2 + - Politechnika Wrocławska
Transkrypt
2 + - Politechnika Wrocławska
4. STRUKTURA KRYSZTAŁÓW PÓŁPRZEWODNIKOWYCH Irena Zubel Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechnika Wrocławska (na prawach rękopisu) Krzem, podstawowe parametry 1. Konfiguracja elektronowa: 1s2 2s22p6 3s23p2 2. Hybrydyzacja: sp3 3. Wiązania: kowalencyjne (tetraedr ) 3. Parametry fizykochemiczne: - powinowactwo elektronowe Si → Si- : 133kJ/mol - energia jonizacji Si →Si+ : 786kJ/mol - energia wiązania : 1,84 eV 190 kJ/mol - praca wyjścia: 4,8 eV - elektroujemność: 1,8 - temp. topnienia: 1410°C - temp. wrzenia: 2355°C - liczba koordynacyjna: 4 - stała sieciowa: 543 pm (5,43 Å) - promień atomowy:118 pm (1,18 Å) - promień jonowy Si4+ : 26 pm (0,26 Å) - długość wiązania: R=a√3/4=0,433a o 109,47 a R a/2 a√2/2 Struktura krystaliczna krzemu Opis struktury krystalicznej krzemu • grupa stechiometryczna: A4 (typu diamentu) • typ struktury: c F 8 (wg Pearsona ) sieć kubiczna, pow. centrowana, 8 atomów/kom. • grupa przestrzenna : F d 3 m (symbolika międzynarodowa) ½ 0 pow. centrowana, [100] [111] [110] ¼ d-płaszczyzna poślizgu, 3 osie symetrii, m-płaszczyzna symetrii ½ ¾ = + Struktura diamentu = sieć fcc + baza atomowa ½ 0 ¾ 0 0 ¼ ½ Dwuatomow baza: np. 000 i ¾ ¼ ¼ 0 Sieć krystaliczna krzemu < 110 > ( 110 ) komórka elementarna < 110 > < 110 > ( 100 ) Płaszczyzny sieciowe w krzemie a y (100) a 0) 1 (1 d (100) d(110) (12 0) (010) x 0) 2 3 ( d(120) d(010) d(320) Odległość między płaszczyznami (hkl): 1 dhkl2 = h2 + k2 + l2 a2 Gęstość atomów: 5x1022 /cm3 Kąt między płaszczyznami (h1k1l1) i (h2k2l2): cos φ = h1 ⋅ h2 + k1 ⋅ k 2 + l1 ⋅ l 2 (h12 + k12 + l12 ) ⋅ (h22 + k 22 + l22 ) Płaszczyzny sieciowe w krzemie Charakterystyka płaszczyzn krystalograficznych: Płaszczyzny sieciowe – oznacza się za pomocą wskaźników Millera . Wskaźnikiem płaszczyzny sieciowej jest liczba określająca na ile części została podzielona jednostka osiowa tą płaszczyzną, lub każdą inną z tej samej rodziny płaszczyzn . • płaszczyzny równoległe do siebie są oznaczane tymi samymi wskaźnikami Millera • gdy płaszczyzna przecina ujemną część osi, piszemy nad wskaźnikiem „-” • jeżeli płaszczyzna i prosta sieciowa mają ten sam symbol, to są do siebie prostopadłe • jeżeli płaszczyzna nie przecina osi współrzędnych (jest równoległa do danej osi), to odpowiedni wskaźnik wynosi 0 • rodzina płaszczyzn {hkl} to płaszczyzny symetrycznie równoważne, które można przeprowadzić w siebie nawzajem przez działanie elementów symetrii Płaszczyzny sieciowe w krzemie Wskaźniki płaszczyzn określone na podstawie definicji: z z z z c c c c a x y b b a y x x (100) (110) y b a x (111) y b (120) z z (-110) y (011) y (012) (110) (441) (221) a x (111) (014) x Płaszczyzny sieciowe w krzemie Sprawdź, czy umiesz oznaczać płaszczyzny: Płaszczyzny sieciowe w krzemie z Jakie wskaźniki Millera ma płaszczyzna przechodząca przez punkty: 200, 030, 006 ? 