Część 3 Układy scalone mocy

Transkrypt

Część 3 Układy scalone mocy
Część 3
Układy scalone mocy
Sterowanie polowe z bramką izolowaną (MOS)
tranzystor sygnałowy –
struktura symetryczna
4‑końcówkowa;
sterowanie G-B,
role D/S zamienne
VDMOS –
struktura asymetryczna
3‑końcówkowa;
sterowanie G-S
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
2
Sterowanie napięciowo-ładunkowe
●
Warunek główny załączenia

●
UGS(on) > UGS(th) – napięcie
progowe bramka-źródło (1…5 V)
Pojemności pasożytnicze
(~10…1000 pF):


liniowe: CGN, CGO, CCP, CGD(ox)
ε ox
C ox =A
=const
t ox
nieliniowe, zależne od napięcia
(złączowe): CDS, CGD(sc)
C sc=
●
C=
∆Q
∆U

e ε sN
2U
Warunek dodatkowy

∆QG > QG(on) – załączający
ładunek bramki (~1…100 nC)
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
3
Dodatkowe wymagania związane z przełączaniem
●
●
Charakterystyka przejściowa

ID = f(UGS)

UGS(on) > UGS(ID(on))
Charakterystyka wyjściowa

zakres, UDS(on) = f(ID, UGS)

UGS(on) ≈ UGS(opt)(ID(on))
●
Wytrzymałość napięciowa układu
bramka-podłoże

●
|UGS| ≤ UGS(max,rat)
Wyłączanie: UGS(off)


znaczenie dynamiczne –
szybkość
znaczenie statyczne – pewność
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
4
Wpływ temperatury
●
●
Napięcie progowe

T↗ UGS(th)↘

wysterowanie łatwiejsze


Inne przyrządy

Napięcie w stanie przewodzenia

●
T↗ μ↘ n= RDS(on)↗ UDS(on)↗
spadek napięcia większy
zjawisko korzystne mikroskopowo




BJT, tyrystory
▶ T↗ n ↗ τ↗ n↗ U
i
CE(on)↘
diody SBR – jak MOSFET
diody PIN – jak BJT
PT-IGBT zwykle jak BJT
NPT-IGBT zwykle jak MOSFET
lub brak wpływu (duże τ → mały
przyrost)
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
5
Załączanie tranzystora VDMOS
(obciążenie rezystancyjne)

−t / τ G
u GS=U GS(on) 1− e
τ G=R G C in


C in =C GSC GD 1 g fs R L =C GSC GD 1−
du DS
du GS
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16

6
Rezystancja bramkowa
●
Składowe



●
●
rezystancja wyjściowa
generatora
opornik bramkowy
rezystancja wewnętrzna bramki

Argumenty za szybkim
przełączaniem





skrócenie czasów przełączania
zmniejszenie energii wydzielanej
podczas przełączania
w tranzystorze
możliwość zwiększenia
częstotliwości przełączania
zmniejszenie wymiarów
elementów biernych
poprawa charakterystyk
sterowania przekształtnika
Problemy powodowane przez
szybkie przełączanie
zaburzenia zakłócające pracę
▶ samego przyrządu
▶ innych przyrządów
▶ układu sterowania
u ind=L s
●
di
dt
Alternatywna (do τ) interpretacja
wpływu RG
Q G =∫ i G d t
u g − u GS
i G=
RG
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
7
Wykorzystanie charakterystyki ładunku bramki
●
Ładunki bramki

załączający QG(on) (punkt D)
▶
▶

całkowity QG(tot) (punkt E)
▶
●
pobór prądu/mocy na
sterowanie
Zależność od warunków pracy


●
pewność załączenia
moc strat dynamicznych
(zał. QGD + QGS2 ≈ QG(on))
ID(on), UDS(off)
przy braku danych – szacujemy
od góry
QG(on) jest niezależny od
parametrów obwodu bramki

