Specyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego
Transkrypt
Specyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego
DZPIE/019/2014 Specyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego Przedmiot postępowania: Uniwersalna linia technologiczna do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów przyrządów półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych. 38.00.00.00-5 Kod CPV: 42.12.24.50-9 38.50.00.00-0 38.41.00.00-2 Postępowanie jest prowadzone w trybie przetargu Tryb udzielenia nieograniczonego zgodnie z Prawem Zamówień Publicznych z zamówienia: dn. 29 stycznia 2004 r. Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk Inwestor/Kupujący: 02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46. NIP: 525-000-92-75; Regon: P-000326061 Ochrona prawna SIWZ: Dokument chroniony prawem autorskim © Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk © Zakup przedmiotu zamówienia finansowany ze środków Ministerstwa Nauki i Szkolnictwa Wyższego w zakresie wytworzenia aparatury naukowo-badawczej stanowiącej dużą infrastrukturę badawczą. §1. Opis przedmiotu zamówienia: Przedmiotem zamówienia jest wytworzenie i dostawa fabrycznie nowej komory do napylania cienkich warstw opartej na dziale elektronowym z działem jonowym w pełni kompatybilnej z procesami litograficznymi, pozwalająca na oczyszczenie próbki lub usunięcie warstwy izolatora przed napylaniem warstwy metalicznej wchodzącej w skład Uniwersalnej linii technologicznej do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów przyrządów półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych wraz z pełnym wyposażeniem, instalacją, uruchomieniem i testowaniem. Wymaga się podania: nazwy urządzenia i zasadniczych części urządzeń wchodzących w skład komory, modelu, typu, producenta, kraju pochodzenia i roku produkcji (wymagany rok produkcji 2012-2014). Urządzenie musi być fabrycznie nowe, nie używane w jakimkolwiek laboratorium oraz nie pokazywane na konferencjach i imprezach targowych. Wymagania do przedmiotu zamówienia: 1. Dostawca udzieli minimum 2 lata gwarancji (24 miesiące) na urządzanie (od dnia podpisania protokołu odbioru) obejmującej również serwisowanie i wymianę części wymagających wymiany (bez materiałów eksploatacyjnych), na części kupowane w zewnętrznych firmach np. działo elektronowe, jonowe, zasilacze - gwarancja według producenta lecz nie mniej niż 1 rok. 2. 3. 4. 5. Koszty transportu, serwisowania, koszty części wymienianych z wyjątkiem materiałów eksploatacyjnych oraz koszty wymiany tych części ponosi dostawca w ramach gwarancji. Czas przystąpienia do naprawy gwarancyjnej: nie dłuższy niż 5 dni od daty zgłoszenia przez Zamawiającego telefonicznie lub na piśmie (np. pocztą elektroniczną, faksem itp.) nieprawidłowego działania urządzenia. Czas przywrócenia pełnej funkcjonalności urządzenia: nie dłuższy niż 30 dni kalendarzowych od daty zgłoszenia przez Zamawiającego nieprawidłowego działania urządzenia. Okres bezpłatnego serwisu gwarancyjnego ulega automatycznie przedłużeniu o okres naprawy, a po wystąpieniu trzykrotnej awarii tego samego podzespołu lub elementu wykonawca zobowiązany jest do wymiany wadliwej części na nową. Bezpłatna aktualizacja oprogramowania przez okres co najmniej 24 miesięcy od daty podpisania protokołu odbioru. Dostarczony sprzęt musi odpowiadać wszystkim