006 005 Jeżeli ma, nb, pc – odcinki wyznaczone przez płaszczyznę na osiach współrzędnych (np. 2a, 3b, 6c ), to: z 004 003 002 001 c b 010 020 100 200 x 006 W = ma+nb+pc - r. płaszczyzny 005 030 y 004 a 003 Wskaźniki Millera (hkl): 002 h:k:l =a/ma +b/nb +c/pc 001 c b 010 020 (np.: h:k:l = 1/2 : 1/3 :1/6) Zapis sprowadzony do liczb całkowitych, względem siebie pierwszych: h:k:l =3:2:1 Płaszczyzna: (3 2 1) (321) 100 200 x a 030 y Przestrzenny rozkład płaszczyzn krystalograficznych w krzemie Aby określić symetrię kryształu należy uwzględnić położenie wszystkich płaszczyzn symetrycznie równoważnych {hkl} (rodziny płaszczyzn). Rozkład płaszczyzn {111} w krysztale regularnym: (-1-11) (1-11) (-111) (111) (100) (1-1-1) (11-1) (-11-1) (-1-1-1) Rzut stereograficzny Rzut stereograficzny to dwuwymiarowy obraz kryształu przedstawiony na dowolnej płaszczyźnie (hkl). W celu skonstruowania rzutu stereograficznego kryształu płaszczyznom przypisujemy tzw. koła wielkie, tzn. koła przechodzące przez środek rzutu. Rzut sferyczny Rzut stereograficzny Konstrukcja rzutu stereograficznego N W N E W E W S S W N E W E S E W E Rzut stereograficzny (projekcja stereograficzna) Rzut stereograficzny na płaszczyznę (001) uwzględniający płaszczyzny o wskaźnikach Millera 0 i 1 Rzut stereograficzny na płaszczyznę (001) z zaznaczonymi kołami wielkimi, do których należą płaszczyzny Cechy rzutu stereograficznego Rzut obrazu sferycznego kryształu na płaszczyznę równikową kuli nazywa się rzutem stereograficznym. Rzut stereograficzny górnej półkuli składa się z punktów przecięcia płaszczyzny równikowej z pękiem prostych łączących punkty obrazu sferycznego z biegunem południowym. Rzut dolnej półkuli – z biegunem północnym. • biegun stereograficzny płaszczyzny, na którą wykonuje się rzut, leży w środku rzutu • ściany prostopadłe do płaszczyzny rzutu mają bieguny na obwodzie koła równikowego • im mniejszy kąt tworzy rzutowana ściana z płaszczyzną rzutu, tym bliżej środka rzutu leży jej biegun stereograficzny • obrazem wielkiego koła prostopadłego do płaszczyzny rzutu jest linia prosta • obrazem wielkiego koła nachylonego pod kątem do płaszczyzny rzutowania jest fragment elipsy Siatka Wulffa N ρ ϕ Siatka Wulffa - to zespół równoleżników i południków zrzutowanych z powierzchni sfery na płaszczyznę rzutu stereograficznego, pozwalających określić kąty między płaszczyznami. Płaszczyznę na rzucie stereograficznym określają jednoznacznie dwie współrzędne biegunowe ρ i ϕ. S ϕ ρ Siatka Wulffa Jak odczytać kąty z rzutu stereograficznego? ρ x R ρ/2 x/R = tg ρ/2 Pas krystalograficzny Pas płaszczyzn – jest to zbiór płaszczyzn sieciowych równoległych do wspólnego kierunku zwanego osią pasa. • płaszczyzny należące do tego samego pasa przecinają się wzdłuż prostych, równoległych do osi pasa • pas krystalograficzny jest opisywany wskaźnikami prostej, będącej osią pasa • oś pasa [uvw] jest prostopadła do płaszczyzny tzw. koła pasowego, przechodzącego przez środek rzutu (koła wielkiego) • do danego pasa należą płaszczyzny zarówno z dolnej jak i z górnej