RG, UGS(on), UGS(off)
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
8
Rzeczywisty generator impulsów bramkowych
●
Najczęstsze rozwiązania




tranzystor lub para
wzmacniacz operacyjny
mikrokontroler / sterownik
logiczny (controller)
dedykowany sterownik bramki
(gate driver)
●
Rola, parametry, wymagania



poziom(y) napięcia
▶ dopasowanie układu
logicznego do bramki
tranzystora
wydajność/obciążalność prądowa
▶ pozwalająca na przełączenie
tranzystora w pożądanym
czasie
spadki napięć ∆UOH, ∆UOL
▶

zmniejszają amplitudę
UGS(off)…UGS(on)
stromość zboczy impulsu
napięcia
▶ większa niż pożądana
szybkość przełączania
tranzystora
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
9
Sterownik bramki IR2117
●
●
najprostszy
sterownik bramki
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
Wyjście

VHO = VS

VHO = VB = VS+Ub
Klucz dolny

VS = 0, Ub = UGG
10
Droga prądu bramki
●
Przepływ ładunku = prąd



●
VHO = VS ; uGS → 0
Jak najmniejsza długość
i powierzchnia



●
prąd płynie w obwodzie
zamkniętym
lepiej aby był on zaplanowany
w przeciwnym razie prąd
popłynie drogą, którą znajdzie,
w przeciwnym razie grozi
▶ niepoprawne działanie
▶ niestabilność pracy
▶ uszkodzenie sterownika
VHO = VB ; uGS → Ub
szybkość propagacji
generacja zaburzeń
przechwytywanie zaburzeń
Brak odcinków wspólnych
z obwodem mocy
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
11
Sterownik klucza górnego – samoładujące się
zasilanie obwodu bramki (układ bootstrap)
●
Zadanie



●
konieczna generacja sygnału
bramkowego względem źródła
tranzystora (VS)
źródło T nie przyłączone do masy
źródła zasilania sterownika UGG
kondensator Cb jest niezbędny
jako źródło napięcia Ub
●
Działanie




kondensator doładowuje się do
UBS = UGG
VS musi być czasowo równe 0
dzieje się to samoczynnie kiedy
ug = 0, gdyż wtedy uRL ≈ 0
sterowniki (pół)mostka – dolny
tranzystor zamiast odbiornika
Klucz górny

●
VS = uRL = var, Ub = UGG − UFD
Wymagania



układ cały czas przełączany
▶ wykluczone D = 1 (i bliskie)
połączone masy obu obwodów
▶ przez odbiornik
mała RL (ZL, Ron dolnego T)
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
12
Dobór elementów układu bootstrap
●
Wymagana pojemność
C b(min)=

∆ U b(max)
składniki ładunku
▶ bramka Q
G(tot)
▶
upływ ICb(leak)
▶
wyjście sterownika IQBS
▶

∆Qb
przesuwnik poziomu
Qls ≈ 5 nC (20 nC dla 1200 V)
●

I Cb(leak) I QBS
∆ Q b=Q G(tot)

Q ls
fs
fs
akceptowalny spadek napięcia
∆ U b(max)= U GG− U FD− V S(low)  − U GS(on,min)
●
Dioda
Minimalizacja R i L
pasożytniczych (C1, C2)
wytrzymałość napięciowa
▶ gdy HO=1, V = u
S
RL ≈ UDD
▶


Urrm = 150%∙UDD
wytrzymałość prądowa
▶ prąd średni I
F(av) = ∆Qb∙fs
czas wyłączania
▶ t
rr ≤ 100 ns
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
13
Poziomy scalenia w elektronice mocy
Bierne elementy mocy
Źródło
Przyrządy półprzewodnikowe
mocy
Odbiornik
Wyjścia
sterowników
Zasilanie
Wykonanie
Pomiar
Zabezpieczenia
Sterowanie
Mikrokontroler
Energia
Zadanie
Nadzór
Informacja
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
14
Motywacje dla rozwoju
●
Potencjalne korzyści







