Wizyta w instytucie FEMTO-ST Besancon, Francja CEL WYJAZDU

Wizyta w instytucie FEMTO-ST
Besancon, Francja
Jurek Krężel
15. I 2006 – 14. IV 2006
CEL WYJAZDU: Opracowanie metodyki charakteryzacji pracy
MEMS'owego stolika x-y
Przedmiot analizy:
Ramka
krzemowa
poruszana
przez
parę
elektrostatycznych
aktuatorów
grzebieniowych.
Kombinacje czterech podawanych napięć, a tym samym
kombinacje
wzajemnego
położenia
aktuatorów
umożliwiają zmianę położenia ramki w kierunku x i y.
Metoda analizy:
Z uwagi na dostępną aparaturę (interferometr
zintegrowany z mikroskopem pozwalający na
oświetlenie obiektu wzdłuż kierunku obserwacji)
oraz charakter obiektu (obiekt o powierzchni
zwierciadlanej) zdecydowano się na pomiar
położenia poszczególnych elementów obiektu
za
pomocą
niekoherentnych
metod
korelacyjnych.
Analiza odbywa się
automatycznie.
Program do sterowania
aktuatorami, akwizycji i
analizy
informacji
umożliwia sterowanie
stolikiem wg dowolnych
funkcji i ich parametów.
Stolik MEMS jest własnością firmy INTEL