T - Instytut Wysokich Ciśnień
Transkrypt
T - Instytut Wysokich Ciśnień
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Epitaksja z fazy ciekłej (LPE) 20 marzec 2008 Zbigniew R. Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN 02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46 tel: 843 66 01 ext. 3363 E-mail: [email protected] Stanisław Krukowski i Michał Leszczyński Instytut Wysokich Ciśnień PAN 01-142 Warszawa, ul Sokołowska 29/37 tel: 88 80 244 e-mail: [email protected], [email protected] Wykład – 2 godz./tydzień – czwartek 8.15 – 9.45 Interdyscyplinarne Centrum Modelowania UW Budynek Wydziału Geologii UW – sala 3089 http://www.ptwk.org.pl http://www.icm.edu.pl:80/edukacja/mat/wyklad_ptwk_2007/index.html Epitaksja z fazy ciekłej (LPE) Plan wykładu: • definicja + idea metody • trochę techniki • trochę historii • kinetyka wzrostu: dyfuzja • konwekcja w układach LPE • LPE - układy wieloskładnikowe • elektroepitaksja z fazy ciekłej - LPEE • morfologia powierzchni warstw • LPE - struktury niskowymiarowe Epitaksja z fazy ciekłej (Liquid Phase Epitaxy - LPE) technika wzrostu warstw epitaksjalnych (najczęściej cienkich) z ciekłego metalicznego roztworu źródło (GaAs) strefa rozpuszczania (nasycenie roztworu) roztwór transport składników strefa wzrostu zalety wzrostu z roztworu + zalety epitaksji GaAs Pożądane własności rozpuszczalnika: • składnik kryształu (np. Ga dla GaAs) lub mała rozpuszczalność w krysztale (Bi, Sn, In, Pb, etc.) • niski punkt topnienia • wysoka rozpuszczalność składników w Tepi • niska prężność par w Tepi • wysoka stabilność chemiczna • wysoka czystość chemiczna • niska cena ??? Idea wzrostu warstw metodą LPE (przykład GaAs na podłożu GaAs) Reguła faz Gibbsa: f(stopnie swobody) = c(składniki) - p(fazy) + 2(p; T) p = const. Ga-As⇔GaAs 2 2 1 f = 1 (T) roztwór Ga-As T = T1 T podłoże GaAs Ttop(GaAs) ciecz (Ga+As) GaAs 1 T1 2 T: T1 T2 T2 3 ciecz + GaAs 3 warstwa GaAs ciecz + GaAs 2 T = T2 0 x2 x1 xAs 0.5 LPE - metoda równowagowa !!! 1 Układ LPE III-V (schemat) elektronika pieca TC TC TC piec kwarcowy reaktor źródło N2 roztwory tłok H2 ruch elementów tygla podłoże TC oczyszczalnik H2 H2 źródło H2 pompa próżniowa pomiar i sterowanie T wylot gazów tygiel (grafit, kwarc,....) układ poziomy ITE Warszawa Tygle do wzrostu warstw metodą LPE obracany tygiel tipping dipping wzrost pojedynczych warstw Tygle do wzrostu warstw metodą LPE cd. ciekłe roztwory roztwory grafit ruch suwaka tłok podłoże suwak grafitowy Zalety: • wzrost struktur wielowarstwowych • wzrost z cienkiej warstwy roztworu • „czyszczenie” roztworu Wady: • nieco rozmyte granice między warstwami podłoże TC IF PAN Historia H. Nelson: Epitaxial growth from the liquid state and its application to the fabrication to the fabrication of tunnel and laser diodes RCA Rev. 24 (1963) 603. Nobel 2000 - H. Kroemer, J. Kilby, Z. Alfierow “za rozwinięcie technologii heterostruktur półprzewodnikowych” Dlaczego LPE: • metoda „łatwa i