●
wzrost niezawodności
poprawa charakterystyk
nowe funkcje
uproszczenie dla projektanta
przekształtnika
uproszczenie dla eksploatującego
zmniejszenie objętości i masy
zmniejszenie ceny
przekształtnika



generacja i odprowadzanie ciepła
▶ rozłożony charakter procesów
elektrycznych i cieplnych
duża różnorodność elementów
▶ trudność opracowania procesu
technologicznego
wysoki koszt opracowania
niezawodnego rozwiązania
Realne trudności


wysokie napięcia, silne prądy
▶ izolacja elementów wysokoi niskonapięciowych
duże stromości napięcia i prądu
▶ izolacja części mocy
i logicznej
prognoza
1991 r.
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
15
Izolacja złączem półprzewodnikowym
●
●
Najprostsza i najtańsza
Głęboka dyfuzja obszarów silnie
domieszkowanych




●
utworzenie złącz P+N−
polaryzacja warstw P i N
w kierunku zaporowym
brak przepływu prądu
możliwość odłożenia różnicy
potencjałów
Izolacja samoczynna



możliwa gdy występują tylko
MOSFET-y
dyfuzje niskonapięciowe (HV S,
LL S, LL D) otoczone obszarami P
złącze HV D − podłoże P zawsze
spolaryzowane zaporowo
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
16
Izolacja dielektrykiem
●
Nowe podłoże w kieszeni





●
Spajanie dwóch płytek




●
pionowy przyrząd dużej mocy
trawienie warstwy wysokiej
utlenianie → izolacja
osadzanie krzemu i rekrystalizacja
przez wyżarzanie → podłoże
przyrządy sygnałowe
utlenianie powierzchni podłoża
wysokonapięciowego
szlifowanie i czyszczenie
spojenie przez ściśnięcie
w wysokiej temperaturze
szlifowanie (zmniejszenie grubości)
podłoża niskonapięciowego
Brak pasożytniczych przyrządów
półprzewodnikowych
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
17
Połączenia wysokonapięciowe
●
●
●
Wcześniejsze
przebicie lawinowe
w półprzewodniku
w wyniku
oddziaływania
ścieżki na wysokim
potencjale
Indukcja zaburzeń
Użycie ekranu
polikrzemowego
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
18
Rodziny i technologie
●
Rodziny



●
●
scalone moduły mocy (IPM)
wysokonapięciowe układy
scalone (HVIC)
inteligentne układy mocy
(Smart Power ICs)
Technologie hybrydowe

Technologie monolityczne


cały układ scalony wykonany
w jednym podłożu
półprzewodnikowym
główne problemy
▶ izolacja poszczególnych
podzespołów
▶ wykonywanie elementów
biernych



konstrukcja
▶ różne podłoża
▶ różne technologie montażu
▶ możliwość montażu
dyskretnych elementów
biernych
▶ naturalna separacja
galwaniczna
zawierają monolityczne układy
scalone jako elementy składowe
różne skale wielkości
główne zagadnienia
▶ montaż na płytce bazowej
(materiał płytki, spoiwa)
▶ połączenia wewnętrzne
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
19
Scalone moduły mocy
●
Kilka p.p.m.




●
●
2 diody w różnych
konfiguracjach
tranzystory z diodami zwrotnymi
mostki prostownicze
mostki tranzystorowe z diodami
zwrotnymi
Elementy wysokonapięciowe –
technologie pionowe
Elementy modyfikujące


●
BU806 (ST Microelectronics)
2
właściwości statyczne
właściwości dynamiczne
Osiągane parametry


najlepsze wśród
układów scalonych mocy
wytrzymałość jak najlepsze
diody i tyrystory
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
20
Zapłonnik





kondensator C jest ładowany przez diodę Ds
dioda „Zenera” Z ulega przebiciu, umożliwiając
przewodzenie prądu G-K tyrystora Th (konieczny
spadek napięcia odkłada się na oporniku R)
załączenie tyrystora Th – rozładowanie
kondensatora – przepływ prądu o kształcie
tłumionych oscylacji (przez Th lub D)
indukcja wysokiego napięcia na uzwojeniu
pierwotnym, więc i wtórnym – iskrzenie
VRM = 200 V – technologia planarna
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
FLC01-200
(ST Microelectronics)
21
Inteligentne układy mocy (Smart Power)
●
Elementy


