Mikroskop elektronowy
Transkrypt
Mikroskop elektronowy
Mikroskop elektronowy [edytuj] Z Wikipedii Skocz do: nawigacji, szukaj Elektronowy mikroskop transmisyjny Mikroskop elektronowy — mikroskop wykorzystujący do obrazowania wiązkę elektronów, który pozwala na dostrzeganie obiektów nawet milion razy cieńszych niŜ ludzki włos (0,1 nm). Mikroskop elektronowy pozwala badać strukturę materii na poziomie atomowym. Dzięki niemu moŜliwa jest obserwacja organelli komórkowych i wirusów. Próbka znajduje się w próŜni i najczęściej jest pokrywana warstewką metalu. Wiązka elektronów przemiata badany obiekt i trafia do detektorów. Urządzenia elektroniczne odtwarzają na podstawie zmierzonych sygnałów obraz badanej próbki. Pierwszy mikroskop elektronowy skonstruował w 1931 r. Ernst Ruska razem z Maksem Knollem w Berlinie. Spis treści 1 [ukryj] • • • • 1 Podstawy fizyczne 2 Typy mikroskopów elektronowych o 2.1 Elektronowy mikroskop transmisyjny o 2.2 Elektronowy mikroskop skaningowy o 2.3 Mikroskop jonowy 3 Zastosowania 4 Zobacz teŜ Podstawy fizyczne [edytuj] Podstawowym parametrem mikroskopu jest zdolność rozdzielcza, która określa rozmiary najmniejszych szczegółów jakie da się dostrzec w badanej próbce. Zdolność rozdzielczą mikroskopu optycznego ogranicza dyfrakcja (zjawisko fizyczne zmiany kierunku rozchodzenia się fali) promieni tworzących obraz. Im mniejsza jest długość fali, tym mniejszy obiekt moŜna obserwować. Granica rozdzielczości mikroskopu optycznego wynosi około 200 nm (z wyjątkiem SNOM). W roku 1905 Albert Einstein wyjaśnił zjawiska związane z efektem fotoelektrycznym, proponując istnienie hipotetycznych cząstek światła nazwanych potem fotonami. Światło ujawniło swoją dwoistą naturę. W pewnych sytuacja zachowuje się jak fala,w innych jak strumień cząstek. W roku 1924 Louis de Broglie zaproponował hipotezę, według której cząstki elementarne miały podobną dwoistą naturę. KaŜda z nich jest zarówno cząstką jak i falą, której długość zaleŜy od pędu cząstki. Pęd fotonów jest niewielki i dlatego długość fali świetlnej jest relatywnie duŜa w skali mikroświata. Nawet najlŜejsze cząstki elementarne mają pęd znacznie większy od fotonów. W ten sposób narodził się pomysł wykorzystania w mikroskopii elektronów. Pierwszy mikroskop elektronowy skonstruował w 1931 roku Ernst Ruska razem z Maksem Knollem w Berlinie. Na Uniwersytecie w Aberdeen George Paget Thomson przepuścił wiązkę elektronów przez cienką folię metalową i zaobserwował obrazy dyfrakcyjne fal materii. W Laboratoriach firmy Bell Clinton Joseph Davisson i Lester Halbert Germer prześwietli wiązką elektronów próbkę kryształu uzyskując obrazy dyfrakcyjne. W roku 1937 Thomson i Davisson wspólnie otrzymali za swoje prace Nagrodę Nobla z fizyki. Typy mikroskopów elektronowych [edytuj] Ogólnie mikroskopy elektronowe moŜna podzielić na zwykłe oraz skaningowe mikroskopy elektronowe. W mikroskopach zwykłych jednocześnie analizowany jest duŜy obszar powierzchni preparatu i tworzony jest jego obraz. W mikroskopach skaningowych w danym momencie analizowany jest niewielki obszar, który jest traktowany jako punkt. Tworzenie obrazu następuje poprzez zebranie informacji z kolejno analizowanych punktów. Za pierwowzór i jednocześnie najprostszy mikroskop elektronowy uznawano (choć obecnie rzadko jest wymieniany wśród mikroskopów elektronowych) jest projektor elektronowy zwany teŜ mikroskopem polowym. 2 Elektronowy mikroskop transmisyjny [edytuj] Uproszczony schemat mikroskopu elektronowego (mikroskop transmisyjnego) Elektronowy mikroskop transmisyjny (en: Transmission Electron Microscope) - rejestrowane są elektrony przechodzące przez próbkę. Próbka w takim mikroskopie musi być cienką płytką o grubości mniejszej od 0,1 mikrometra. Przygotowanie takiej próbki jest trudne i znacznie ogranicza zastosowania mikroskopu. NajwaŜniejszym elementem mikroskopu elektronowego jest kolumna mikroskopu (1), która zawiera działo elektronowe(2) wytwarzające (np. w wyniku termoemisji) wiązkę elektronów(3). Wstępnie uformowana wiązka elektronów w obszarze pomiędzy katodą(4) i anodą(5) zostaje rozpędzona uzyskując energię: E = eU, gdzie e jest ładunkiem elektronu, a U napięciem między katodą i anodą. Zwiększenie napięcia pozwala na zwiększenie pędu elektronów, co zmniejsza długości fali. Przykładowo, gdy napięcie przyspieszające U= 300kV , wtedy długość fali elektronów λ = 0,00197 nm. Dla takiego napięcia prędkość elektronów w kolumnie mikroskopu v =0,776c, gdzie c jest prędkością światła w próŜni. Aby elektrony mogły przebyć drogę od działa elektronowego do ekranu konieczne