicznego
Przedmiot postępowania: Komora wysokopróżniowa do nanoszenia cienkich warstw metodą
sputteringu z doposażeniem.
38.00.00.00-5
Kod CPV:
38.50.00.00-0
38.41.00.00-2
39.71.11.30-9
42.13.11.30-6
Postępowanie jest prowadzone w trybie przetargu nieograniczonego
Tryb udzielenia
zgodnie z Prawem Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004 r.
zamówienia:
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk
Inwestor/Kupujący:
02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46.
NIP: 525-000-92-75; Regon: P-000326061
Zakup przedmiotu zamówienia jest finansowany ze środków MNiSW przyznanych decyzją nr
1243/7 PRUE/2010/7 jako dofinansowanie projektu realizowanego w ramach 7 PR-People (ITN)
akronim FANTOMAS (kontrakt Nr 214810)
§1. Opis przedmiotu zamówienia:
Przedmiot zamówienia składa się z dwóch punktów:
Punkt 1. Komora wysokopróżniowa do nanoszenia cienkich warstw metodą sputteringu;
Punkt 2. Doposażenie komory do nanoszenia cienkich warstw o system próżniowy do
podłączenia optyki elektronowej (LEED+AES).
Warunki gwarancji, serwis gwarancyjny i pogwarancyjny
1. Wymagany okres objęty bezpłatnym serwisem gwarancyjnym: co najmniej 12
miesięcy od daty podpisania protokołu odbioru,
2. Czas przystąpienia do naprawy gwarancyjnej: nie dłuższy niż 5 dni od daty zgłoszenia
przez zamawiającego telefonicznie lub na piśmie (np. pocztą elektroniczną, faksem
itp.) nieprawidłowego działania urządzenia.
3. Czas przywrócenia pełnej funkcjonalności urządzenia: nie dłuższy niż 3 tygodnie od
daty zgłoszenia przez zamawiającego nieprawidłowego działania urządzenia,
4. Bezpłatna aktualizacja oprogramowania przez okres co najmniej 12 miesięcy od daty
podpisania protokołu odbioru.
5. Dostarczone urządzenia muszą odpowiadać wszystkim wymogom technicznym i
jakościowym określonym przez zamawiającego w specyfikacji technicznej. Powinna
zostać do nich załączona dokumentacja techniczna (w przypadku urządzeń kupionych
przez Wykonawcę - w zakresie ustalonym przez ich producentów) oraz instrukcja
obsługi w jęz. polskim lub angielskim. Wykonawca zagwarantuje jakość
dostarczonych produktów zgodnie ze specyfikacją techniczną - odpowiedzialność z
tytułu gwarancji jakości obejmuje zarówno wady powstałe z przyczyn tkwiących w
przedmiocie zamówienia w chwili dokonania odbioru przez zamawiającego, jak i
wszelkie inne wady powstałe z przyczyn, za które wykonawca ponosi
odpowiedzialność.
6. Urządzenia muszą być przystosowane i dopuszczone do pracy na terytorium RP, tzn.
posiadać wszelkie wymagane certyfikaty (np. CE, jeśli ma zastosowanie) oraz muszą
być dostarczone wraz z oprogramowaniem, licencjami, materiałami i akcesoriami (np.
przewodami zasilającymi i przyłączeniowymi, kablami pomiarowymi, adapterami itp.
elementami) niezbędnymi do uruchomienia i poprawnej pracy (nie dotyczy
materiałów eksploatacyjnych).
7. Okres bezpłatnego serwisu gwarancyjnego ulega automatycznie przedłużeniu o okres
naprawy, a po wystąpieniu trzykrotnej awarii tego samego podzespołu lub elementu
wykonawca zobowiązany jest do wymiany wadliwej części na nową.
8. Wykonawca w złożonej ofercie zagwarantuje gotowość do świadczenia serwisu
pogwarancyjnego.
9. Naprawy gwarancyjne i pogwarancyjne będą wykonywane u Zamawiającego, a jeżeli
będzie to niemożliwe, uszkodzone elementy, podzespoły lub urządzenia zostaną
dostarczone do właściwego punktu serwisowego przez wykonawcę lub ewentualnie
przesłane przez Zamawiającego pod wskazany przez Wykonawcę adres znajdujący się
na terenie Polski.
10. Wymagany okres dostępności części zamiennych: min. 10 lat od daty podpisania
protokołu odbioru,
11. Wykonawca zamontuje i uruchomi dostarczone urządzenia oraz przeszkoli minimum
dwóch pracowników Zamawiającego (w laboratorium Zamawiającego) w zakresie
obsługi całego systemu i poszczególnych urządzeń w terminie nie dłuższym niż 1
miesiąc od daty uruchomienia. Zostanie to potwierdzone obustronnie podpisanym
protokółem odbioru. Koszty związane z przeszkoleniem pracowników w zakresie
obsługi całego systemu i poszczególnych urządzeń wchodzących w jego skład, w tym
szkolenie aplikacyjne, zostaną wliczone w cenę całkowitą.
12. W przypadku urządzeń i podzespołów kupionych Wykonawca zapewni świadczenie
usług gwarancyjnych na zasadach określonych przez ich producentów, jednakże na
warunkach nie gorszych niż określone powyżej w punktach 1 – 11 oraz w pozostałej
części niniejszej SIWZ.
Wymagane minimalne parametry techniczne
Ze względu na specyfikę przedmiotu zamówienia Wykonawca zobowiązany jest do
uzgadniania z Zamawiającym szczegółów technicznych urządzeń w trakcie realizacji
projektu.
Punkt 1. Komora wysokopróżniowa do nanoszenia cienkich warstw metodą sputteringu
1. Komora wzrostu wraz z wyposażeniem
1.1. Komora – 1 sztuka
Cylindryczna komora o średnicy wewnętrznej nie mniejszej niż 400mm, wykonana ze
stali nierdzewnej (w standardzie UHV) z chłodzeniem wodnym ścianek. Komora,
dostosowana do posiadanego wyposażenia i umożliwiająca późniejszą rozbudowę.