półkuli (hkl) oś pasa [001] koło pasowe Pas krystalograficzny Wyznaczanie osi pasa krystalograficznego: • płaszczyzny należące do jednego pasa leżą zawsze na jednym kole wielkim • gdy oś pasa leży w płaszczyźnie rzutu, płaszczyzny należące do tego pasa znajdują się na kole wielkim prostopadłym do płaszczyzny rzutu (na rzucie leżą na linii prostej przechodzącej przez środek rzutu) [-110] Gdy dwie płaszczyzny P1 i P2 nie leżą na kole wielkim ⊥: • umieszczamy je na kole wielkim siatki Wulffa • wyznaczamy punkt N odmierzając 90° na siatce • oś pasa jest prostą prostopadłą do płaszczyzny N P1 N P2 Płaszczyzny należące do pasa [-110] Pas krystalograficzny Prawo pasowe Weisa: każda płaszczyzna należy przynajmniej do dwóch pasów z (jej położenie jest określone przez dwie osie pasów). • • znając symbole dwóch płaszczyzn (h1k1l1) i (h2k2l2) możemy określić symbol osi pasa [uvw] wyznaczonego przez te płaszczyzny: u = k1l2 – k2l1 v = l1h2 – l2h1 w = h1k2 – h2k1 znając symbole osi dwóch pasów [u1v1w1] i [u2v2w2] możemy wyznaczyć wspólną dla nich płaszczyznę (hkl) (równoległą jednocześnie do obu osi): h = v1w2 – v2w1 k = w1u2 – w2u1 l = u1v2 – u1v1 y z y Związki półprzewodnikowe Związki półprzewodnikowe (półprzewodnikowe związki międzymetaliczne) I II (s2d9) s1 (s2d10) s2 IV V VI VII s2p1 s2p2 s2p3 s2p4 s2p5 blendy cynkowej, B C N O F grupa sfelerytu B3 Al Si P S Cl Cu Zn Ga Ge As Se Br Ag Cd In Sn Pb Te I Au Hg Tl Pb Bi Po At AIVBIV - SiC AIIIBV - GaAs, GaP, GaN, InAs, InP AIIBVI - HgTe, CdSe, CdS, ZnS AIBVII - CuBr, Cu2O Struktura: III •pary pierwiastków leżą symetrycznie względem IV grupy układu •suma elektronów biorących udział w wiązaniu: 8 •średnia liczba elektronów przypadających na jeden atom: 4 • wiązania koordynacyjne Właściwości związków półprzewodnikowych Szerokość pasma zabronionego [eV] Różnica elektroujemności: AIIIBV GaAs: 2 - 1,6 = 0,4 AlN: 1,5 AgCl: 1,1 CdTe: 0,4 2,1 –1,6 = 0,5 AIBVII ZnS: 0,9 ZnSe: 0,8 GaP: AgI: SiC: 0,7 AgI: 0,6 2,5 – 1,9 = 0,6 CuBr: 2,8 – 1,9 = 0,9 AIIBVI InP: 0,4 GaAs: 0,4 InAs: 0,3 Skomplikowana funkcja różnicy elektroujemności ZnS: 2,5 – 1,6 = 0,9 CdSe: 2,4 – 1,7 = 0,7 Właściwości związków półprzewodnikowych • dwa typy struktur krystalograficznych: B3 –blendy cynkowej; B4 –wurcytu • im większa szerokość przerwy energetycznej tym wyższa temperatura topnienia Właściwości związków półprzewodnikowych [010] [100] a ½ 0 ¼ ½ 0 ¾ B ½ 0 ¾ A ¼ ½ 0 Stała sieciowa zależy od: • wielkości atomów • odległości między atomami Długość fali odpowiadająca przerwie energetycznej [001] Stała sieciowa 0 • od stałej sieciowej zależy progowa długość fali Właściwości związków półprzewodnikowych RA rośnie a rośnie a√2/2 a a√2/2 a/2 a/2 RA + RB RA + RB a√2/2 RB RA + RB = a√3/4 RB = a√2/4 RA = a√3/4 - a√2/4 a/2 RA + RB RA + RB = a/2 RA = a/2 - a√2/4 a/2 RA + RB RA/RB = 0,225 (min) (a√2/4)2 + (a/4)2 = (RA+RB)2 RB = a√2/4 a√2/2 RA/RB = 0,41 (max ) Właściwości związków półprzewodnikowych Liczba koord. Przykłady związków o strukturze