jest utrzymywanie w kolumnie bardzo dobrej próŜni. Soczewkom optycznym odpowiada odpowiednio ukształtowane pole magnetyczne zmieniające bieg elektronów w cewkach ogniskujących(6). Istotną zaletą soczewek magnetycznych jest moŜliwość płynnej zmiany ich ogniskowych poprzez regulację natęŜenia prądu przypływającego przez soczewkę. Gdy rozpędzona wiązka elektronów pada na preparat zachodzi szereg efektów, które są wykorzystywane w róŜnych urządzeniach badawczych. W przypadku dostatecznie cienkich preparatów część elektronów przechodzi przez preparat (7) i jest wykorzystywana w transmisyjnych mikroskopach elektronowych. Elektrony mogą być odbite od preparatu lub mogą wybijać z preparatu elektrony zwane wtórnymi. Te dwa rodzaje elektronów wykorzystuje się w mikroskopach odbiciowych. Elektrony padające na preparat mogą 3 ponadto wzbudzać elektrony atomów badanej próbki, które następnie emitują rentgenowskie promieniowanie charakterystyczne dla atomów próbki. Wiele mikroskopów elektronowych, zarówno transmisyjnych jak i skaningowych, wyposaŜonych jest w spektrometr(y) EDS (en: Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) i/lub WDS (en: Wavelength Dispersive X-Ray Spectrometry), pozwalające na wykonanie analizy składu chemicznego próbki. Wiązka elektronowa po przejściu przez preparat moŜe być kształtowana podobnie jak promienie świetlne, z wykorzystaniem układu obiektyw (8) - okular (9). W przypadku elektronów zamiast szklanych elementów optycznych wykorzystywane są cewki zmieniające bieg naładowanych cząstek. Mikroskop moŜe pracować w trybie obrazu wówczas wiązka tworzy obraz preparatu na detektorze (10). Mikroskop pracujący w trybie dyfrakcji moŜe nie mieć cewek obiektywu i okulary, obraz tworzą elektrony w wyniku zjawiska dyfrakcji na strukturze próbki. W pierwszych konstrukcjach detektor był ekranem elektronoluminescencyjny (obecnie teŜ stosowane), w obecnych konstrukcjach detektor w postaci matrycy CCD, pobudzanej elektronami, umoŜliwia odczytanie obrazu jako sygnałów elektrycznych, a odpowiednia aparatura pomiarowa pozwala na zapisywanie informacji i tworzenie obrazu próbki. Elektronowy mikroskop skaningowy [edytuj] SEM, elektronowy mikroskop skaningowy (en: Scanning Electron Microscope) rejestrowany jest potencjał lub prąd pomiędzy próbką a sondą skanującą - punkt po punkcie dla całej próbki: • • • skaningowy mikroskop elektronowy emisyjny - rejestracja elektronów przepływających pomiędzy sondą a próbką a emitowanych z sondy skaningowy mikroskop polowy - emisja elektronów jest emisją polową, zachodzi w wyniku silnego pola elektrycznego. skaningowy mikroskop tunelowy (STM, (en:Scanning Tunneling Microscope) - rodzaj SPM. Mikroskop jonowy [edytuj] W celu zmniejszenia efektów falowych w miejsce elektronów uŜywa się jonów. Zastosowania [edytuj] Za pomocą mikroskopów elektronowych uzyskuje się niezwykle efektowne obrazy praktycznie we wszystkich dziedzinach nauki. Ograniczeniem jest jednak konieczność wykonywania pomiaru w próŜni (problem w przypadku próbek biologicznych) oraz przewodnictwo elektryczne próbki. W przypadku mikroskopii transmisyjnej wykonuje się tzw. repliki: próbkę badaną napyla się (w tzw. napylarce próŜniowej) cienką warstwą metalu (najlepiej złotem) a następne usuwa oryginalną próbkę i wykonuje obraz repliki. W przypadku mikroskopii skaningowej próbkę równieŜ napyla się metalem, ale nie trzeba usuwać próbki właściwej. Zaletą tak uzyskanych zmodyfikowanych próbek jest ich trwałość i moŜliwość powtarzania obrazowania, co nie zawsze moŜliwe jest w innych metodach mikroskopowych. 4 Zobacz teŜ [edytuj] • • • • • działo elektronowe mikroskop optyczny SPM (mikroskop sił atomowych i skaningowy mikroskop tunelowy) Elektronowy mikroskop skaningowy Mikroskop jonowy Źródło: "http://pl.wikipedia.org/wiki/Mikroskop_elektronowy" Kategoria: Mikroskopy • • • • • Tę stronę ostatnio zmodyfikowano 15:26, 26 kwi 2008. Tekst udostępniany na licencji GNU Free Documentation License. (patrz: Prawa autorskie) Wikipedia® jest zarejestrowanym znakiem towarowym Wikimedia Foundation. MoŜesz przekazać dary pienięŜne Fundacji Wikimedia. Zasady ochrony prywatności O Wikipedii Informacje prawne Electron microscope From Wikipedia, the free encyclopedia • Ten things you may not know about images on Wikipedia • Jump to: navigation, search This article needs additional citations for verification. Please help improve this article by adding reliable references. Unsourced material may be challenged and removed. (November 2006) An electron microscope is a type of microscope that uses electrons to illuminate a specimen and create an enlarged image. Electron microscopes have much greater resolving power than light microscopes and can obtain much higher magnifications. Some electron microscopes can magnify specimens up to 2 million times, while the best light microscopes are limited to magnifications of 2000 times. Both electron and light microscopes have resolution limitations, imposed by their wavelength. The greater resolution and magnification of the electron microscope is due to the wavelength of an electron, its de Broglie wavelength, being much smaller than that of a light photon, electromagnetic radiation. 