Komora wyposażona w kołnierze w standardzie CF do podłączenia komponentów
próżniowych:
 Kołnierz DN150CF do podłączenia pompy turbomolekularnej,
 Kołnierz DN63CF do podłączenia śluzy,
 Kołnierz DN63CF wraz z oknem obserwacyjnym z przesłoną do obserwacji
transferu podłoża z magazynu do manipulatora w komorze wzrostu,
 Kołnierz DN40CF do podłączenia manipulatora z kwarcową głowicą pomiarową
wraz z przesłoną,
 Kołnierze DN100 CF do podłączenia elementów doposażenia komory w system
próżniowy do podłączenia optyki elektronowej (LEED+AES),
 2 kołnierze DN40CF (pod kątem nie większym niż 45 stopni do tworzącej walca
komory) do podłączenia elipsometru, ustawione w jednej płaszczyźnie utworzonej
przez promień padający i odbity od podłoża.
 2 kołnierze DN40CF wraz z okienkami z przysłonami do obserwacji plazmy nad
magnetronami,
 4 kołnierze DN16CF co 90 stopni w tym jeden do podłączenia głowicy Baratronu,
 Kołnierz DN40CF do podłączenia sondy próżniowej UHV
 Kołnierz DN40 CF do podłączenia RGA
 Kołnierz DN 63CF do podłączenia działa jonowego do czyszczenia podłoża
Ciśnienie końcowe w zmontowanej komorze pompowanej pompą o prędkości
pompowania 600 l/ s dla azotu - nie większe niż 1x10-10 mbar.
1.2. Kołnierz górny – 1 sztuka
Pokrywa wykonana ze stali nierdzewnej w standardzie nie mniejszym niż DN400CF
z kołnierzami :
 Port CF do podłączenia manipulatora podłoża,
 8 portów DN16CF,
 2 porty DN40CF
1.3. Kołnierz dolny- 1 sztuka
Pokrywa wykonana ze stali nierdzewnej w standardzie nie mniejszym niż DN400CF
wyposażona w kołnierze w standardzie CF:
 Do zamocowania 4 magnetronów,
 Kołnierza DN63CF w osi komory
1.4. Miernik grubości napylonej warstwy
Wymagania dotyczące miernika grubości napylanych warstw i szybkości ich
osadzania
1) Kwarcowy miernik grubości i szybkości osadzania warstw umożliwiający pomiar
prędkości osadzania warstw na wysokości podłoża - 1 sztuka.
2) Parametry miernika:
a) możliwość dołączenia co najmniej dwóch czujników pomiarowych
b) zakres częstotliwości czujników pomiarowych: co najmniej od 4 MHz
do 6 MHz
c) ilość zapamiętywanych warstw: co najmniej 90
d) interfejs umożliwiający dołączenie do komputera
e) możliwość sterowania przesłoną głowicy pomiarowej
f) możliwość ustawienia progowych sygnałów sterujących
g) stabilność częstotliwości odniesienia: nie gorsza niż ± 0,0003%
h) błąd częstotliwości odniesienia: nie większy niż ± 0,003%
i) zdolność rozdzielcza częstotliwości: nie gorsza niż
±0,03Hz przy 10 zliczeniach/s
j) zdolność rozdzielcza pomiaru szybkości osadzania: nie gorsza niż 0,6 Å/s
k) zdolność rozdzielcza pomiaru grubości: nie gorsza niż 0,15 Å
l) zakres mierzonych grubości: co najmniej od 0 do 90 kÅ
3) Kwarcowa głowica pomiarowa wraz z przesłoną – 1 szt. spełniająca następujące
wymagania:
a) dostosowana do pracy w UHV
b) chłodzona wodą
c) umieszczona na zmotoryzowanym module przesuwnym Z tak, aby możliwe
było wsuwanie i wysuwanie głowicy w miejsce położenia podłoża po
uprzednim podniesieniu podłoża do góry. Po wycofaniu głowica znajduje się
na poza światłem komory. Moduł przesuwny Z powinien mieć opcję ręcznego
przesuwy bez demontażu silnika,
d) przesłona pneumatyczna sterowana z miernika
3) Zapasowe czujniki kwarcowe do głowicy pomiarowej - 10 szt.
1.5. Magnetrony UHV- 4sztuki :
Wymagania dotyczące magnetronów UHV:
 Magnetrony wykonane w standardzie UHV- wszystkie uszczelnienia metalowe,
 Średnica targetu 50,8 mm (2”),
 Grubość targetu nie ferromagnetycznego 1- 6mm
 Grubość targetu ferromagnetycznego Fe-nie mniej niż 3mm, Ni- nie mniej niż
4mm, Co- nie mniej niż 4mm,
 Tryb pracy: DC, AC, RF i pulsacyjny,
 Ciśnienie robocze 3x10-3 mbar do 5x10-2 mbar,
 Chłodzenie wodne, woda nie ma kontaktu z magnesami,
 Każdy magnetron zamontowany jest na flanszy DN100CF,
 Każdy magnetron posiada podłączenie dla RF-DC 7/16 Jack,
 Każdy magnetron posiada podłączenie dla dozowania gazów –VCR-4 na kołnierzu
DN16CF,
 Każdy magnetron posiada in-situ tilt pozwalający na zmianę kąta pochylenia osi
magnetronu względem osi komory wzrostu bez rozszczelnienia komory wzrostu.
Zakres zmian kąta pochylenia magnetronu: od położenia gdy oś magnetronu jest
równoległa do osi komory wzrostu do położenia w układzie co-sputteringu na
podłożu w odległości 10cm od środka target,
 Każdy magnetron posiada oddzielną przesłonę pneumatyczną typu flip-up
sterowaną ręcznie przełącznikami z konsoli
1.6. Manipulator komory wzrostu chłodzony wodą lub ciekłym azotem – 1 sztuka
Manipulator wyposażony w dwa moduły przesuwne oraz obrót ciągły wokół osi Z z
regulowaną prędkością obrotową.
 Moduły przesuwne wzdłuż osi Z:
 Pierwszy - do przemieszczania próbki, o przesunięciu co najmniej 100mm .
 Drugi - do podnoszenia ekranu chłodzonego wodą lub ciekłym azotem w
czasie transferu nośnika próbki ze śluzy do komory wzrostu- do stacji
odbiorczej na manipulatorze podłoża.
 Moduł obrotowy: zapewnia ciągły obrót próbki z maksymalną prędkością co
najmniej 50 obr/min, na wyposażeniu kontroler wraz z okablowaniem .
