Część 3 Układy scalone mocy
Transkrypt
Część 3 Układy scalone mocy
Część 3 Układy scalone mocy Sterowanie polowe z bramką izolowaną (MOS) tranzystor sygnałowy – struktura symetryczna 4‑końcówkowa; sterowanie G-B, role D/S zamienne VDMOS – struktura asymetryczna 3‑końcówkowa; sterowanie G-S Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 2 Sterowanie napięciowo-ładunkowe ● Warunek główny załączenia ● UGS(on) > UGS(th) – napięcie progowe bramka-źródło (1…5 V) Pojemności pasożytnicze (~10…1000 pF): liniowe: CGN, CGO, CCP, CGD(ox) ε ox C ox =A =const t ox nieliniowe, zależne od napięcia (złączowe): CDS, CGD(sc) C sc= ● C= ∆Q ∆U e ε sN 2U Warunek dodatkowy ∆QG > QG(on) – załączający ładunek bramki (~1…100 nC) Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 3 Dodatkowe wymagania związane z przełączaniem ● ● Charakterystyka przejściowa ID = f(UGS) UGS(on) > UGS(ID(on)) Charakterystyka wyjściowa zakres, UDS(on) = f(ID, UGS) UGS(on) ≈ UGS(opt)(ID(on)) ● Wytrzymałość napięciowa układu bramka-podłoże ● |UGS| ≤ UGS(max,rat) Wyłączanie: UGS(off) znaczenie dynamiczne – szybkość znaczenie statyczne – pewność Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 4 Wpływ temperatury ● ● Napięcie progowe T↗ UGS(th)↘ wysterowanie łatwiejsze Inne przyrządy Napięcie w stanie przewodzenia ● T↗ μ↘ n= RDS(on)↗ UDS(on)↗ spadek napięcia większy zjawisko korzystne mikroskopowo BJT, tyrystory ▶ T↗ n ↗ τ↗ n↗ U i CE(on)↘ diody SBR – jak MOSFET diody PIN – jak BJT PT-IGBT zwykle jak BJT NPT-IGBT zwykle jak MOSFET lub brak wpływu (duże τ → mały przyrost) Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 5 Załączanie tranzystora VDMOS (obciążenie rezystancyjne) −t / τ G u GS=U GS(on) 1− e τ G=R G C in C in =C GSC GD 1 g fs R L =C GSC GD 1− du DS du GS Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 6 Rezystancja bramkowa ● Składowe ● ● rezystancja wyjściowa generatora opornik bramkowy rezystancja wewnętrzna bramki Argumenty za szybkim przełączaniem skrócenie czasów przełączania zmniejszenie energii wydzielanej podczas przełączania w tranzystorze możliwość zwiększenia częstotliwości przełączania zmniejszenie wymiarów elementów biernych poprawa charakterystyk sterowania przekształtnika Problemy powodowane przez szybkie przełączanie zaburzenia zakłócające pracę ▶ samego przyrządu ▶ innych przyrządów ▶ układu sterowania u ind=L s ● di dt Alternatywna (do τ) interpretacja wpływu RG Q G =∫ i G d t u g − u GS i G= RG Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 7 Wykorzystanie charakterystyki ładunku bramki ● Ładunki bramki załączający QG(on) (punkt D) ▶ ▶ całkowity QG(tot) (punkt E) ▶ ● pobór prądu/mocy na sterowanie Zależność od warunków pracy ● pewność załączenia moc strat dynamicznych (zał. QGD + QGS2 ≈ QG(on)) ID(on), UDS(off) przy braku danych – szacujemy od góry QG(on) jest niezależny od parametrów obwodu bramki RG, UGS(on), UGS(off) Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 8 Rzeczywisty generator impulsów bramkowych ● Najczęstsze rozwiązania tranzystor lub para wzmacniacz operacyjny mikrokontroler / sterownik logiczny (controller) dedykowany sterownik bramki (gate driver) ● Rola, parametry, wymagania poziom(y) napięcia ▶ dopasowanie układu logicznego do bramki tranzystora wydajność/obciążalność prądowa ▶ pozwalająca na przełączenie tranzystora w pożądanym czasie spadki napięć ∆UOH, ∆UOL ▶ zmniejszają amplitudę UGS(off)…UGS(on) stromość zboczy impulsu napięcia ▶ większa niż pożądana szybkość przełączania tranzystora Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 9 Sterownik bramki IR2117 ● ● najprostszy sterownik bramki Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 Wyjście