5 The electron microscope uses electrostatic and electromagnetic lenses in forming the image by controlling the electron beam to focus it at a specific plane relative to the specimen in a manner similar to how a light microscope uses glass lenses to focus light on or through a specimen to form an image. Contents [hide] • • • • • • • • • 1 History 2 Electron microscope manufacturers 3 Types o 3.1 Transmission Electron Microscope (TEM) o 3.2 Scanning Electron Microscope (SEM) o 3.3 Reflection Electron Microscope (REM) o 3.4 Scanning Transmission Electron Microscope (STEM) 4 Sample Preparation 5 Disadvantages 6 Electron microscopy application areas 7 See also 8 References 9 External links [edit] History An image of an ant from a scanning electron microscope The first electron microscope prototype was built in 1931 by the German engineers Ernst Ruska and Max Knoll.[1] It was based on the ideas and discoveries of French physicist Louis de Broglie[citation needed]. Although it was primitive[citation needed]and not fit for practical use[citation needed] , the instrument was still capable of magnifying objects by four hundred times. Reinhold Rudenberg, the research director of Siemens, had patented the electron microscope in 1931, although Siemens was doing no research on electron microscopes at that time. In 1937 Siemens began funding Ruska and Bodo von Borries to develop an electron microscope. 6 Siemens also employed Ruska's brother Helmut to work on applications, particularly with biological specimens.[2][3] In the same decade of 1930s Manfred von Ardenne pioneered the scanning electron microscope and his universal electron microscope.[4] Siemens produced the first commercial TEM in 1939, but the first practical electron microscope had been built at the University of Toronto in 1938, by Eli Franklin Burton and students Cecil Hall, James Hillier, and Albert Prebus.[5] Although modern electron microscopes can magnify objects up to two million times, they are still based upon Ruska's prototype. The electron microscope is an integral part of many laboratories. Researchers use it to examine biological materials (such as microorganisms and cells), a variety of large molecules, medical biopsy samples, metals and crystalline structures, and the characteristics of various surfaces. The electron microscope is also used extensively for inspection, quality assurance and failure analysis applications in industry, including, in particular, semiconductor device fabrication. [edit] Electron microscope manufacturers Major manufacturers include: • • • • • • • • Delong Group FEI Company – USA (merged with Philips Electron Optics) FOCUS GmbH – Germany Hitachi – Japan Nion Company - USA JEOL Ltd. – Japan (Japan Electro Optics Laboratory) TESCAN – EU Carl Zeiss NTS GmbH - Germany [edit] Types [edit] Transmission Electron Microscope (TEM) Main article: Transmission electron microscopy The original form of electron microscopy, Transmission electron microscopy (TEM) involves a high voltage electron beam emitted by a cathode, usually a tungsten filament and focused by electrostatic and electromagnetic lenses. The electron beam that has been transmitted through a specimen that is in part transparent to electrons carries information about the inner structure of the specimen in the electron beam that reaches the imaging system of the microscope. The spatial variation in this information (the "image") is then magnified by a series of electromagnetic lenses until it is recorded by hitting a fluorescent screen, photographic plate, or light sensitive sensor such as a CCD (charge-coupled device) camera. The image detected by the CCD may be displayed in real time on a monitor or computer. Resolution of the TEM is limited primarily by spherical aberration, but a new generation of aberration correctors have been able to partially overcome spherical aberration to increase resolution. Software correction of spherical aberration for the High Resolution TEM HRTEM 7 has allowed the production of images with sufficient resolution to show carbon atoms in diamond separated by only 0.89 ångström (89 picometers) and atoms in silicon at 0.78 ångström (78 picometers)[6][7] at magnifications of 50 million times.