 Stacja odbiorcza nośników dla nośników próbek, na których można umocować
podłoża o średnicy 50,8mm (2”), wyposażona w komplet przejść mechanicznych
i elektrycznych (termopara typu K na złączu typu LEMO, możliwość pomiaru
potencjału próbki), dostosowana do grzania podłoża co najmniej do 800ºC w
atmosferze tlenu przy ciśnieniu 1,33 mbar.
 Ekran chłodzony wodą lub ciekłym azotem chroniący komorę przed
nagrzewaniem, umieszczony na module przesuwnym w osi Z.
 Nośnik próbek pozwalający na zamocowanie na okrągłym stoliku jednego podłoża
o średnicy 50,8 mm (2”) lub kilku kwadratowych o wymiarach 10x10 mm.
Stolik jest jednorodnie grzany na całej powierzchni, termopara typu K umocowana
jest na spodniej stronie stolika tak aby nie była narażona na osadzanie napylanych
materiałów.
Nośnik próbek powinien być dostosowany do długoczasowej pracy w
temperaturze 800 ºC w atmosferze tlenu przy ciśnieniu 1,33 mbar.
Manipulator powinien mieć przesłonę podłoża, przemieszczającą się w pionie
razem z podłożem przy zachowaniu stałej odległości przesłony od podłoża.
Przesłona zamontowana na przyjściu obrotowym sterowanym pneumatycznie.
Sterowanie ręczne z konsoli przełącznikiem. Przejście obrotowe dostarczy
zamawiający.
1.7. Regulator temperatury z blokiem mocy :
 Regulator temperatury z blokiem mocy do grzania podłoża i stabilizacji jego
temperatury - 1 sztuka:
Stabilizacja temperatury podłoża co najmniej w zakresie do 800 ˚C.
Grzanie podłoża przy pomocy bloku mocy dostarczającego napięcie i
prąd DC.
Dopuszcza się zarówno rozwiązania, w których blok mocy pracuje jako
źródło napięciowe, jak i rozwiązania, w których blok mocy pracuje jako
źródło prądowe.
2)
Parametry bloku mocy:
a) pełna izolacja galwaniczna spełniająca co najmniej normę EN
60950 między wyjściem bloku mocy a jego wejściem
znajdującym się na potencjale zbliżonym do potencjału
sieci zasilającej 230 Vac,
b) pełna izolacja galwaniczna między wyjściem bloku mocy a
obudową (ziemią); dopuszczalne są w tym przypadku jedynie
niewielkie pojemności między tym wyjściem a obudową (ziemią),
c) odporny na zwarcia i rozwarcia na wyjściu,
d) dostosowany do obciążeń rezystancyjnych i pojemnościowych,
e) możliwość ustawiania zarówno przy pomocy elementów
znajdujących się na płycie czołowej, jak i zdalnie:
- wartości napięcia wyjściowego w przypadku bloków mocy
pracujących jako źródła napięciowe,
f)
g)
h)
i)
j)
k)
l)
m)
n)
o)
3)
- wartości prądu wyjściowego w przypadku bloków mocy
pracujących jako źródła prądowe
możliwość ustawiania zarówno przy pomocy elementów
znajdujących się na płycie czołowej, jak i zdalnie ograniczenia
maksymalnej wartości co najmniej jednej z następujących
wielkości: prądu wyjściowego lub napięcia wyjściowego,
lub mocy wyjściowej, przy czym dopuszcza się rozwiązanie, w
którym przy pomocy elementów płyty czołowej będzie ustawiane
ograniczenie innej wielkości niż zdalnie (np. ograniczenie prądu
wyjściowego ustawiane przy pomocy elementów znajdujących się
na płycie czołowej, a zdalnie ograniczenie napięcia
wyjściowego),
możliwość odczytu co najmniej na płycie czołowej rzeczywistej
wartości napięcia wyjściowego i prądu wyjściowego,
możliwość wyłączenia automatycznej regulacji temperatury i
ręcznego ustawiania przy pomocy elementów znajdujących się na
płycie czołowej:
- wartości napięcia wyjściowego w przypadku bloków mocy
pracujących jako źródła napięciowe
- wartości prądu wyjściowego w przypadku bloków mocy
pracujących jako źródła prądowe
zdolność rozdzielcza pomiaru napięcia i prądu wyjściowego: nie
gorsza niż 3. cyfrowa
dokładność pomiaru wartości DC napięcia i prądu wyjściowego:
nie gorsza niż ±0,5% wartości zmierzonej ± 3 LSD (LSD –
najmniej znacząca cyfra),
dokładność ustawienia wartości granicznej, o której mowa w pkt
f): nie gorsza niż ±2% wartości ustawionej ± 0,8%FS (FS –
maksymalna wartość graniczna),
stabilność wartości DC napięcia wyjściowego w ciągu 8 h, w
temperaturze otoczenia 25 ºC ± 1 ºC, przy napięciu zasilania sieci
energetycznej 230Vac/50Hz i stałym obciążeniu: nie gorsza niż
±6x10-4 wartości ustawionej ±20 mVDC,
stabilność wartości DC prądu wyjściowego w ciągu 8 h, w
temperaturze otoczenia 25 ºC ± 1 ºC, przy napięciu zasilania sieci
energetycznej 230Vac/50Hz i stałym obciążeniu: nie gorsza niż
±1x10-3 wartości ustawionej ±25 mADC,
poziom składowej zmiennej napięcia na wyjściu nie większy niż
120 mVp-p,
poziom składowej zmiennej prądu na wyjściu: nie większy niż
120 mAp-p.