VHO = VS VHO = VB = VS+Ub Klucz dolny VS = 0, Ub = UGG 10 Droga prądu bramki ● Przepływ ładunku = prąd ● VHO = VS ; uGS → 0 Jak najmniejsza długość i powierzchnia ● prąd płynie w obwodzie zamkniętym lepiej aby był on zaplanowany w przeciwnym razie prąd popłynie drogą, którą znajdzie, w przeciwnym razie grozi ▶ niepoprawne działanie ▶ niestabilność pracy ▶ uszkodzenie sterownika VHO = VB ; uGS → Ub szybkość propagacji generacja zaburzeń przechwytywanie zaburzeń Brak odcinków wspólnych z obwodem mocy Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 11 Sterownik klucza górnego – samoładujące się zasilanie obwodu bramki (układ bootstrap) ● Zadanie ● konieczna generacja sygnału bramkowego względem źródła tranzystora (VS) źródło T nie przyłączone do masy źródła zasilania sterownika UGG kondensator Cb jest niezbędny jako źródło napięcia Ub ● Działanie kondensator doładowuje się do UBS = UGG VS musi być czasowo równe 0 dzieje się to samoczynnie kiedy ug = 0, gdyż wtedy uRL ≈ 0 sterowniki (pół)mostka – dolny tranzystor zamiast odbiornika Klucz górny ● VS = uRL = var, Ub = UGG − UFD Wymagania układ cały czas przełączany ▶ wykluczone D = 1 (i bliskie) połączone masy obu obwodów ▶ przez odbiornik mała RL (ZL, Ron dolnego T) Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 12 Dobór elementów układu bootstrap ● Wymagana pojemność C b(min)= ∆ U b(max) składniki ładunku ▶ bramka Q G(tot) ▶ upływ ICb(leak) ▶ wyjście sterownika IQBS ▶ ∆Qb przesuwnik poziomu Qls ≈ 5 nC (20 nC dla 1200 V) ● I Cb(leak) I QBS ∆ Q b=Q G(tot) Q ls fs fs akceptowalny spadek napięcia ∆ U b(max)= U GG− U FD− V S(low) − U GS(on,min) ● Dioda Minimalizacja R i L pasożytniczych (C1, C2) wytrzymałość napięciowa ▶ gdy HO=1, V = u S RL ≈ UDD ▶ Urrm = 150%∙UDD wytrzymałość prądowa ▶ prąd średni I F(av) = ∆Qb∙fs czas wyłączania ▶ t rr ≤ 100 ns Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 13 Poziomy scalenia w elektronice mocy Bierne elementy mocy Źródło Przyrządy półprzewodnikowe mocy Odbiornik Wyjścia sterowników Zasilanie Wykonanie Pomiar Zabezpieczenia Sterowanie Mikrokontroler Energia Zadanie Nadzór Informacja Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 14 Motywacje dla rozwoju ● Potencjalne korzyści ● wzrost niezawodności poprawa charakterystyk nowe funkcje uproszczenie dla projektanta przekształtnika uproszczenie dla eksploatującego zmniejszenie objętości i masy zmniejszenie ceny przekształtnika generacja i odprowadzanie ciepła ▶ rozłożony charakter procesów elektrycznych i cieplnych duża różnorodność elementów ▶ trudność opracowania procesu technologicznego wysoki koszt opracowania niezawodnego rozwiązania Realne trudności wysokie napięcia, silne prądy ▶ izolacja elementów wysokoi niskonapięciowych duże stromości napięcia i prądu ▶ izolacja części mocy i logicznej prognoza 1991 r. Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 15 Izolacja złączem półprzewodnikowym ● ● Najprostsza i najtańsza Głęboka dyfuzja obszarów silnie domieszkowanych ● utworzenie złącz P+N− polaryzacja warstw P i N w kierunku zaporowym brak przepływu prądu możliwość odłożenia różnicy potencjałów Izolacja samoczynna możliwa gdy występują tylko MOSFET-y dyfuzje niskonapięciowe (HV S, LL S, LL D) otoczone obszarami P złącze HV D − podłoże P zawsze spolaryzowane zaporowo Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 16 Izolacja dielektrykiem ● Nowe podłoże w kieszeni ● Spajanie dwóch płytek ● pionowy przyrząd dużej mocy trawienie warstwy wysokiej utlenianie → izolacja osadzanie krzemu i rekrystalizacja przez wyżarzanie → podłoże przyrządy sygnałowe utlenianie powierzchni podłoża wysokonapięciowego szlifowanie i czyszczenie spojenie