tania” • wysokie czystości warstw (segregacja) • możliwość wzrostu selektywnego • szeroka gama możliwych związków (Al, P, ...) • metoda „bezpieczna” Kinetyka wzrostu transport w objętości roztworu - dyfuzja, konwekcja, ... transport objętościowy substancji rozpuszczonej (solute) (6) (5) (4) (1) (3) (2) procesy powierzchniowe procesy powierzchniowe wolniejszy z tych 2 etapów decyduje o szybkości wzrostu kryształu zazwyczaj w LPE T na tyle wysoka (procesy powierzchniowe szybkie), a wymuszenie wzrostu na tyle słabe, że transport w cieczy limituje prędkość krystalizacji LPE: wzrost kontrolowany dyfuzją - przykład GaAs z roztworu Ga wykres fazowy Ga-As 0.5 GaAs CAs ciekły roztwór Ga-As CAs(T0) CAs(T1) CAs(T2) T T0 transport: uproszczenia: • szybka kinetyka powierzchniowa • brak konwekcji • mała szybkość wzrostu Vgr • bardzo szybki transport ciepła • brak dyfuzji w fazie stałej ∂C As ∂z 0 T2 T1 j As = − D H z masy ciepła ∂C ∂ 2C ∂C = D 2 + Vgr ∂t ∂ z ∂z ∂T ∂ 2T ∂T = k 2 + Vgr ∂t ∂ z ∂z warunek ciągłości strumienia masy Vgr (C s , z =0 − Cl , z =0 ) = Dl ∂Cl (z = 0) − Ds ∂Cs (z = 0) ∂z ∂z + warunki brzegowe/początkowe LPE: wzrost kontrolowany dyfuzją cd. CAs roztwór skończony GaAs ciekły roztwór Ga-As CAs(T0) CAs(T1) z CAs(T2) 0 równania ∂C ∂ 2C =D 2 ∂t ∂ z H<∝ Vgr (C s , z =0 − Cl , z =0 ) = Dl roztwór pół-nieskończony H = ∞ warunki brzegowe/początkowe H=∝ ∂Cl (z = 0) ∂z H >> Dl t Ga - As : T = 800 o C Dl ≈ 4 ⋅10 −5 cm 2 /s t = 30 min Dt = 2.6 mm Cl ( z = 0, t ) = Ceq (T (t )) wersja LPE ∂Cl ( z → ∞, t ) = 0 ∂z LPE: wzrost kontrolowany dyfuzją cd. - T(t) chłodzenie skokowe T0 kinetyka powierzchniowa wzrost Vgr ∼ t-1/2 T0-ΔT0 wjazd wyjazd podłoża t0 < 300 ms t szybkość wzrostu Vgr ∝ ΔT0 D grubość warstwy d ∝ ΔT0 Dt t roztwór skończony d ∼ t1/2 LPE: wzrost kontrolowany dyfuzją cd. - T(t) chłodzenie liniowe T0 wzr ost chłodzenie liniowe + wstępne przechłodzenie T0 T0-ΔT0 T0-αt kontakt t kontakt t Vgr ∝ Dα ⋅ t d ∝ Dα ⋅ t wzro s 3 2 t T0-αt ⎛ ΔT ⎞ Vgr ∝ D ⋅ ⎜ A 0 + B αt ⎟ t ⎠ ⎝ 3 d ∝ D ⋅ ⎛⎜ AΔT0 t + B α t 2 ⎞⎟ ⎝ ⎠ LPE: przesycenie stężeniowe CAs 0.5 GaAs wykres fazowy Ga-As ciekły roztwór Ga-As TB TA Teq(z) Cl(z) T 0 H z Udayashankar et al., Bull. Mater. Sci 26 (2003) 685 teoria: zwiększyć gradT na powierzchni (TB zamiast TA) praktyka: zmniejszyć gradient koncentracji • ograniczyć grubość roztworu • zmniejszyć prędkość wzrostu inkluzje In InSb/InSb LPE: przepływy w objętości cieczy CAs GaAs ciekły roztwór Ga-As przepływ wymuszony z CAs(T2) 0 δ δ = const ⋅ D1 3ν 1 6ω 1 2 ∂C ↑ ⇔ Vgr ↑ ∂z δ - grubość warstwy dyfuzyjnej ν - lepkość ω - prędkość kątowa Burton, Prim, Schlichter, J. Chem. Phys. 21 (1953) 1987. • zwiększenie prędkości wzrostu • kontrola ewentualnych naturalnych przepływów w cieczy • większe ryzyko przesycenia stężeniowego LPE: konwekcja naturalna konwekcja naturalna założenia: • brak mieszania zewnętrznego • podłoże pionowe • T(x, y, z) = const. tylko konwekcja stężeniowa ρ = ρ (T , C ) + grawitacja konwekcja