Regulator temperatury P, I, D dostosowany do pomiaru i stabilizacji
temperatury w oparciu co najmniej o termopary S, K, C
o następujących parametrach:
a. zakres pomiaru temperatury:
- dla termopary S: co najmniej od 0 ºC do 1760 ºC
- dla termopary K: co najmniej od -200 ºC do 1200 ºC
- dla termopary C: co najmniej od 0 ºC do 2200 ºC
b. możliwość odczytu wyniku pomiaru zarówno na płycie
czołowej, jak i zdalnie (np. przy pomocy komputera) z
rozdzielczością nie gorszą niż 0,1ºC
c. błąd pomiaru napięcia wejściowego: nie większy niż
±0,25% wartości zmierzonej ±12 μV przy zmianach
temperatury otoczenia od 17 ºC do 25 ºC
d. wbudowana automatyczna kompensacja zimnych
końców termopar o błędzie kompensacji nie większym
niż ±0,1ºC przy zmianie temperatury otoczenia o 1ºC,
e. błąd linearyzacji charakterystyki termopary: nie większy
niż ±0,2% wartości zmierzonej,
f. powtarzalność wyników pomiaru dla temperatury
większej od 100 ºC przy zmianach temperatury
otoczenia w zakresie 22ºC ±2ºC: nie gorsza niż ±0,2%
wartości zmierzonej ±0,2ºC
g. powtarzalność wartości temperatury podłoża większej
od 100 ºC uzyskiwana w połączeniu z w/w blokiem
mocy przy zmianach temperatury otoczenia w zakresie
22ºC ±2ºC: nie gorsza niż ±0,25% wartości zmierzonej
±0,3ºC
h. rezystancja wejściowa: nie mniejsza niż 1 MΩ
i. tłumienie sygnału wspólnego na wejściu dla
częstotliwości 50Hz: nie mniejsze niż 130 dB
j. tłumienie wejściowego sygnału szeregowego dla
częstotliwości 50Hz: nie mniejsze niż 60 dB
k. możliwość wyłączenia automatycznej kompensacji
zimnych końców termopar,
l. możliwość pomiaru napięcia wejściowego w zakresie co
najmniej od - 8mV do + 60 mV i odczytu jego wartości
zarówno na płycie czołowej, jak i zdalnie (np. przy
pomocy komputera)
m. możliwość programowania szybkości narastania i
szybkości opadania temperatury regulowanego obiektu
(ramp heating),
n. możliwość programowania parametrów regulatora
temperatury zarówno ręcznie przy pomocy elementów
płyty czołowej, jak i zdalnie,
o. pełna izolacja galwaniczna spełniająca co najmniej
normę EN 60950 między wejściem termopary a siecią
energetyczną 230 Vac,
p. pełna izolacja galwaniczna między wejściem termopary
a obudową (ziemią); dopuszczalna jest jedynie
niewielka pojemność między tym wejściem a obudową
(ziemią),
q. pełna izolacja galwaniczna między wejściem termopary
a wyjściem bloku mocy,
r. wyposażony co najmniej w interfejs RS-485.
4) Pełna izolacja galwaniczna spełniająca co najmniej normę EN 60950
między torem interfejsu a:
a) siecią energetyczną 230 Vac
b) wejściem termopary
c) wyjściem bloku mocy.
5) Dopuszcza się następujące rozwiązania:
a) regulator temperatury i blok mocy stanowią jeden moduł
(czyli jest to regulator temperatury wyposażony w blok
mocy wyjściowej)
b) rozwiązanie preferowane: regulator temperatury i blok
mocy stanowią oddzielne moduły, blok mocy jest
wyposażony w wejście umożliwiające sterowanie napięciem
wyjściowym przy pomocy sygnału analogowego od 0 do
10V (jest to zakres preferowany) lub ewentualnie od 0 do 5
V, a regulator temperatury jest wyposażony w wyjście
analogowe 0 do 10 V (jest to zakres preferowany) lub 0 do
5 V umożliwiające sterowanie blokiem mocy.
1.8. Śluza/magazyn (komora załadowcza-śluza)- 1 sztuka
Komora załadowcza służąca do ładowania, wykonana ze stali nierdzewnej (w
standardzie UHV) z następującymi kołnierzami:
 Kołnierz z uszczelnieniem vitonowym służący do załadowywania próbek,
 Kołnierz DN100CF do podłączenia zaworu płytowego i pompy turbomolekularnej
 Kołnierz CF do podłączenia układu transferowego,
 Kołnierz CF do zainstalowania okna obserwacyjnego,
 Kołnierz DN40CF do podłączenia głowicy próżniomierza UHV
 Kołnierz DN16CF do podłączenia głowicy próżniomierza próżni wstępnej
 Kołnierz DN16CF do podłączenia zaworu zapowietrzającego
 Kołnierz DN16CF do podłączenia linii gazowej
 Kołnierz DN16CF do podłączenia przepustu wysokonapięciowego
 Kołnierz CF do podłączenia lampy grzejnej
 Kołnierz DN63CF do podłączenia zaworu płytowego i komory wzrostu
Ciśnienie końcowe w zmontowanej komorze pompowanej pompą o prędkości
pompowania 400 l/ s dla azotu - nie większe niż 1x10-9 mbar. Komora magazynu powinna
być przystosowana do rozbudowy i pracy z komorą transportową umożliwiającą
przenoszenie próbek do podłączonych do niej układów charakteryzacji próbek w
warunkach UHV
o



Wyposażenie komory załadowczej:
Transfer liniowy do transferu próbki między śluzą a komorą wzrostu- 1sztuka,
Lampa grzejna pozwalająca na odgazowywanie próbek- 1sztuka,
Magazyn nośników na co najmniej 4 nośniki,
1.9.
Stelaż do zamocowania komory wzrostu oraz komory magazynu-1 sztuka
Stelaż pozwalający na podjechanie pod komorę wzrostu wózkiem z podnośnikiem w celu
demontażu kołnierza dolnego komory wzrostu, opuszczenie kołnierza dolnego i
wyjechanie poza obręb stelaża. W stelażu umieszczone powinny być: zasilacz RF. W
oddzielnej szafie aparaturowej powinny być umieszczone 3 zasilacze DC, dostarczone
mierniki próżni oraz kwarcowy miernik grubości.
1.10.
System pompowania wstępnego
Wykonawca wykona system pompowania dwóch pomp turbomolekularnych
( pompę pompującą komorę wzrostu i pompę pompującą komorę magazynu-śluzy)
przez jedną pompę próżni wstępnej EcoDry M15 dostarczoną przez Zamawiającego.
Wykonawca dostarczy i zamontuje niezbędne giętkie metalowe przewody próżniowe
łączące pompę próżni wstępnej z 2 pompami turbomolekularnymi, wraz
z niezbędnymi zaworami i systemem zapowietrzania pomp turbomolekularnych
czystym azotem. Obsługa systemu- ręczna
1.11.