●
p.p.m. – często tylko 1
układy logiczne – zwykle
rozbudowane
Diagnostyka i zabezpieczenia

Technologia


●
●
p.p.m. – zwykle pionowa
logika – CMOS, BiCMOS

Sterowanie


mocą w przekształtniku –
przyrządy półprzewodnikowe mocy
▶ MOSFET, IGBT
▶ PIN, SBR, MPS
▶ BJT, SCR
bramki/bazy p.p.m.
▶ silnoprądowe ~ 20…30 V
▶ wysokonapięciowe ~ 600 V
(dla p.p.m. strony wysokiej)

●
czujniki
▶ nadnapięciowe / zbyt
niskiego napięcia
▶ nadprądowe (zwarciowe) /
braku obciążenia
▶ temperaturowe
układy analogowe (WO, …)
▶ CMOS
▶ bipolarne
zabezpieczenia bezpośrednie
▶ diody Zenera, …
Przetwarzanie i interfejsy do
mikroprocesora (sygnalizacja,
nadzór)

cyfrowe układy CMOS
o wysokiej gęstości upakowania
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
22
Technologia Smart Power
●
jeżeli tylko MOSFET-y


●
niepotrzebne żadne znaczące
zmiany w technologii VDMOS
izolacja samoczynna
jeżeli również BJT




logika – technologia BiCMOS
→ BCD = Bipolar-CMOS-DMOS
dodatkowy etap dla pionowych
BJT – dyfuzja N− w P-epi
izolacja złączowa przez P-epi i P+
podwójny proces epitaksjalny
▶ epitaksja P na podłożu N +
▶ dyfuzja zagrzebanej N+
▶ epitaksja N na P
▶ dyfuzja izolacyjnych P+
▶ klasyczna dyfuzja P i N+ przy
powierzchni – jak wyżej
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
23
Układy unipolarne i bipolarne
●
Przewagi układów CMOS




●
mniejsze statyczne straty mocy
większa gęstość upakowania –
mniejszy koszt krzemu
wysoki uzysk w przypadku
złożonych funkcji
wysoka impedancja wejściowa






mała obciążalność prądowa
mała transkonduktancja
silna zależność opóźnienia od
obciążenia
Inne cechy

Przewagi układów bipolarnych

Wady

●
●
dwukierunkowość


●
większa obciążalność prądowa
(na jednostkę powierzchni)
większa szybkość działania
mniejsza wrażliwość na szumy
lepiej sprawdzają się w układach
analogowych
mała zależność opóźnienia od
obciążenia
duże wzmocnienie
większa częstotliwość
przełączania (przy małych
prądach i niskim wzmocnieniu)
Wady



duże straty mocy
mała impedancja wejściowa
mała gęstość upakowania
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
24
Technologia BiCMOS
●
●
Tranzystory CMOS i bipolarne
w jednej strukturze
Podstawowy inwerter BiCMOS

Vin = 0

▶
M1 off, Q1 off
▶
M2 on ⇒ IB2 ⇒ Q2 on
▶

Vout → VDD
ale max = VDD−UBE2
Vin = VDD
▶
M2 off, Q2 off, M1 on, Q1 on
▶
Vout → 0 ale min = UBE1
Z1 i Z2 – przepływ wstecznego
prądu bazy przy wyłączaniu
▶ szybsze wyłączanie
▶ mniejsza moc strat
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
25
Zalety i wady technologii BiCMOS
●
Połączenie najlepszych cech
technologii uni- i bipolarnej




wysoka impedancja wejściowa
niska impedancja wyjściowa
duża obciążalność prądowa wyjść
małe opóźnienia i krótkie czasy
przełączania dla dużych obciążeń
●
Największa wada



ograniczony zakres napięcia
wyjściowego
zwiększenie mocy strat
szczególnie w następnym stopniu
zmniejszenie marginesu szumów
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
26
Groźba zatrzasku
●
Pasożytniczy tyrystor


występuje w każdej technologii
załącza się przy odpowiednio
dużym prądzie
●
Eliminacja