termiczna stężeniowa ∂ρ <0 ∂T typowe roztwory III-V ∂ρ ρsolvent > ρsolute <0 (Ga, In) CAs CAs(T2) (As, P) ∂C „ciężki” GaAs g ∂ρ ??? ∂C destabilizujący rozkład stężenia substancji rozpuszczonej (As) „lekki” gradient grubości warstwy z CAs(T2) 0 ciekły roztwór Ga-As LPE: konwekcja naturalna cd. z GaAs „ciężki” g „lekki” „lekki” „ciężki” GaAs wykład S. Krukowski niska liczba Rayleigh’a Ra (<1000) H destabilizujący rozkład CAs dominuje dyfuzja zazwyczaj mamy gradT i gradC RaC = g ⋅ ΔC ⋅ β ⋅ H 3 Dν < 1000 stabilizujący rozkład CAs RaT = g ⋅ ΔT ⋅ α ⋅ H 3 κν < 1000 0 CAs • κ >> D - małe ΔC może spowodować przepływ • konwekcja stężeniowa >> konwekcja termiczna • Ra ∼ H3 - wysokość roztworu !!! Tiller JCG 2 (1968) 69: brak konwekcji termicznej H < 5 mm brak konwekcji stężeniowej H < 2 mm LPE z cienkiej warstwy roztworu !!! LPE: konwekcja naturalna cd. LPE Si z Sn doświadczenie + symulacje Kimura et al. JCG 167 (1996) 516 z podłoże H górne g dolne podłoże 0 CAs technika YO-YO z podłoże T z podłoże H H g g podłoże 0 t podłoże 0 Wzrost LPE warstw wieloskładnikowych (przykład GaAlAs na GaAs) Reguła faz Gibbsa: f(stopnie swobody) = c(składniki) - p(fazy) + 2(p; T) p = const. np. Ga-Al-As ⇔ Ga1-xAlxAs 3 2 f = 2 (T, x) układ 2-składnikowy: skład warstwy ustalony układ 3-składnikowy: skład warstwy zmienny T T GaAs T↓ - grad xs AlAs T = const. 0 xl xAl xs 1 xs = const. LPE: AlxGa1-xAs/GaAs Elektroepitaksja z fazy ciekłej (Liquid Phase Electroepitaxy LPEE) T0 = const. + przepływ prądu elektrycznego przez granicę faz z As H jdyf As As C (T0 ) − C (T0 − ΔTP ) j = D⋅ H ΔT = D ⋅ dC ⋅ P H dT As As jel As 0 GaAs + T T0-ΔTP el j As = μ ⋅ E ⋅ C (T0 ) dyf As T0 = μ ⋅ σ ⋅ je ⋅ C (T0 ) efekt „wiatru elektronowego” Vgr ∝ gęęstoś prąrą gęstość prądu 600 μm - źródło (GaAs) elektrotransport efekt Peltiera Φ = 2.5 cm LPEE InGaAs/GaAs S. Dost, Univ.Victoria, BC, Canada LPEE AlGaSb/GaSb Z.R. Zytkiewicz, IF PAN LPEE: jednorodność składu kryształów T: 900oC ↓ 800oC T = xs 0 GaAs 0 800oC; j ≠0 Z.R. Zytkiewicz, JCG 131 (1993) 426 xs Vgr ∝ GaAs dR dt Ga-Al-As Ga-Al-As L L z GaAs xs z jednorodny kryształ pomimo niejednorodności źródła LEC LPEE T. Bryskiewicz et al., JCG 82 (1987) 279 Elektroepitaksja z fazy ciekłej - zalety T = const. • wysoka jednorodność warstw • monitoring in situ • znaczniki czasowe • jednoczesny wzrost wielu kryształów • „łatwiejsza” kontrola Vgr ∼ gęstość prądu • wypłaszczanie powierzchni - GaAs: Ge t6 t5 t4 t3 t2 t1 R(t) źródło ciekły roztwór podłoże znaczniki + je epi podłoże AlxGa1-xAs/GaAs Vgr ∝ dR dt Elektroepitaksja z fazy ciekłej - wady 400 μm • bardziej skomplikowany układ (kontakty) AlGaAs GaAs • efekt Joule’a - limit grubości kryształu bez efektu Joule’a z efektem Joule’a z - źródło - H As jel As jdyf As jel As jdyf 0 + H As As podłoże źródło T0-ΔTP T0 T T podłoże + 0 T0 T0+ΔTJ LPE: morfologia powierzchni - defekty - w LPE niska koncentracja defektów punktowych i strukturalnych (wzrost równowagowy; T << TM) - pewne