B3 L.p. Wzór chem. Stała sieciowa [Å] RA/RB 1. BeS 4,85 0.16 2. ZnS 5,409 0,37 3. CdS 5,818 0,48 4. HgS 5,852 0,55 5. MnS 5,60 0,39 6. AlP 5,462 0,26 7. GaP 5,447 0,28 8. ZnSe 5,668 0,35 9. CdSe 6,04 0,46 10. AlAs 5,639 0,25 11. GaAs 5,654 0,28 układ atomów Figura koord. Związki półprzewodnikowe (GaAs) Ga As A11 A7 rombowy romboedryczny Typ struktury: Układ: α =β =γ =90°; a ≠ b ≠ c α =β =γ ≠ 90° ; Konfiguracja: 4s2p1 Temp. topnienia: 302,9° K 1090° K Energia jonizacji (I): 578 kJ/mol K 944 kJ/mol K Promień atomowy: 1,41 Å Promień jonowy: 0,62 Å (+3) Elektroujemność: 1,6 Wiązania: metaliczne Odległości międzyatomowe: 2,78 Å a=b=c 4s2p3 1,21 Å 0,63 Å (+3); 0,47 Å (+5) 2,0 kowalencyjne i van der Waalsa 2,51 Å i 3,15 Å Wiązania w związkach półprzewodnikowych (na przykładzie GaAs) (111) [111] Ga: 4s2p1 AIIIBV Ga As As: 4s2p3 Ga As kowalencyjne (3) koordynacyjne (1) (111)A (111)B (100) Ga Ga Ga As As As Wiązania w związkach półprzewodnikowych (funkcje falowe) AIIBVI ZnSn: różnica elektroujemności 0,8 AIIIBV GaAs: różnica elektroujemności 0,4 Prawdopodobieństwo znalezienia elektrtronu między dwoma atomami: 000 i ¼, ¼ , ¼. Kryształy mieszane Klasyfikacja półprzewodników: AIIIBV • półprzewodniki pierwiastkowe • związki półprzewodnikowe • kryształy mieszane Grupa III: Ga, Al, In Grupa V: As, P, Sb Kryształy mieszane składają się z dwóch lub Wszystkie roztwory stałe tych większej ilości związków chemicznych. pierwiastków mają strukturę • Ze związków GaAs i GaP powstaje kryształ kubiczną typu blendy cynkowej trójskładnikowy: arseno-fosforek galu. (ZnS) Zapisujemy: (GaAs)1-x (GaP)x , lub: Ga As1-x Px . AlGaAs, InAlAs, InAlP, • Przykład związku czteroskładnikowego AlGaSb, InGaAs, InGaP, powstającego z GaAs, GaP, InS, InP : InAsSb, AlGaP, GaAsP, Ga0,13 In0,87 As0,37P0,63 • Kryształy mieszane nie są idealnie jednorodne. Ich skład ilościowy może zmieniać się w szerokich granicach. Związki półprzewodnikowe o strukturze wurcytu Struktura wurcytu B4: AIIIBV: GaN AIIBVI: β-ZnS, CdS, ZnO AIBVII: CuBr, AgJ Struktura heksagonalna z bazą dwuatomową: • Zn: 1/3, 2/3, 0 • S: 1/3, 2/3, 3/8 Zn: 0, 1, 0 S: 0, 1, 3/8 w układzie regularnym w układzie heksagon. komórka sieciowa baza Związki półprzewodnikowe o strukturze wurcytu Struktura wurcytu • Struktura o wiązaniach tetraedrycznych. • Dwie gęsto upakowane sieci heksagonalne przesunięte względem siebie wzdłuż osi c. • Bliskie uporządkowanie takie samo jak dla struktury blendy cynkowej, dalekie uporządkowanie – inna struktura krystaliczna. Wskaźniki kierunków w układach heksagonalnych Układ regularny - wskaźniki Millera: [hkl] Układ heksagonalny - wskaźniki Millera –Bravais’a: [hkil]; i = - (h+k) Kierunek i płaszczyzna wzajemnie prostopadłe. X1 = -1, x2 = 2, i = -(-1+2) = -1, l = c = 0 Wskaźniki płaszczyzn w układach heksagonalnych Wskaźniki ważniejszych płaszczyzn: a) Millera dla układu regularnego b) Millera –Bravais’a dla układu heksagonalnego 109,47° 70,53 ° Struktury wklęsłe Struktury wypukłe