α ↘ (uBE ↘) ⇐ RBE ↘
zagrzebana warstwa silnie
domieszkowana
CMOS
BiCMOS
(górny
PMOS)
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
27
Wpływ prądów podłożowych
●
Przenoszenie zaburzeń


pasożytnicze tranzystory między
przyrządami wysokoi niskonapięciowymi
wstrzykiwanie elektronów do
podłoża przez złącza izolujące
gdy VD < 0 – jest to możliwe
chwilowo wskutek zaburzeń
●
Zatrzask


pasożytnicze tyrystory między
przyrządami
niebezpieczne elementy
pasożytnicze wprowadza m.in.
izolacja złączowa
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
28
Minimalizacja prądów podłożowych
●
Podłoża o dużej rezystywności


technologie SOI
(Silicon-On-Insulator)
podłożem jest często zagrzebany
tlenek krzemu – niski koszt,
łatwość produkcji
●
Bariery poziome



utlenianie miejscowe LOCOS
(Local Oxidation of Silicon)
niski koszt wytworzenia SiO2
sięga do podłoża tworząc
ochronę z 3 stron
Technologia HVIC
Semikron, 2005
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
29
Minimalizacja prądów podłożowych (cd.)
●
Głębokie rowki z tlenkiem


trawienie → utlenianie
ew. wypełnienie polikrzemem
Technologia Smart Power
AustriaMicroSystems, 2009
●
Dodatkowy tlenek
zagrzebany


utlenianie przez implantację
jonów tlenu
wyżarzanie – rekrystalizacja
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
30
Rozwój technologii BCD
●
Wymiar charakterystyczny


●
minimalny uzyskany:
0,13 µm
(2006)
stosowane w praktyce
produkcyjnej:
0,18/0,25/0,35 µm
(2009)
Rezystancja w stanie
załączenia

brak wyraźnej poprawy
przez ponad 10 lat
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
31
Jedna z pierwszych technologii Smart Power
●
Smart SIPMOS (Siemens, 1988)


●
modyfikacja technologii SIPMOS
▶ 1980, VDMOS, 4 etapy
procesu technologicznego
10 etapów
Przyrządy możliwe do
wytworzenia:



MOSFETy
▶ CMOS (5 V)
▶ nMOS i pMOS zubożane
(oporniki)
▶ nMOS i pMOS HV (50 V) –
poziome
▶ n-VDMOS – pionowy
npn-BJT – pionowy
diody HV (pseudo-Zenera) –
poziome
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
32
Klucz MOSFET strony wysokiej
●
●
VDMOS: 42 V
zabezpieczenia




prądowe
napięciowe
temperaturowe
ESD
BTS542 (Siemens)
●
●
wyjście diagnostyczne ST (status)
sterownik bramki




wejście CMOS/TTL
bufor silnoprądowy
zasilanie bufora ~15 V
przesuwnik poziomu
AD 1988
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
33
Współczesne układy PROFET
BSP752R – jeden z następców BTS542
AD 2010
●
●
Smart
SIPMOS
VDMOS:

52 V

200 mΩ
⇒ 1,3 A
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
34
Wysokonapięciowe układy scalone (HVIC)
●
Elementy


●
Technologie


●
logika (zwykle bardzo
złożona)
bloki wyjściowe
wysokonapięciowe
(zwykle słaboprądowe)
VLSI CMOS
wysokonapięciowe
poziome (do 1200 V)
Izolacja


jak w układach Smart Power
nieco łatwiejsza – brak
dużych i, di/dt (często
również u, du/dt) w podłożu
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
35
Poziomy wysokonapięciowy MOSFET – LDMOS
●
VDMOS