[8] The ability to determine the positions of atoms within materials has made the HRTEM an important tool for nanotechnologies research and development. [edit] Scanning Electron Microscope (SEM) Main article: Scanning Electron Microscope Unlike the TEM, where electrons of the high voltage beam form the image of the specimen, the Scanning Electron Microscope (SEM)[9] produces images by detecting low energy secondary electrons which are emitted from the surface of the specimen due to excitation by the primary electron beam. In the SEM, the electron beam is rastered across the sample, with detectors building up an image by mapping the detected signals with beam position. Generally, the TEM resolution is about an order of magnitude greater than the SEM resolution, however, because the SEM image relies on surface processes rather than transmission it is able to image bulk samples and has a much greater depth of view, and so can produce images that are a good representation of the 3D structure of the sample. [edit] Reflection Electron Microscope (REM) In addition there is a Reflection Electron Microscope (REM). Like TEM, this technique involves electron beams incident on a surface, but instead of using the transmission (TEM) or secondary electrons (SEM), the reflected beam is detected. This technique is typically coupled with Reflection High Energy Electron Diffraction and Reflection high-energy loss spectrum (RHELS). Another variation is Spin-Polarized Low-Energy Electron Microscopy (SPLEEM), which is used for looking at the microstructure of magnetic domains.[10] [edit] Scanning Transmission Electron Microscope (STEM) Main article: Scanning Transmission Electron Microscope The STEM rasters a focused incident probe across a specimen that (as with the TEM) has been thinned to facilitate detection of electrons scattered through the specimen. The high resolution of the TEM is thus possible in STEM. The focusing action (and aberrations) occur before the electrons hit the specimen in the STEM, but afterward in the TEM. The STEM's use of SEM-like beam rastering simplifies annular dark-field imaging, and other analytical techniques, but also means that image data is acquired in serial rather than in parallel fashion. [edit] Sample Preparation 8 An insect coated in gold for viewing with a scanning electron microscope. Materials to be viewed under an electron microscope may require processing to produce a suitable sample. The technique required varies depending on the specimen and the analysis required: • • • • • • • Fixation for biological specimens. Cryofixation – freezing a specimen so rapidly, to liquid nitrogen or even liquid helium temperatures, that the water forms vitreous (non-crystalline) ice. This preserves the specimen in a snapshot of its solution state. An entire field called cryo-electron microscopy has branched from this technique. With the development of cryo-electron microscopy of vitreous sections (CEMOVIS), it is now possible to observe virtually any biological specimen close to its native state. Dehydration – replacing water with organic solvents such as ethanol or acetone. Embedding – infiltration of the tissue with a resin such as araldite or epoxy for sectioning. After this embedding process begins, the specimen must be polished to a mirror-like finish using ultra-fine abrasives. The polishing process must be performed carefully to minimise scratches and other polishing artefacts that impose on image quality. Sectioning – produces thin slices of specimen, semitransparent to electrons. These can be cut on an ultramicrotome with a diamond knife to produce very thin slices. Glass knives are also used because they can be made in the lab and are much cheaper. Staining – uses heavy metals such as lead, uranium or tungsten to scatter imaging electrons and thus give contrast between different structures, since many (especially biological) materials are nearly "transparent" to electrons (weak phase objects). In biology, specimens are usually stained "en bloc" before embedding and also later stained directly after sectioning by brief exposure to aqueous (or alcoholic) solutions of the heavy metal stains. Freeze-fracture or freeze-etch – a preparation method particularly useful