Wózek z podnośnikiem- 1 sztuka
Do demontażu i transportu kołnierza dolnego komory wzrostu. Wózek
umożliwia demontaż i opuszczenie kołnierza tak aby można go było wysunąć poza
obręb komory.
1.12.
Chłodziarka 2450kW- 1 sztuka
 Moc schładzania -2450 kW,
 Temperatura wody chłodzącej 15 ºC przy temperaturze otoczenia 32 ºC,
 Pompa 2,9 bar
 Przepływ wody 7,2l/min
 Zbiornik 18l
 Zasilanie 230V/50Hz
 Maksymalny pobór prądu schładzacza: 10A
Wykonawca wykona niezależne obwody chłodzenia elementów komory wzrostu,
z czujnikami przepływu włączającymi alarmy przy zatrzymaniu przepływu.
Dostosuje wielkości przepływu i ciśnienia dla każdej gałęzi układu chłodzenia.
Punkt 2. Doposażenie komory do nanoszenia cienkich warstw o system próżniowy do
podłączenia optyki elektronowej (LEED+AES)
2.1.
Komora LEED+AES- 1 sztuka
Wykonana ze stali nierdzewnej, komora o średnicy wewnętrznej co najmniej
150 mm wyposażona w kołnierze:
 DN 150 CF do podłączenia przez redukcję DN150CF-DN100CF
głowicy LEED+AES od góry komory ,
 DN 100 CF do przyłączenia do zaworu płytowego na komorze
procesowej,
 CF do podłączenia manipulatora X-Y stacji odbiorczej (od dołu
komory w osi portu dla podłączenia głowicy LEED+AES)
 DN 40 CF dla okienka do obserwacji transferu (okienko w
komplecie),
 DN 40 CF do podłączenia głowicy pomiaru próżni;
 DN 63 CF do podłączenia pompowania komory LEED+AES
2.2.
Stacja odbiorcza nośników podłoża- 1 sztuka
Stacja odbiorcza zamontowana w komorze LEED+AES umożliwiająca
odbiór nośnika podłoża oraz:
 ustawienie go płaszczyźnie prostopadłej do wiązki elektronowej
LEED+AES,
2.3.
2.4.
 przesuwanie nośnika podłoża w płaszczyźnie XY prostopadłej do
wiązki elektronowej LEED+AES o co najmniej X=+/- 20mm i co
najmniej Y=+/- 20mm,
Transfer liniowy - 1 sztuka
Transfer liniowy podłączony do komory wzrostu zapewniający transport
nośnika podłoża z manipulatora w komorze wzrostu do stacji odbiorczej
w komorze LEED+AES.
Zawór płytowy UHV DN100CF – 1 sztuka
Zamawiający dostarczy Wykonawcy w siedzibie Zamawiającego:
 Zawór płytowy DN150CF odcinający komorę wzrostu od pompy
turbomolekularnej
 Pompę turbomolekularną do pompowania komory wzrostu,
 Zawór płytowy DN100CF odcinający komorę magazynu (śluzę) od
pompy turbomolekularnej,
 Zawór płytowy DN63CF odcinający komorę magazynu (śluzę) od
komory wzrostu
 Pompę turbomolekularną do pompowania komory magazynu
(śluzę),
 Pompę jonowo-sorbcyjną wraz z zaworem kątowym UHV do
pompowania komory wzrostu,
 2 próżniomierze z głowicami pomiarowymi UHV
 Baraton,
 Bezolejową pompę próżni wstępnej EcoDry M15,
 Czwórnik DN150CF do podłączenia pompy jonowo-sorbcyjnej oraz
pompy turbomolekularnej do komory wzrostu wraz z odpowiednimi
flanszami,
 Zasilacz RF do magnetronów,
 Przejście obrotowe sterowane pneumatycznie do zasłonki podłoża
 Rozdzielacz- mieszacz gazu z kołnierzami DN16CF i 2 zaworami
odcinającymi UHV do podłączenia linii gazowych.
Warunki odbioru:
Odbiór odbędzie się w laboratorium Zamawiającego, który przygotuje
linie gazowe Ar i O2 wraz z systemem sterowania przepływem gazu
Warunkiem odbioru jest :
 Uzyskanie ciśnienia końcowego w komorze wzrostu 1x10-10 mbar,
 Uzyskanie ciśnienia końcowego w komorze załadowczej
1x10-9 mbar,
 Uzyskanie temperatury na podłożu 800 ºC w atmosferze 1mbar O2
 Uzyskanie stabilności temperatury na podłożu zgodnie
z wymaganiami, +/-0,2 ºC dla temperatur 200 ºC, 400 ºC, 600 ºC
i 800 ºC. Sprawdzenie powtarzalności uzyskania na podłożu
temperatur 200 ºC, 400 ºC, 600 ºC i 800 ºC z dokładnością
+/-0,3 ºC
 Sprawdzenie poprawności działania systemu pompowania jedną
pompą wstępną 2 pomp turbomolekularnych w warunkach
procesu próbnego,
 Wykonanie próbnego, reaktywnego procesu osadzania warstw
tlenku kobaltu przy zasilaniu magnetronu zasilaczem RF i - jeśli
będzie zakupiony zasilacz stałoprądowy - przy zasilaniu DC
 Wykonanie próbnego, reaktywnego procesu osadzania warstw
tlenku kobaltu z target ceramicznego przy użyciu zasilacza RF
§2. Termin wykonania zamówienia:
1
Wymaga się aby, ostateczne wykonanie przedmiotu zamówienia nastąpiło nie później
niż 30 listopada 2010 r.
§3. Warunki udziału w postępowaniu oraz opis sposobu dokonywania
oceny spełniania tych warunków:
1
2
3
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki z Art.
22 ust. 1 Ustawy PZP, dotyczące:
1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności,
jeżeli przepisy prawa nakładają obowiązek ich posiadania;
2) posiadania wiedzy i doświadczenia;
3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi
do wykonania zamówienia;
4) sytuacji ekonomicznej i finansowej,
i nie podlegają wykluczeniu z postępowania z trybie Art. 24 ust. 1.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą się należytym
wykonaniem co najmniej jednej komora wysokopróżniowej do nanoszenia cienkich
warstw metodą sputteringu.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do
wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 2.