●
Ubr ∝ Wi2 ; RDS(on) ∝ Wi
LDMOS



Ubr = f(LD) słabiej niż 2; RDS(on)∝LD
w stanie przewodzenia na
odcinku La akumulacja nośników
w stanie blokowania pole
elektryczne w 2 wymiarach
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
36
Technika ReSurF
(Reduced Surface Field)
●
duża grubość warstwy N− (d)
●
Wynaleziona w firmie Philips
w 1979 r.
Wpływ pionowego pola
elektrycznego na poziome

mała grubość warstwy N−


●
pole pionowe wytwarza swój
obszar zubożony (ładunku
przestrzennego)
dalsze wnikanie pola poziomego
niższe szczytowe natężenie pola
Korzyść


zwiększenie napięcia przebicia
poziomych przyrządów
półprzewodnikowych mocy do
rzędu 1200 V
dla efektywnego wpływu
wymagana cienka warstwa N−
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
37
ReSurF w tranzystorze LDMOS
●
Optymalny rozkład natężenia pola


●
niskie i równe szczyty
grubości i domieszkowanie
Double ReSurF


bardzo różne zabiegi dodatkowo
optymalizujące rozkład pola
implantacje, warstwy zagrzebane, elektrody,
niejednorodne domieszkowanie
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
38
Poziomy tranzystor IGBT – LIGBT
●
Motywacja

●
●
●
zmniejszenie spadku napięcia dla
silnych prądów przy zachowaniu
wysokiej wytrzymałości napięciowej
Zawsze typu N
Tranzystor blokujący wstecznie jest
trudniejszy technologicznie
ReSurF, SOI, …
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
39
6-kanałowy sterownik 3-fazowego mostka IGBT
IR2133 – 600 V
IR2133/IR2233 (Infineon)
●
●
napięcie 600 V / 1200 V
obciążalność +200 mA / −420 mA
IR2233 – 1200 V
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
40
7-kanałowy sterownik 3-fazowego mostka IGBT
Technologia HVIC przedstawiona wcześniej, Semikron, 2005 – SOI, RESURF LDMOS, 15+600 V, +250/−500 mA
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
41
Układy hybrydowe
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
42
Dwubiegunowy sterownik bramki IGBT
●
●
●
●
●
M57959L (Mitsubishi)
Zasilanie: +18/−15 V
Wyjścia: ±2 A
IGBT: 600 V, 200 A
lub 1200 V, 100 A
Izolacja we-wy:
2500 V (rms), 1 min.
Zastosowania: falowniki,
serwonapędy prądu
przemiennego, zasilacze
bezprzerwowe, spawarki
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
43
Motywacje rozwoju technologii hybrydowych
dla układów Smart Power
●
Wada technologii monolitycznych




zwiększenie prądu
dopuszczalnego wymaga
zwiększenia powierzchni
przekroju A tranzystora
pionowego (J = I /A)
dla tej części płytki
wystarczyłaby zwykła
technologia VDMOS
jednak jest ona
wytwarzana wraz
z całością układu
w pełnym procesie
technologicznym
Smart Power
zbędne koszty
rosną
●
Alternatywa hybrydowa


idea: podział układu na 2 części
▶ część mocy – zwykła
technologia pionowa
▶ logika, sterowanie, zabezpie­
czenia – Smart Power
odmiany
▶ Chip-on-Chip – montaż ponad
▶ Chip-by-Chip – montaż obok
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
44
Hybrydowe klucze smart power – VDMOS

BTS442 (następca BTS542)
▶ VDMOS 42 V, 21 A –
technologia OptiMOS
▶ reszta – technologia Smart5
(Smart Power)
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
45
Hybrydowe klucze Smart Power – IGBT

BTS2140
▶ PT-IGBT 400…600 V, 9…15 A,
technologia pionowa
▶ logika – technologia SPT4
(Smart Power)
▶ stosowany w samochodach
BMW, Mazda
BTS2140 (Infineon) – klucz IGBT do zapłonu
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
46
Jeden z pierwszych układów scalonych mocy
●
●
2 tyrystory SCR
1600 V, 90 A
Technologia hybrydowa
SemiPack – Semikron, 1975



●
lutowanie na wspólnym
metalizowanym podłożu
ceramicznym
zamknięcie we wspólnej
obudowie plastikowej
wspólny radiator
izolowany ceramiką
Inne ówczesne połączenia


tyrystor + dioda
dioda + dioda
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
47
Hybrydowy moduł IGBT dużej mocy
SEMiX653GAL176HDs (Semikron)
●
Elementy