charakterystyczne własności powierzchni grafit wzrost krawędziowy (EG) roztwór Ga-As utrudnia ściągnięcie roztworu po wzroście EG podłoże lokalny brak wzrostu Bauser Appl. Phys. 15 (1978) 243 Z.R. Zytkiewicz JCG 94 (1989) 919 roztwór Ga-As podłoże kwarc grafit roztwór Ga-As EG podłoże grafit kwarc roztwór Ga-As EG podłoże kształt roztworu i dyfuzja 2D przy ścianie prowadzą do wzrostu krawędziowego Przyczyna: lokalne “maskowanie” podłoża: • utlenienie podłoża lub roztworu • obce cząstki (ruchome części w tyglu !!!) podłoże zaokrąglone (R = 2m) LPE: morfologia powierzchni E. Bauser Atomic mechanisms in semiconductor Liquid Phase Epitaxy Handbook of Crystal Growth, Ed. D.T.J. Hurle vol. 3b, Elsevier 1994 δ ≤ ±0.5o (komercyjne podłoża GaAs) LPE: morfologia powierzchni (grube warstwy GaAs) facet growth stopnie: wysokość = 0.258 nm szerokość = 1.6 μm AFM (E. Łusakowska IF PAN) 10 μm NDIC (D. Dobosz, M. Zadrożna) LPE: morfologia powierzchni (grube warstwy GaAs) AFM (E. Łusakowska IF PAN) NDIC (D. Dobosz, M. Zadrożna) terrace growth stopnie: wysokość = 30 nm szerokość = 15 μm monoatomowe stopnie na powierzchni tarasu LPE: morfologia powierzchni cd. δ = 0.05o brak zarodkowania 2D brak dyslokacji powierzchnia atomowo gładka (brak stopni monoatomowych) np. w Epitaxial Lateral Overgrowth E. Bauser Atomic mechanisms in semiconductor Liquid Phase Epitaxy Handbook of Crystal Growth, ed. D.T.J. Hurle vol. 3b, Elsevier 1994 LPE - struktury niskowymiarowe Si 15.6 nm/Si0.995C0.005 5.2 nm Konuma et al. APL 63 (1993) 205 kropki SiGe/Si pseudomorphic Ge/Si czas wzrostu < 1 s 1 nm podłoże 4 cale !!! Podsumowanie LPE wzrost z roztworu: epitaksja: • niska koncentracja defektów punktowych • metoda „łatwa i tania” (w wersji standard) • wysokie czystości warstw (segregacja) • możliwość wzrostu selektywnego • szeroka gama możliwych związków (Al, P, ...) • metoda „bezpieczna” • kontrola mechanizmu wzrostu (dezorientacja podłoża) • podłoże „wymusza” dopasowanie sieciowe • warstwy o grubościach od nm do mm • wzrost struktur niskowymiarowych - możliwy choć trudny wady: trudności ze wzrostem nierównowagowym • domieszkowanie ograniczone wykresem fazowym (np. GaAs:Mn) • struktury wymagające dużego przesycenia (np. GaAs/Si) • układy o ograniczonej mieszalności w fazie stałej • monitoring in situ bardzo trudny Do czytania o LPE Handbook of Crystal Growth, Ed. D.T.J. Hurle vol. 3, Elsevier 1994 • E. Bauser Atomic mechanisms in semiconductor Liquid Phase Epitaxy • M.B. Small, E.A. Giess and R. Ghez Liquid Phase Epitaxy E. Kuphal Liquid Phase Epitaxy Appl. Phys. A52 (1991) 380. M.B. Small, I. Crossley The physical processes occurring during liquid phase epitaxial growth J. Cryst. Growth 27 (1974) 35. M.G. Astles Liquid Phase Epitaxial Growth of III-V Compound Semiconductor Materials and their Device Applications, IOP Publishing 1990. B. Pamplin (ed.) Crystal growth, Pergamon, 1974 K. Sangwal (ed.) Elementary Crystal Growth, SAAN Publishers, 1994.