for examining lipid membranes and their incorporated proteins in "face on" view. The fresh tissue or cell suspension is frozen rapidly (cryofixed), then fractured by simply breaking or by using a microtome while maintained at liquid nitrogen temperature. The cold fractured surface (sometimes "etched" by increasing the temperature to about -100°C for several minutes to let some ice sublime) is then shadowed with evaporated platinum or gold at an average angle of 45° in a high vacuum evaporator. A second coat of carbon, evaporated perpendicular to the average surface plane is often performed to improve stability of the replica coating. The specimen is returned to room temperature and pressure, then the extremely fragile "pre-shadowed" metal replica of the fracture surface is released from the 9 • • underlying biological material by careful chemical digestion with acids, hypochlorite solution or SDS detergent. The still-floating replica is thoroughly washed from residual chemicals, carefully fished up on EM grids, dried then viewed in the TEM. Ion Beam Milling – thins samples until they are transparent to electrons by firing ions (typically argon) at the surface from an angle and sputtering material from the surface. A subclass of this is Focused ion beam milling, where gallium ions are used to produce an electron transparent membrane in a specific region of the sample, for example through a device within a microprocessor. Ion beam milling may also be used for cross-section polishing prior to SEM analysis of materials that are difficult to prepare using mechanical polishing. Conductive Coating – An ultrathin coating of electrically-conducting material, deposited either by high vacuum evaporation or by low vacuum sputter coating of the sample. This is done to prevent the accumulation of static electric fields at the specimen due to the electron irradiation required during imaging. Such coatings include gold, gold/palladium, platinum, tungsten, graphite etc. and are especially important for the study of specimens with the scanning electron microscope. Another reason for coating, even when there is more than enough conductivity, is to improve contrast, a situation more common with the operation of a FESEM (field emission SEM). When an osmium coater is used, a layer far thinner than would be possible with any of the previously mentioned sputtered coatings is possible.[3] [edit] Disadvantages Pseudocolored SEM image of the feeding basket of Antarctic krill. Real electron microscope images do not carry any color information, they are greyscale. The first degree filter setae carry in v-form two rows of second degree setae, pointing towards the inside of the feeding basket. The purple ball is one micrometer in diameter. To display the total area of this structure one would have to tile this image 7500 times. Electron microscopes are expensive to build and maintain. They are dynamic rather than static in their operation: requiring extremely stable high-voltage supplies, extremely stable currents to each electromagnetic coil/lens, continuously-pumped high- or ultra-high-vacuum systems, and a cooling water supply circulation through the lenses and pumps. As they are very sensitive to vibration and external magnetic fields, microscopes aimed at achieving high resolutions must be housed in buildings (sometimes underground) with special services. Some desktop low voltage electron microscopes have TEM capabilities at very low voltages (around 5 kV) without stringent voltage supply, lens coil current, cooling water or vibration isolation requirements and as such are much less expensive to buy and far easier to install and 10 maintain, but do not have the same ultra-high (atomic scale) resolution capabilities as the larger instruments. The samples largely have to be viewed in vacuum, as the molecules that make up air would scatter the electrons. One exception is the environmental scanning electron microscope, which allows hydrated samples to be viewed in a low-pressure (up to 20 torr), wet environment. Scanning electron microscopes usually image conductive or semi-conductive materials best. Non-conductive materials can be imaged by an environmental scanning electron microscope. A common preparation technique is to coat the sample with a several-nanometer layer of conductive material, such as gold, from a sputtering machine; however, this process has the potential to disturb delicate samples. The samples have to be prepared in many ways to give proper detail, which may result in artifacts from such treatment. This raises the problem of distinguishing artifacts from material, particularly in biological samples. It is generally believed by scientists working in the field that as results from various preparation techniques have been compared and that there is no reason that they should all produce similar artifacts, it is reasonable to believe that electron microscopy features correlate with living cells. In addition, higher-resolution work has been directly compared to results from X-ray crystallography, providing independent confirmation of the validity of this technique.