przez ściśnięcie w wysokiej temperaturze szlifowanie (zmniejszenie grubości) podłoża niskonapięciowego Brak pasożytniczych przyrządów półprzewodnikowych Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 17 Połączenia wysokonapięciowe ● ● ● Wcześniejsze przebicie lawinowe w półprzewodniku w wyniku oddziaływania ścieżki na wysokim potencjale Indukcja zaburzeń Użycie ekranu polikrzemowego Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 18 Rodziny i technologie ● Rodziny ● ● scalone moduły mocy (IPM) wysokonapięciowe układy scalone (HVIC) inteligentne układy mocy (Smart Power ICs) Technologie hybrydowe Technologie monolityczne cały układ scalony wykonany w jednym podłożu półprzewodnikowym główne problemy ▶ izolacja poszczególnych podzespołów ▶ wykonywanie elementów biernych konstrukcja ▶ różne podłoża ▶ różne technologie montażu ▶ możliwość montażu dyskretnych elementów biernych ▶ naturalna separacja galwaniczna zawierają monolityczne układy scalone jako elementy składowe różne skale wielkości główne zagadnienia ▶ montaż na płytce bazowej (materiał płytki, spoiwa) ▶ połączenia wewnętrzne Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 19 Scalone moduły mocy ● Kilka p.p.m. ● ● 2 diody w różnych konfiguracjach tranzystory z diodami zwrotnymi mostki prostownicze mostki tranzystorowe z diodami zwrotnymi Elementy wysokonapięciowe – technologie pionowe Elementy modyfikujące ● BU806 (ST Microelectronics) 2 właściwości statyczne właściwości dynamiczne Osiągane parametry najlepsze wśród układów scalonych mocy wytrzymałość jak najlepsze diody i tyrystory Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 20 Zapłonnik kondensator C jest ładowany przez diodę Ds dioda „Zenera” Z ulega przebiciu, umożliwiając przewodzenie prądu G-K tyrystora Th (konieczny spadek napięcia odkłada się na oporniku R) załączenie tyrystora Th – rozładowanie kondensatora – przepływ prądu o kształcie tłumionych oscylacji (przez Th lub D) indukcja wysokiego napięcia na uzwojeniu pierwotnym, więc i wtórnym – iskrzenie VRM = 200 V – technologia planarna Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 FLC01-200 (ST Microelectronics) 21 Inteligentne układy mocy (Smart Power) ● Elementy ● p.p.m. – często tylko 1 układy logiczne – zwykle rozbudowane Diagnostyka i zabezpieczenia Technologia ● ● p.p.m. – zwykle pionowa logika – CMOS, BiCMOS Sterowanie mocą w przekształtniku – przyrządy półprzewodnikowe mocy ▶ MOSFET, IGBT ▶ PIN, SBR, MPS ▶ BJT, SCR bramki/bazy p.p.m. ▶ silnoprądowe ~ 20…30 V ▶ wysokonapięciowe ~ 600 V (dla p.p.m. strony wysokiej) ● czujniki ▶ nadnapięciowe / zbyt niskiego napięcia ▶ nadprądowe (zwarciowe) / braku obciążenia ▶ temperaturowe układy analogowe (WO, …) ▶ CMOS ▶ bipolarne zabezpieczenia bezpośrednie ▶ diody Zenera, … Przetwarzanie i interfejsy do mikroprocesora (sygnalizacja, nadzór) cyfrowe układy CMOS o wysokiej gęstości upakowania Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 22 Technologia Smart Power ● jeżeli tylko MOSFET-y ● niepotrzebne żadne znaczące zmiany w technologii VDMOS izolacja samoczynna jeżeli również BJT logika – technologia BiCMOS → BCD = Bipolar-CMOS-DMOS dodatkowy etap dla pionowych BJT – dyfuzja N− w P-epi izolacja złączowa przez P-epi i P+ podwójny proces epitaksjalny ▶ epitaksja P na podłożu N + ▶ dyfuzja zagrzebanej N+ ▶ epitaksja N na P ▶ dyfuzja izolacyjnych P+ ▶ klasyczna dyfuzja P i N+ przy powierzchni – jak wyżej Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 23 Układy unipolarne i bipolarne ● Przewagi układów CMOS ● mniejsze statyczne straty mocy większa gęstość upakowania – mniejszy koszt krzemu wysoki uzysk w przypadku złożonych funkcji wysoka impedancja