●
Aplikacje


●
PT-N-IGBT
▶ technologia rowkowa
▶ dodatni współczynnik
temperaturowy napięcia
w stanie nasycenia
dioda zwrotna
dioda przeciwrównoległa
czujnik temperatury
jedna gałąź mostka
napęd prądu przemiennego,
zasilacze bezprzerwowe,
spawarki
Minimalizacja indukcyjności


wewnętrznie rozdzielone obwody
złącza sprężynowe
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
48
Moduł IGBT dużej mocy – parametry
●
SEMiX653GAL176HDs:

IGBT
▶
▶
▶

UCE = 2,45 V @ 450 A
(UCE0 = 0,9 V; rCE = 3,4 mΩ)
ICES = 0,1 mA @ 1700 V
Zastosowania – Škoda 15T



mostki z serii SKiiP3 (półmostki IGBT)
napęd – 1700 V, 500 A, powietrze
hamowanie – 1700 V, 1000 A, ciecz
QG(on) = 4200 nC (−8 V → +15 V)
toff = 1165 ns, Eoff = 180 mJ
Diody
▶
▶
▶

1700 V; 438 A @ Tc = 80 °
●
1700 V; 365 A @ Tc = 80 °
UF = 1,7 V @ 450 A
(UF0 = 0,9 V; rF = 1,8 mΩ)
Qrr = 130 µC, Err = 73 mJ
Obudowa
▶
14,95 cm × 6,35 cm × 2,30 cm
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
49
Podłoża i wyprowadzenia
●
Połączenie czipu z radiatorem


●
●
przewodzenie ciepła
izolacja elektryczna


Lutowanie poprzez miedzianą
płytkę podłożową


różnica w rozszerzalności cieplnej
miedzi i krzemu → naprężenia
degradacja – Rθ ↗
Bezpośrednie spiekanie z płytką


●
pojedyncze chipy na paście Ag
wysokie ciśnienie, 250 °
dociśnięcie wyprowadzeń
wytrzymałość na cykle cieplne
Podłoże DBC


miedź bezpośrednio spojona
z ceramiką Al2O3 lub AlN
rozszerzalność cieplna ≈ Si
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
50
Podłoża i chłodzenie
4 moduły na jednym podłożu DBC 12,7 cm × 17,8 cm (Semikron)
●
6 × IGBT || IGBT
6 × RG
Chłodzenie radiatora


powietrzne
wodne – mikrokanały
6 × PIN
czujniki θ
wysoki koszt
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
51
Cewka scalona w technologii PCB
●
Wielowarstwowe PCB




6 warstw
4 × 5 zwojów
szerokość 10 mm
wysokość 1,3 mm
L0 = 4,6 µH; L = 3,7 µH @ 0,6 A
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
52
Cewka planarna na podłożu krzemowym
●
Przetwornica scalona
monolitycznie



5 V / 3V, 1 W, 3 MHz
10 mm × 10 mm × 1,8 mm
L0 = 1,1 µH; L = 0,9 µH @ 0,4 A
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
53
Hybrydowy bierny scalony moduł mocy
(Passive IPM/IPEM)
●
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
Przetwornica

Uin = 300…400 V

Uout = 48 V

Iout = 20,8 A

fs = 200 kHz
54
Scalony filtr zaburzeń elektromagnetycznych
●
Odmienne wymagania



●
tłumienie, a nie przekaz
energii – char.
częstotliwościowe
redukcja pasożytniczych
pojemności i indukcyjności
zwiększenie strat
wysokoczęstotliwościowych
Techniki




cienkie i wysokie uzwojenia
(mniejsza pojemność,
bardziej wyraźna
naskórkowość)
ułożenie uzwojeń w kratkę
(zwiększenie odległości)
odpowiednie
uzwojenia Ni-Cu-Ni (większa
ρ oraz μ → mniejsza δ)
Łukasz Starzak, Podzespoły i układy scalone mocy, lato 2015/16
55

Podobne dokumenty