wymogom technicznym i jakościowym określonym przez Zamawiającego w specyfikacji technicznej. Powinna zostać do niego załączona dokumentacja techniczna, płyty instalacyjne oraz instrukcja obsługi w jęz. polskim lub angielskim. Wykonawca zagwarantuje jakość dostarczonych produktów zgodnie ze specyfikacją techniczną - odpowiedzialność z tytułu gwarancji jakości obejmuje zarówno wady powstałe z przyczyn tkwiących w przedmiocie zamówienia w chwili dokonania odbioru przez zamawiającego, jak i wszelkie inne wady powstałe z przyczyn, za które wykonawca ponosi odpowiedzialność. System musi być przystosowany i dopuszczony do pracy na terytorium RP (zasilanie z sieci 230V AC, 50 Hz), tzn. posiadać wszelkie wymagane certyfikaty (np. CE, jeśli ma zastosowanie) oraz musi być dostarczony wraz materiałami i akcesoriami (np. przewodami zasilającymi i przyłączeniowymi, kablami pomiarowymi, adapterami, zasilaczami, itp. elementami) niezbędnymi do uruchomienia i poprawnej pracy. Wymagany okres dostępności części zamiennych: min. 10 lat od daty podpisania protokołu odbioru. Wykonawca zainstaluje i uruchomi dostarczony system oraz przeszkoli minimum dwóch pracowników Zamawiającego (w laboratorium Zamawiającego) w zakresie budowy, obsługi i jego użytkowania w terminie nie dłuższym niż 1 miesiąc od daty dostawy do siedziby Zamawiającego. Wykonawca wykona badania stabilności pracy i przeprowadzi niezbędne testy sprawdzające działanie całości układu w oparciu o próbki kalibracyjne i testowe. Zostanie to potwierdzone obustronnie podpisanym protokółem odbioru. Koszty związane z instalacja, testami i przeszkoleniem pracowników w zakresie obsługi całego systemu i poszczególnych urządzeń wchodzących w jego skład, zostaną wliczone w cenę całkowitą. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia: Uniwersalna linia technologiczna do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów przyrządów półprzewodnikowych - Komora do napylania cienkich warstw oparta na dziale elektronowym z działem jonowym w pełni kompatybilna z procesami litograficznymi. DOPUSZCZA SIĘ WYKONANIE DWÓCH ODZIELNYCH KOMÓR: JEDNĄ DO OSADZANIA WARSTW Z DZIAŁA ELEKTRONOWEGO DRUGĄ DO OSADZANIA WARSTW METODĄ ROZPYLANIA Z MAGNETRONÓW PLANARNYCH POŁĄCZONYCH WSPÓLNĄ ŚLUZĄ UMOŻLIWIAJĄCĄ TRANSFER PODŁOŻA MIĘDZY KOMORAMI. System musi być wykonany w technice UHV i zapewniać ciśnienie bazowe w komorze wzrostu (w komorach wzrostu) nie większe niż 1x10-10 mbar i w śluzie ciśnienie bazowe nie większe niż 1x10-9mbar. Osadzanie warstw z działa elektronowego i z każdego magnetronu powinno być prowadzone w ten sposób aby strumień osadzonego materiału był zawsze prostopadły do powierzchni podłoża aby zapewnić prawidłowy przebieg procesu litograficznego lift-off. Punkt 1. Komora (Komory) wysokopróżniowa do nanoszenia cienkich warstw: Komora (komory) powinna być wyposażona w: Działo elektronowe z systemem automatycznego utrzymywania zadanej wielkości strumienia naparowywanych materiałów (dostawa działa elektronowego wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014). Dostarczone działo elektronowe musi być wyposażone w 6 kieszeni o objętości 7cm3 każda i oprogramowanie pracujące w środowisku LabView do sterowania działem. Minimalne parametry działa elektronowego: działo elektronowe z ukrytym źródłem elektronów (270° beam deflection), maksymalne