wejściowa mała obciążalność prądowa mała transkonduktancja silna zależność opóźnienia od obciążenia Inne cechy Przewagi układów bipolarnych Wady ● ● dwukierunkowość ● większa obciążalność prądowa (na jednostkę powierzchni) większa szybkość działania mniejsza wrażliwość na szumy lepiej sprawdzają się w układach analogowych mała zależność opóźnienia od obciążenia duże wzmocnienie większa częstotliwość przełączania (przy małych prądach i niskim wzmocnieniu) Wady duże straty mocy mała impedancja wejściowa mała gęstość upakowania Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 24 Technologia BiCMOS ● ● Tranzystory CMOS i bipolarne w jednej strukturze Podstawowy inwerter BiCMOS Vin = 0 ▶ M1 off, Q1 off ▶ M2 on ⇒ IB2 ⇒ Q2 on ▶ Vout → VDD ale max = VDD−UBE2 Vin = VDD ▶ M2 off, Q2 off, M1 on, Q1 on ▶ Vout → 0 ale min = UBE1 Z1 i Z2 – przepływ wstecznego prądu bazy przy wyłączaniu ▶ szybsze wyłączanie ▶ mniejsza moc strat Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 25 Zalety i wady technologii BiCMOS ● Połączenie najlepszych cech technologii uni- i bipolarnej wysoka impedancja wejściowa niska impedancja wyjściowa duża obciążalność prądowa wyjść małe opóźnienia i krótkie czasy przełączania dla dużych obciążeń ● Największa wada ograniczony zakres napięcia wyjściowego zwiększenie mocy strat szczególnie w następnym stopniu zmniejszenie marginesu szumów Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 26 Groźba zatrzasku ● Pasożytniczy tyrystor występuje w każdej technologii załącza się przy odpowiednio dużym prądzie ● Eliminacja α ↘ (uBE ↘) ⇐ RBE ↘ zagrzebana warstwa silnie domieszkowana CMOS BiCMOS (górny PMOS) Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 27 Wpływ prądów podłożowych ● Przenoszenie zaburzeń pasożytnicze tranzystory między przyrządami wysokoi niskonapięciowymi wstrzykiwanie elektronów do podłoża przez złącza izolujące gdy VD < 0 – jest to możliwe chwilowo wskutek zaburzeń ● Zatrzask pasożytnicze tyrystory między przyrządami niebezpieczne elementy pasożytnicze wprowadza m.in. izolacja złączowa Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 28 Minimalizacja prądów podłożowych ● Podłoża o dużej rezystywności technologie SOI (Silicon-On-Insulator) podłożem jest często zagrzebany tlenek krzemu – niski koszt, łatwość produkcji ● Bariery poziome utlenianie miejscowe LOCOS (Local Oxidation of Silicon) niski koszt wytworzenia SiO2 sięga do podłoża tworząc ochronę z 3 stron Technologia HVIC Semikron, 2005 Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 29 Minimalizacja prądów podłożowych (cd.) ● Głębokie rowki z tlenkiem trawienie → utlenianie ew. wypełnienie polikrzemem Technologia Smart Power AustriaMicroSystems, 2009 ● Dodatkowy tlenek zagrzebany utlenianie przez implantację jonów tlenu wyżarzanie – rekrystalizacja Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 30 Rozwój technologii BCD ● Wymiar charakterystyczny ● minimalny uzyskany: 0,13 µm (2006) stosowane w praktyce produkcyjnej: 0,18/0,25/0,35 µm (2009) Rezystancja w stanie załączenia brak wyraźnej poprawy przez ponad 10 lat Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 31 Jedna z pierwszych technologii Smart Power ● Smart SIPMOS (Siemens, 1988) ● modyfikacja technologii SIPMOS ▶ 1980, VDMOS, 4 etapy procesu technologicznego 10 etapów Przyrządy możliwe do wytworzenia: MOSFETy ▶ CMOS (5 V) ▶ nMOS i pMOS zubożane (oporniki) ▶ nMOS i pMOS HV (50 V) – poziome ▶ n-VDMOS – pionowy npn-BJT – pionowy diody HV (pseudo-Zenera) – poziome Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 32 Klucz MOSFET strony wysokiej ● ● VDMOS: 42 V zabezpieczenia prądowe napięciowe temperaturowe ESD BTS542 (Siemens) ● ● wyjście diagnostyczne ST (status) sterownik bramki wejście CMOS/TTL bufor silnoprądowy zasilanie bufora ~15 V przesuwnik poziomu AD 1988 Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 33 Współczesne układy PROFET BSP752R – jeden z następców BTS542 AD 2010 ● ● Smart SIPMOS VDMOS: 52 V 200 mΩ ⇒ 1,3 A Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 34 Wysokonapięciowe układy scalone (HVIC) ● Elementy ● Technologie ● logika (zwykle bardzo złożona) bloki wyjściowe wysokonapięciowe (zwykle słaboprądowe) VLSI CMOS wysokonapięciowe poziome (do 1200 V) Izolacja jak w układach Smart Power nieco łatwiejsza – brak dużych i, di/dt (często również u, du/dt) w podłożu Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 35 Poziomy wysokonapięciowy MOSFET – LDMOS ● VDMOS ● Ubr ∝ Wi2 ; RDS(on) ∝ Wi LDMOS Ubr = f(LD) słabiej niż 2; RDS(on)∝LD w stanie przewodzenia na odcinku La akumulacja nośników w stanie blokowania pole elektryczne w 2 wymiarach Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 36 Technika ReSurF (Reduced Surface Field) ● duża grubość warstwy N− (d) ● Wynaleziona w firmie Philips w 1979 r. Wpływ pionowego pola elektrycznego na poziome mała grubość warstwy N− ● pole pionowe wytwarza swój obszar zubożony (ładunku przestrzennego) dalsze wnikanie pola poziomego niższe szczytowe natężenie pola Korzyść zwiększenie napięcia przebicia poziomych przyrządów półprzewodnikowych mocy do rzędu 1200 V dla efektywnego wpływu wymagana cienka warstwa N− Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 37 ReSurF w tranzystorze LDMOS ● Optymalny rozkład natężenia pola ● niskie i równe szczyty grubości i domieszkowanie Double ReSurF bardzo różne zabiegi dodatkowo optymalizujące rozkład pola implantacje, warstwy zagrzebane, elektrody, niejednorodne domieszkowanie Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 38 Poziomy tranzystor IGBT – LIGBT ● Motywacja ● ● ● zmniejszenie spadku napięcia dla silnych prądów przy zachowaniu wysokiej wytrzymałości napięciowej Zawsze typu N Tranzystor blokujący wstecznie jest trudniejszy technologicznie ReSurF, SOI, … Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 39 6-kanałowy sterownik 3-fazowego mostka IGBT IR2133 – 600 V IR2133/IR2233 (Infineon) ● ● napięcie 600 V / 1200 V obciążalność +200 mA / −420 mA IR2233 – 1200 V Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 40 7-kanałowy sterownik 3-fazowego mostka IGBT Technologia HVIC przedstawiona wcześniej, Semikron, 2005 – SOI, RESURF LDMOS, 15+600 V, +250/−500 mA Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 41 Układy hybrydowe Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 42 Dwubiegunowy sterownik bramki IGBT ● ● ● ● ● M57959L (Mitsubishi) Zasilanie: +18/−15 V Wyjścia: ±2 A IGBT: 600 V, 200 A lub 1200 V, 100 A Izolacja we-wy: 2500 V (rms), 1 min. Zastosowania: falowniki, serwonapędy prądu przemiennego, zasilacze bezprzerwowe, spawarki Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 43 Motywacje rozwoju technologii hybrydowych dla układów Smart Power ● Wada technologii monolitycznych zwiększenie prądu dopuszczalnego wymaga zwiększenia powierzchni przekroju A tranzystora pionowego (J = I /A) dla tej części płytki wystarczyłaby zwykła technologia VDMOS jednak jest ona wytwarzana wraz z całością układu w pełnym procesie technologicznym Smart Power zbędne koszty rosną ● Alternatywa hybrydowa idea: podział układu na 2 części ▶ część mocy – zwykła technologia pionowa ▶ logika, sterowanie, zabezpie czenia – Smart Power odmiany ▶ Chip-on-Chip – montaż ponad ▶ Chip-by-Chip – montaż obok Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 44 Hybrydowe klucze smart power – VDMOS BTS442 (następca BTS542) ▶ VDMOS 42 V, 21 A – technologia OptiMOS ▶ reszta – technologia Smart5 (Smart Power) Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 45 Hybrydowe klucze Smart Power – IGBT BTS2140 ▶ PT-IGBT 400…600 V, 9…15 A, technologia pionowa ▶ logika – technologia SPT4 (Smart Power) ▶ stosowany w samochodach BMW, Mazda BTS2140 (Infineon) – klucz IGBT do zapłonu Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 46 Jeden z pierwszych układów scalonych mocy ● ● 2 tyrystory SCR 1600 V, 90 A Technologia hybrydowa SemiPack – Semikron, 1975 ● lutowanie na wspólnym metalizowanym podłożu ceramicznym zamknięcie we wspólnej obudowie plastikowej wspólny radiator izolowany ceramiką Inne ówczesne połączenia tyrystor + dioda dioda + dioda Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 47 Hybrydowy moduł IGBT dużej mocy SEMiX653GAL176HDs (Semikron) ● Elementy ● Aplikacje ● PT-N-IGBT ▶ technologia rowkowa ▶ dodatni współczynnik temperaturowy napięcia w stanie nasycenia dioda zwrotna dioda przeciwrównoległa czujnik temperatury jedna gałąź mostka napęd prądu przemiennego, zasilacze bezprzerwowe, spawarki Minimalizacja indukcyjności wewnętrznie rozdzielone obwody złącza sprężynowe Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 48 Moduł IGBT dużej mocy – parametry ● SEMiX653GAL176HDs: IGBT ▶ ▶ ▶ UCE = 2,45 V @ 450 A (UCE0 = 0,9 V; rCE = 3,4 mΩ) ICES = 0,1 mA @ 1700 V Zastosowania – Škoda 15T mostki z serii SKiiP3 (półmostki IGBT) napęd – 1700 V, 500 A, powietrze hamowanie – 1700 V, 1000 A, ciecz QG(on) = 4200 nC (−8 V → +15 V) toff = 1165 ns, Eoff = 180 mJ Diody ▶ ▶ ▶ 1700 V; 438 A @ Tc = 80 ° ● 1700 V; 365 A @ Tc = 80 ° UF = 1,7 V @ 450 A (UF0 = 0,9 V; rF = 1,8 mΩ) Qrr = 130 µC, Err = 73 mJ Obudowa ▶ 14,95 cm × 6,35 cm × 2,30 cm Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 49 Podłoża i wyprowadzenia ● Połączenie czipu z radiatorem ● ● przewodzenie ciepła izolacja elektryczna Lutowanie poprzez miedzianą płytkę podłożową różnica w rozszerzalności cieplnej miedzi i krzemu → naprężenia degradacja – Rθ ↗ Bezpośrednie spiekanie z płytką ● pojedyncze chipy na paście Ag wysokie ciśnienie, 250 ° dociśnięcie wyprowadzeń wytrzymałość na cykle cieplne Podłoże DBC miedź bezpośrednio spojona z ceramiką Al2O3 lub AlN rozszerzalność cieplna ≈ Si Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 50 Podłoża i chłodzenie 4 moduły na jednym podłożu DBC 12,7 cm × 17,8 cm (Semikron) ● 6 × IGBT || IGBT 6 × RG Chłodzenie radiatora powietrzne wodne – mikrokanały 6 × PIN czujniki θ wysoki koszt Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 51 Cewka scalona w technologii PCB ● Wielowarstwowe PCB 6 warstw 4 × 5 zwojów szerokość 10 mm wysokość 1,3 mm L0 = 4,6 µH; L = 3,7 µH @ 0,6 A Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 52 Cewka planarna na podłożu krzemowym ● Przetwornica scalona monolitycznie 5 V / 3V, 1 W, 3 MHz 10 mm × 10 mm × 1,8 mm L0 = 1,1 µH; L = 0,9 µH @ 0,4 A Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 53 Hybrydowy bierny scalony moduł mocy (Passive IPM/IPEM) ● Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 Przetwornica Uin = 300…400 V Uout = 48 V Iout = 20,8 A fs = 200 kHz 54 Scalony filtr zaburzeń elektromagnetycznych ● Odmienne wymagania ● tłumienie, a nie przekaz energii – char. częstotliwościowe redukcja pasożytniczych pojemności i indukcyjności zwiększenie strat wysokoczęstotliwościowych Techniki cienkie i wysokie uzwojenia (mniejsza pojemność, bardziej wyraźna naskórkowość) ułożenie uzwojeń w kratkę (zwiększenie odległości) odpowiednie uzwojenia Ni-Cu-Ni (większa ρ oraz μ → mniejsza δ) Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16 55