§4. Wykaz oświadczeń i dokumentów, jakie mają dostarczyć wykonawcy
w celu potwierdzenia spełniania tych warunków:
1
2
3
4
Oświadczenie o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu zgodnie z Art. 22 ust. 1
Ustawy PZP.
Oświadczenie o braku podstaw do wykluczenia z postępowania zgodnie z Art. 24 ust. 1
Ustawy PZP.
Wykazu wykonanych dostaw w zakresie niezbędnym do wykazania spełniania warunku
wiedzy i doświadczenia w okresie ostatnich trzech lat przed upływem terminu składania
ofert, a jeżeli okres prowadzenia działalności jest krótszy - w tym okresie, z podaniem
ich wartości, przedmiotu, dat wykonania i odbiorców, oraz załączeniem dokumentu
potwierdzającego, że te dostawy zostały wykonane należycie.
Aktualny odpis z właściwego rejestru, jeżeli odrębne przepisy wymagają wpisu do
rejestru, w celu wykazania braku podstaw do wykluczenia w oparciu o art. 24 ust. 1 pkt.
2 ustawy, wystawionego nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania
ofert, a w stosunku do osób fizycznych oświadczenia w zakresie art. 24 ust. 1 pkt. 2
Ustawy.
Wykonawcy zagraniczni
1a Jeżeli wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania poza terytorium
Rzeczypospolitej Polskiej, zamiast dokumentu, o których mowa w § 4.4 składa
dokument lub dokumenty wystawione w kraju, w którym ma siedzibę lub miejsce
zamieszkania, potwierdzające, że nie otwarto jego likwidacji ani nie ogłoszono
upadłości.
2a Dokumenty, o których mowa w ust. 1 powinny być wystawione nie wcześniej niż 6
miesięcy przed upływem terminu składania ofert.
3a Jeżeli w miejscu zamieszkania osoby lub w kraju, w którym wykonawca ma siedzibę lub
miejsce zamieszkania, nie wydaje się dokumentów, o których mowa w ust. 1 zastępuje
się je dokumentem zawierającym oświadczenie złożone przed notariuszem, właściwym
organem sądowym, administracyjnym, albo organem samorządu zawodowego lub
gospodarczego odpowiednio miejsca zamieszkania osoby lub kraju, w którym
wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania. Przepis ust. 2 stosuje się
odpowiednio.
4a W przypadku wątpliwości co do treści dokumentu złożonego przez wykonawcę
mającego siedzibę lub miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej Polskiej,
zamawiający może zwrócić się do właściwych organów miejsca zamieszkania osoby lub
kraju, w którym wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania, z wnioskiem o
udzielenie niezbędnych informacji dotyczących przedłożonego dokumentu.
Wykonawca może polegać na wiedzy i doświadczeniu, potencjale technicznym, osobach
zdolnych do wykonania zamówienia innych podmiotów, niezależnie od charakteru prawnego
łączących go z nimi stosunków. Wykonawca w takiej sytuacji zobowiązany jest udowodnić
zamawiającemu, iż będzie dysponował zasobami niezbędnymi do realizacji zamówienia, w
szczególności przedstawiając w tym celu pisemne zobowiązanie tych podmiotów do oddania
mu do dyspozycji niezbędnych zasobów na okres korzystania z nich przy wykonywaniu
zamówienia.
§5. Informacje o sposobie porozumiewania się zamawiającego z
wykonawcami, a także wskazanie osób uprawnionych do
porozumiewania się z wykonawcami:
1
2
Zamawiający będzie kontaktował się z wykonawcami drogą faksu lub na piśmie.
Osoby przewidziane do kontaktu z wykonawcami:
 Maciej Zajączkowski – fax: (+48 22) 847 00 82.
§6. Termin związania ofertą:
1
Zamawiający ustala termin związania ofertą na okres 30 dni od daty terminu składania
ofert.
§7. Opis sposobu przygotowania oferty:
1
Oferta powinna być sporządzona w języku polskim z zachowaniem formy pisemnej,
2
3
4
5
6
trwałą, czytelną techniką.
Każdy wykonawca może złożyć tylko jedną ofertę. Wykonawca, który przedłożył więcej
niż jedną ofertę, zostanie wyłączony z postępowania.
Nie dopuszcza się składania ofert częściowych i wariantowych.
Oferta powinna zawierać:
 specyfikację techniczną urządzeń;
 termin dostawy;
 warunki dostawy;
 cenę.
Wszystkie zapisane strony oferty powinny być ponumerowane, podpisane i zszyte.
Oferent powinien zamieścić ofertę w kopercie z adresem i nazwą Zamawiającego oraz
Oferenta, a także napisem:
"Postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego w trybie
przetargu nieograniczonego na komorę wysokopróżniową do nanoszenia cienkich
warstw metodą sputteringu z doposażeniem [DZPIE/020/2010]"
§8. Miejsce oraz termin składania i otwarcia ofert:
1
2
3
Ofertę należy złożyć w siedzibie Zamawiającego, budynek I pok. Nr. 101 (kancelaria
ogólna) w godzinach 9.00 ÷ 15.00 w dni robocze, do dnia 23 sierpnia 2010 r., do godz.
12:00.
W przypadku wysłania oferty pocztą (lub pocztą kurierską) za termin złożenia przyjmuje
się termin otrzymania oferty, a nie datę stempla pocztowego (nadania).
Otwarcie ofert odbędzie się w ostatnim dniu ich składania, w siedzibie Zamawiającego,
budynek I sala 203 o godzinie 14:30.
§9. Opis sposobu obliczenia ceny:
1
2
3
Cena wyrażona w walucie polskiej „PLN”.
Cena powinna uwzględniać:
 koszt towaru, oprogramowania,
 koszty instalacji,
 koszty opakowania,
 koszty transportu i ubezpieczenie towaru do IF PAN,
 koszty uruchomienia w IF PAN,
 koszty szkoleń w IF PAN,
 ubezpieczenia.
Obliczając cenę całkowitą, należy podać sumaryczną cenę z rozbiciem na poszczególne
punkty (Punkt 1 + Punkt 2 = cena całkowita)
§10. Opis kryteriów, którymi zamawiający będzie się kierował przy
wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia
publicznego:
1
2
Cena
Serwis i gwarancja
91 pkt.