wysokie napięcie 10kV, musi by chłodzone wodą, temperatura wygrzewania działa w zakresie od co najmniej 150 do co najwyżej 250° C (Bake Out Temperature), odległość pomiędzy kołnierzem a środkiem kieszeni 14,5” (356mm) (Distance from flange to center of the pocket), działo mocowane na kołnierzu DN200CF, maksymalna moc działa elektronowego co najmniej 8kW. Wykonawca dostarczy komputer (laptop) na którym będzie zainstalowane działające oprogramowanie sterujące procesem naparowywania warstw. Działo ma być zasilane zasilaczem o mocy co najmniej 8kW wraz z funkcją „Cheetah Programmable Digital Sweep”. Minimalne parametry zasilacza działa elektronowego: moc co najmniej 800mA/10kV, regulowane wysokie napięcie w zakresie co najmniej od 0 do 10kV z precyzyjną regulacją <+/- 0,25%, czas reakcji (response time) < 50 µs, źródło włókna (source filament) 50A maksymalnie 8VAC, sterowanie napięciem +10VDC, stały prąd emisji, regulowany <+/- 0,5% (Constant emission current regulation <+/0.5%), pełne zdalne sterowanie z PLC dla źródło i wysokiego napięcia, zasilacz chłodzony powietrzem, odporne za zew. zakłócenia elektromagnetyczne, Wykonawca dostarczy wraz z działem: a) automatyczną elektro-pneumatyczną przesłonę (automatic electro-pneumatic linear shutter) na dziale elektronowym, b) automatyczny indekser do działa elektronowego, pozwalający na wybór kieszeni, z której ma zachodzić parowanie wybranego materiału, c) kontroler osadzania warstw wraz z oprogramowaniem, pozwalającym definiować procesy napylania i kontrolującym ich przebieg. W szczególności kontroler powinien spełniać następujące funkcje: obsługiwać dedykowany automatyczną elektro-pneumatyczną przesłonę (automatic Electro-pneumatic linear shutter) na dziale elektronowym (patrz a.), obsługiwać dedykowany automatyczny indekser (patrz b.), mierzyć grubość napylanej warstwy na wadze kwarcowej (patrz d.). kontrolować pracę zasilacza w pętli sprzężenia zwrotnego, aby uzyskać stabilną, zadaną w oprogramowaniu prędkość napylania, automatycznie otwierać przesłonę oddzielającą próbkę od działa elektronowego, gdy prędkość napylania ustabilizuje się na zadanym poziomie (na wadze kwarcowej) i zamykać go, gdy zadana grubość materiału osadzi się na próbce (na wadze kwarcowej), Parametry kontrolera i wagi kwarcowej do osadzania warstw: sensor, kryształ o częstotliwości 5 lub 6 MHz, rozdzielczość częstotliwości +/- 0.02Hz (0.009Å Al dla 6MHz), dokładność +/- 0,5% grubość, zakres pomiarowy 500kÅ dla Al lub równoważne, wyświetlanie grubości od 0.000 do 999.9kÅ, prędkość osadzania od 0.0 do 999Å/s, aktualizacja pomiaru 10/s przy wszystkich ustawieniach, wejście (programowalne) minimum 8, optycznie izolowane, 5-24VDC lub kontakt, wyjście (programowalne) przekaźniki minimum 8 SPDT, 1A, 24VDC max. wyjścia analogowe 12 bitowe, interfejs umożliwiający dołączenie do komputera RS-232C (Telemark protocol lub ASCI). d) Waga kwarcowa musi współpracować z działem elektronowym i co najmniej dwoma czujnikami kwarcowymi (dostawa wagi kwarcowej wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014): z własną przesłoną dostosowana do pracy w UHV, chłodzona wodą, kompatybilna z wygrzewaniem komory, możliwość wyboru czujnika bez łamania próżni, zapasowe czujniki kwarcowe do głowicy pomiarowej - 5 szt. e) High Voltage Grounding probe do usuwania ładunku elektrycznego zgromadzonego