[citation needed] Since the 1980s, analysis of unfixed, vitrified specimens has also become increasingly used by scientists, further confirming the validity of this technique. [11], [12], [13] [edit] Electron microscopy application areas Semiconductor and data storage • • • • Circuit edit 3D metrology Defect analysis Failure analysis Research • • • • • Biology and life sciences Materials qualification Materials and sample preparation Nanoprototyping Nanometrology Device testing and characterization Industry • • • • • • • Cryobiology Protein localization Electron tomography Cellular tomography Cryo-electron microscopy Toxicology Biological production and viral load monitoring • • • • • • • High-resolution imaging 2D & 3D microcharacterization Macro sample to nanometer metrology Particle detection and characterization Direct beam-writing fabrication Dynamic materials experiments Sample preparation 11 • • • • • Particle analysis Pharmaceutical QC 3D tissue imaging Virology Vitrification • • • Forensics Mining (mineral liberation analysis) Chemical/Petrochemical [edit] See also • • • Category:Electron microscope images Field emission microscope Scanning tunneling microscope [edit] References 1. ^ Ernst Ruska Nobel Prize autobiography 2. ^ Ernst Ruska (1986). Ernst Ruska Autobiography (English). Nobel Foundation. Retrieved on 2007-02-06. 3. ^ DH Kruger, P Schneck and HR Gelderblom (13). "Helmut Ruska and the visualisation of viruses" (in English). The Lancet 355 (9216): 1713-1717. doi:10.1016/S0140-6736(00)022509. 4. ^ M von Ardenne and D Beischer (1940). "Untersuchung von metalloxud-rauchen mit dem universal-elektronenmikroskop" (in German). Zeitschrift Electrochemie 46: 270-277. 5. ^ MIT biography of Hillier 6. ^ OÅM: World-Record Resolution at 0.78 Å, (May 18, 2001) Berkeley Lab Currents. 7. ^ P. D. Nellist, M. F. Chisholm, N. Dellby, O. L. Krivanek, M. F. Murfitt, Z. S. Szilagyi, A. R. Lupini, A. Borisevich, W. H. Sides, Jr., S. J. Pennycook (17). "Direct Sub-Angstrom Imaging of a Crystal Lattice" (in English). Science 305 (5691): 1741. doi:10.1126/science.1100965. 8. ^ The Scale of Things, DOE Office of Basic Energy Sciences (BES). 9. ^ SCANNING ELECTRON MICROSCOPY 1928 - 1965 10. ^ [1] 11. ^ [ADRIAN, M., DUBOCHET, J., LEPAULT, J. AND MCDOWALL, A. W. (1984). Cryoelectron microscopy of viruses Nature 308, 32-36.] 12. ^ [2] 13. ^ [S. Kasas, G. Dumas, G. Dietler, S. Catsicas, M. Adrian (2003) Vitrification of cryoelectron microscopy specimens revealed by high-speed photographic imaging Journal of Microscopy 211 (1) , 48–53 doi:10.1046/j.1365-2818.2003.01193.x ] [edit] External links • • • • • Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM) X-ray element analysis in electron microscope – Information portal with X-ray microanalysis and EDX contents John H.L. Watson: Very early Electron Microscopy in the Department of Physics, the University of Toronto – A personal recollection Rubin Borasky Electron Microscopy Collection, 1930-1988 Archives Center, National Museum of American History, Smithsonian Institution. electron microscopy Website of the ETH Zurich: Very good graphics and images, which illustrate various procedures. 12 • Albert Lleal microphotography. Scanning Electron Microphotography Coloured SEM Retrieved from "http://en.wikipedia.org/wiki/Electron_microscope" Categories: Microscopy | Scientific techniques | Nanotechnology Hidden categories: Articles needing additional references from November 2006 | All articles with unsourced statements | Articles with unsourced statements since March 2008 | Articles with unsourced statements since February 2008 • • • • • This page was last modified on 15 May 2008, at 02:25. All text is available under the terms of the GNU Free Documentation License. (See Copyrights for details.) Wikipedia® is a registered trademark of the Wikimedia Foundation, Inc., a U.S. registered 501(c)(3) tax-deductible nonprofit charity. Privacy policy About Wikipedia Disclaimers 13