9 pkt.
3
4
5
Przy przeliczaniu punktów za „cenę” Zamawiający posłuży się wzorem:
(Cmin/Cbad) x 91
gdzie:
Cmin – cena najtańszej oferty;
Cbad – cena oferty badanej.
1. Wykonawca zapewni całościowy wliczony w cenę całkowitą przegląd elementów
urządzenia (wykonanie niezbędnych regulacji) na miesiąc przed upływem terminu
ich gwarancji zakończony raportem:
 tak – 4 pkt.
 nie – 0 pkt.
2. Dodatkowy rok pełnej gwarancji
 tak – 5 pkt.
 nie – 0 pkt.
Oferta z najwyższym bilansem punktowym zostanie uznana za najkorzystniejszą.
§11. Informacje o formalnościach, jakie powinny zostać dopełnione po
wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia
publicznego:
1
Wykonawca, który wygra postępowania o udzielenie zamówienia publicznego, powinien
podpisać umowę w ciągu 7 dni od daty zakończenie terminu na wnoszenie odwołań, na
warunkach określonych w niniejszej specyfikacji istotnych warunków zamówienia,
jednak nie później niż termin związania ofertą.
§12. Istotne dla stron postanowienia, które zostaną wprowadzone do treści
zawieranej umowy w sprawie zamówienia publicznego:
1
Warunki płatności:
Punkt 1:
Część I – 50% wartości komory wysokopróżniowej do nanoszenia cienkich warstw
metodą sputteringu, przelewem po dostarczeniu dokumentacji technicznej i po
zatwierdzeniu przez Zamawiającego projektów technicznych komory wysokopróżniowej
będącej przedmiotem zamówienia, na podstawie faktury z 21 dniowym terminem
płatności.
Część II – 35 % wartości komory wysokopróżniowej do nanoszenia cienkich warstw
metodą sputteringu, płatne po montażu komory wysokopróżniowej w laboratorium
Zamawiającego, na podstawie faktury z 21 dniowym terminem płatności.
Część III – 15 % wartości komory wysokopróżniowej do nanoszenia cienkich warstw
metodą sputteringu, płatne po uruchomieniu komory i jej odbiorze protokolarnym przez
wyznaczonych pracowników IF PAN, na podstawie faktury z 21 dniowym terminem
płatności.
Punkt 2:
Część I -50% wartości doposażenie komory do nanoszenia cienkich warstw o system
próżniowy do podłączenia optyki elektronowej (LEED+AES), przelewem po
dostarczeniu dokumentacji technicznej i po zatwierdzeniu przez Zamawiającego
projektów technicznych komory wysokopróżniowej będącej przedmiotem zamówienia,
na podstawie faktury z 21 dniowym terminem płatności.
2
3
4
5
6
Część II – 35 % wartości doposażenie komory do nanoszenia cienkich warstw o system
próżniowy do podłączenia optyki elektronowej (LEED+AES), płatne po montażu
komory wysokopróżniowej w laboratorium Zamawiającego, na podstawie faktury z 21
dniowym terminem płatności.
Część III – 15 % wartości doposażenie komory do nanoszenia cienkich warstw o system
próżniowy do podłączenia optyki elektronowej (LEED+AES), płatne po uruchomieniu i
odbiorze protokolarnym przez wyznaczonych pracowników IF PAN, na podstawie
faktury z 21 dniowym terminem płatności
W przypadku wystąpienia opóźnienia w wykonaniu przedmiotu umowy, Wykonawca
zobowiązuje się zapłacić na rzecz Zamawiającego kary umowne w wysokości 0,1%
wartość umowy za każdy dzień zwłoki, począwszy od pierwszego dnia następującego po
umownym terminie wykonania. Suma kar umownych nie może przekroczyć 10%. W
przypadku opóźnienia trwającego dłużej niż 100 dni, Wykonawca zobowiązuje się na
żądanie Zamawiającego do zwrotu otrzymanych płatności.
Wykonawca dostarczy wraz z urządzeniem instrukcję obsługi w języku polskim lub
angielskim oraz kartę(y) gwarancyjną z zasadami świadczenia usług przez autoryzowany
serwis(y) w okresie gwarancyjnym i pogwarancyjnym.
Gwarancja obejmuje: koszty serwisu, niezbędnych części zamiennych (bez materiałów
eksploatacyjnych), dojazdy pracownika serwisu oraz transport niesprawnego sprzętu.
Wykonawca usunie na swój koszt wszystkie wady ukryte sprzętu w ciągu 2 miesięcy od
daty ich ujawnienia w okresie trwania gwarancji (koszty pokrywa Wykonawca).
Zakazuje się zmian postanowień zawartej umowy w stosunku do treści oferty, na
podstawie której dokonano wyboru Wykonawcy, za wyjątkiem następujących
przypadków:
1. zmiany terminu realizacji zamówienia ze względu na:
 przyczyny leżące po stronie Zamawiającego dotyczące np. braku
przygotowania/przekazania miejsca realizacji/dostawy,
 inne niezawinione przyczyny spowodowane przez tzw. „siłę wyższą” np.
pożar, zalanie, itp.
2. obniżenia kosztu ponoszonego przez Zamawiającego na eksploatację i
konserwację w sytuacji zmiany ceny materiałów eksploatacyjnych i/lub
świadczenia usług,
3. wydłużenia terminu gwarancji, w sytuacji przedłużenia jej przez
producenta/Wykonawcę,
4. poprawy jakości lub innych parametrów charakterystycznych dla danego
elementu dostawy lub zmiany technologii na równoważną lub lepszą,
podniesienia wydajności urządzeń oraz bezpieczeństwa, w sytuacji wycofania z
rynku przez producenta lub zakończenia produkcji zaoferowanego przez
wykonawcę przedmiotu zamówienia,
5. aktualizacji rozwiązań projektowych z uwagi na postęp technologiczny lub
zmiany obowiązujących przepisów,
6. zmiany w kolejności i terminach realizacji zamówienia w sytuacji, kiedy są one
korzystne dla Zamawiającego,
7. zmiany podwykonawcy ze względów losowych lub innych korzystnych dla
Zamawiającego w przypadku zadeklarowania przez Wykonawcę realizacji
zamówienia przy pomocy podwykonawców,
8. zmiany stawki podatku VAT w przypadku zmiany przepisów ustawy o podatku
od towaru i usług i podatku akcyzowym,
9. obniżenie ilości/wielkości przedmiotu zamówienia i tym samym wynagrodzenia
Wykonawcy, wynikające z zaistnienia obiektywnych przesłanek konieczności
takiej zmiany.