na komorze, f) Czujnik przepływu wody chłodzącej (water flow switch) wyłączający zasilanie działa w przypadku braku wystarczającego przepływu wody chłodzącej, g) Chłodzony wodą ekran osłaniający działo elektronowe i ograniczający promieniowanie cieplne z działa. Działo elektronowe, zasilacz, waga kwarcowa, kontroler oraz przesłony mają tworzyć zintegrowany układ pracujący w pętli sprzężenia zwrotnego. Obsługiwane przez dedykowane oprogramowanie pracujące w środowisku LabView. ODLEGŁOŚĆ DZIAŁA OD PODŁOŻA NIE POWINNA BYĆ MNIEJSZA NIŻ 40cm Minimum 3 magnetrony planarne na targety ferromagnetyczne i nieferromagnetyczne o średnicy 2 cale i grubości do 0,25 cala z własnym systemem pomiaru wielkości strumienia rozpylanych materiałów przy pomocy wagi kwarcowej. Każdy z magnetronów powinien posiadać własną sterowaną pneumatycznie z konsoli zasłonkę. Odległość podłoża, na którym osadzane są warstwy, od targetów powinna być regulowana w zakresie od 4cm do 10 cm. Wraz z magnetronami do komory wzrostu maja być podłączone przez zawór UHV trzy linie gazowe doprowadzające Ar, N2 i O2 o czystości 6N wyposażone w elektroniczny regulator przepływu gazu (MFC) wraz z kontrolerem każda. Na każdej linii przed MFC, od strony komory wzrostu powinien być zawór dozujący ze spawanym uszczelnieniem mieszkowym a za MFC zawór odcinający ze spawanym uszczelnieniem mieszkowym. Zakres regulacji przepływu każdego z trzech MFC to 0-25ml/min. Wykonawca dostarczy i zamontuje w systemie minimum 2 zasilacze DC (prądu stałego) do zasilania magnetronów o mocy maksymalnej nie mniejszej niż 300W o prądzie maksymalnym 0.5A i napięciu maksymalnym 1200V oraz jeden zasilacz RF o częstotliwości 13,56 MHz, o mocy maksymalnej nie mniejszej niż 300W z układem automatycznego dopasowania impedancji oraz z możliwością kontroli mocy wychodzącej i/lub ujemnego potencjału autopolaryzacji z płyty czołowej lub oddzielnego panelu. Magnetrony muszą być chłodzone wodą. Dostawa minimum 3 magnetronów wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014. działo jonowe do trawienia, przystosowane do pracy w systemach UHV (dostawa działa jonowego wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014). Wymagania działa jonowego: wykonane w technice UHV, moc mikrofal 250W maksymalnie dla 2.45GHz, emisja jonów oparta na mikrofalowych wyładowaniach plazmowych (filamentless ion source based on a microwave plasma discharge, No Filament), energia jonów od 25eV do minimum 5keV, maksymalny prąd wiązki 1mA (dla 5kV przy aperturze Φ 1,5mm w Argonie) > 3,5mA (przy aperturze Φ3mm), Rozbieżność wiązki typowa 15° (Beam DivergenceIon energy dependant, typically 15°), Przepływ gazu 0,01 – 100 sccm (zależna od apertury), Ciśnienie robocze 10-7 Torr – 5 x 10-3Torr , Chłodzone wodą, Działo przystosowane do pompowania różnicowego, Działo wyposażone w przesłonę z puszką Faradaya (Faraday Cup integrated in shutter). Wykonawca dostarczy razem z działem jonowym neutralizator (Filament Neutralizer) niezbędny dla trawienia dielektryków. Wykonawca wykona instalację dostarczającą czysty (co najmniej 6N) argon wraz z butlą gazową i reduktorem oraz zawór dozujący (leak valve), zaworem kontrolującym wielkość przepływu argonu. Wykonawca zadba o kompatybilność komory z działem jonowym tzn. weźmie pod uwagę specyfikacje działa jonowego przy konstruowaniu komory; w szczególności