§13. Pouczenie o środkach ochrony prawnej:
Środki ochrony prawnej, przysługujące wszystkim wykonawcom, opisane są w Dziale VI
Prawa Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004r (Dz. U. Nr 19, poz. 177 z dnia 9 lutego
2004 wraz z późniejszymi zmianami).
……………………………
……………………………
pieczęć adresowa Oferenta
data
Oświadczenie
Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y,
że spełniam/y warunki udziału w niniejszym postępowaniu zawarte w art. 22 ust. 1
Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych, który stanowi, że:
„O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki, dotyczące:
1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności, jeżeli przepisy
prawa nakładają obowiązek ich posiadania;
2) posiadania wiedzy i doświadczenia;
3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi do wykonania
zamówienia;
4) sytuacji ekonomicznej i finansowej.”.
…………………………
podpis i pieczęć imienna Oferenta
……………………………
……………………………
pieczęć adresowa Oferenta
data
Oświadczenie
Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y,
że nie podlegam/y wykluczeniu zgodnie z Art. 24 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień
Publicznych, który stanowi, że:
„1. Z postępowania o udzielenie zamówienia wyklucza się:
1) wykonawców, którzy wyrządzili szkodę, nie wykonując zamówienia lub wykonując je
nienależycie, jeżeli szkoda ta została stwierdzona orzeczeniem sądu, które uprawomocniło się
w okresie 3 lat przed wszczęciem postępowania;
2) wykonawców, w stosunku do których otwarto likwidację lub których upadłość ogłoszono, z
wyjątkiem wykonawców, którzy po ogłoszeniu upadłości zawarli układ zatwierdzony
prawomocnym postanowieniem sądu, jeżeli układ nie przewiduje zaspokojenia wierzycieli
przez likwidację majątku upadłego;
3) wykonawców, którzy zalegają z uiszczeniem podatków, opłat lub składek na ubezpieczenia
społeczne lub zdrowotne, z wyjątkiem przypadków gdy uzyskali oni przewidziane prawem
zwolnienie, odroczenie, rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości
wykonania decyzji właściwego organu;
4) osoby fizyczne, które prawomocnie skazano za przestępstwo popełnione w związku z
postępowaniem o udzielenie zamówienia, przestępstwo przeciwko prawom osób wykonujących
pracę zarobkową, przestępstwo przeciwko środowisku, przestępstwo przekupstwa,
przestępstwo przeciwko obrotowi gospodarczemu lub inne przestępstwo popełnione w celu
osiągnięcia korzyści majątkowych, a także za przestępstwo skarbowe lub przestępstwo udziału
w zorganizowanej grupie albo związku mających na celu popełnienie przestępstwa lub
przestępstwa skarbowego;
5) spółki jawne, których wspólnika prawomocnie skazano za przestępstwo popełnione w związku
z postępowaniem o udzielenie zamówienia, przestępstwo przeciwko prawom osób
wykonujących pracę zarobkową, przestępstwo przeciwko środowisku, przestępstwo
przekupstwa, przestępstwo przeciwko obrotowi gospodarczemu lub inne przestępstwo
popełnione w celu osiągnięcia korzyści majątkowych, a także za przestępstwo skarbowe lub
przestępstwo udziału w zorganizowanej grupie albo związku mających na celu popełnienie
przestępstwa lub przestępstwa skarbowego;
6) spółki partnerskie, których partnera lub członka zarządu prawomocnie skazano za
przestępstwo popełnione w związku z postępowaniem o udzielenie zamówienia, przestępstwo
przeciwko prawom osób wykonujących pracę zarobkową, przestępstwo przeciwko środowisku,
przestępstwo przekupstwa, przestępstwo przeciwko obrotowi gospodarczemu lub inne
przestępstwo popełnione w celu osiągnięcia korzyści majątkowych, a także za przestępstwo
skarbowe lub przestępstwo udziału w zorganizowanej grupie albo związku mających na celu
popełnienie przestępstwa lub przestępstwa skarbowego;
7) spółki komandytowe oraz spółki komandytowo-akcyjne, których komplementariusza
prawomocnie skazano za przestępstwo popełnione w związku z postępowaniem o udzielenie
zamówienia, przestępstwo przeciwko prawom osób wykonujących pracę zarobkową,
przestępstwo przeciwko środowisku, przestępstwo przekupstwa, przestępstwo przeciwko
obrotowi gospodarczemu lub inne przestępstwo popełnione w celu osiągnięcia korzyści
majątkowych, a także za przestępstwo skarbowe lub przestępstwo udziału w zorganizowanej
grupie albo związku mających na celu popełnienie przestępstwa lub przestępstwa
skarbowego;
8) osoby prawne, których urzędującego członka organu zarządzającego prawomocnie skazano za
przestępstwo popełnione w związku z postępowaniem o udzielenie zamówienia, przestępstwo
przeciwko prawom osób wykonujących pracę zarobkową, przestępstwo przeciwko środowisku,
przestępstwo przekupstwa, przestępstwo przeciwko obrotowi gospodarczemu lub inne
przestępstwo popełnione w celu osiągnięcia korzyści majątkowych, a także za przestępstwo
skarbowe lub przestępstwo udziału w zorganizowanej grupie albo związku mających na celu
popełnienie przestępstwa lub przestępstwa skarbowego;
9) podmioty zbiorowe, wobec których sąd orzekł zakaz ubiegania się o zamówienia na podstawie
przepisów o odpowiedzialności podmiotów zbiorowych za czyny zabronione pod groźbą kary.
…………………………
podpis i pieczęć imienna Oferenta
……………………………
……………………………
pieczęć adresowa Oferenta
data
Wykaz części zamówienia, które Wykonawca powierzy
podwykonawcom.
Lp
Zakres zamówienia, który Wykonawca zamierza powierzyć
podwykonawcom
1
2
3
4
5
…………………………
podpis i pieczęć imienna Oferenta