zapewni dystans roboczy (working distance) zgodny ze specyfikacją techniczna działa. Wykonawca zapewni możliwość trawienia próbek przy zmiennym, płynnie ustawianym kącie padania jonów od -50o do +50o w stosunku do normalnej do powierzchni próbki. Wykonawca zapewni możliwość pomiaru prądu jonowego padającego na próbkę przy pomocy wsuwanej sondy (zasłonki) tuż przy powierzchni próbki oraz odpowiedniego miernika. Manipulator podłoża zapewniający ogrzewanie powierzchni podłoża do temperatury 800oC i chłodzenie do co najmniej - 200oC. W przypadku wyboru rozwiązania z dwiema komorami wzrostu - 2 sztuki Miernik pomiaru ultra wysokiej próżni o następujących parametrach (co najmniej dwa egzemplarze - jeden do komory wzrostu drugi do śluzy) - dostawa wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014: a) co najmniej dwa kanały pomiarowe, które umożliwiają pomiar ciśnienia co najmniej przy pomocy głowic jonizacyjnych Bayarda-Alperta oraz głowic Piraniego i głowic (manometrów) pojemnościowych z wyjściem napięciowym DC; dopuszcza się rozwiązanie, w którym jeden kanał jest przeznaczony do pomiaru tylko przy pomocy głowicy jednego typu (np. Bayarda-Alperta ), a drugi (lub pozostałe w przypadku większej liczby kanałów) do pomiaru ciśnienia przy pomocy pozostałych głowic, b) zakres ciśnienia mierzonego przy pomocy głowic jonizacyjnych Bayarda-Alperta: co najmniej od 2x10-11 mbar do 1x10-3 mbar, c) zdolność rozdzielcza odczytu wyniku pomiaru: co najmniej 2 cyfry znaczące + zakres; preferowane rozwiązanie: mantysa co najmniej 2. cyfrowa i wykładnik, d) zaimplementowane współczynniki korekcyjne gazu głowicy jonizacyjnej dla większości podstawowych gazów z dodatkową możliwością indywidualnego ustawienia przez użytkownika, e) możliwość pracy z głowicami jonizacyjnymi Bayarda-Alperta co najmniej w następujących warunkach: z prądem emisji 1 mA, 4 mA lub 10 mA, przy napięciu katody 30 V i przy napięciu anody ( siatki) 180 V, f) możliwość odgazowywania głowic Bayarda-Alperta z ograniczeniem mocy i czasu odgazowywania, g) zabezpieczenie głowic jonizacyjnych Bayarda-Alperta przed pracą przy nadmiernie wysokim ciśnieniu, h) możliwość ustawienia co najmniej trzech progowych sygnałów wyzwalających z funkcją histerezy oraz opcjami „poniżej” i „powyżej”; preferowane będzie rozwiązanie umożliwiające ustawienie większej liczby progowych sygnałów i) co najmniej interfejs RS-485. 1) Głowica jonizacyjna Bayarda-Alperta umożliwiająca pomiar ciśnienia w zakresie co najmniej od 2x10-11 mbar do 1x10-3 mbar. 2) Głowica Piraniego w wykonaniu UHV. 3) Kable łączące miernik próżni z głowicami pomiarowymi o długościach, które zostaną uzgodnione z zamawiającym podczas realizacji projektu. Miernik pomiaru ultra wysokiej próżni o następujących parametrach: a) zakres ciśnienia mierzonego przy pomocy głowic z zimną katodą : co najmniej od 1x10-9 mbar do 1x10-3 mbar, b) zdolność rozdzielcza odczytu wyniku pomiaru: co najmniej 2 cyfry znaczące + zakres; preferowane rozwiązanie: mantysa co najmniej 2. cyfrowa i wykładnik, c) możliwość ustawienia co najmniej trzech progowych sygnałów wyzwalających z funkcją histerezy oraz opcjami „poniżej” i „powyżej”; preferowane będzie rozwiązanie umożliwiające ustawienie większej liczby progowych sygnałów. d) co najmniej interfejs RS-485. 1) Głowica jonizacyjna z zimną katodą umożliwiająca pomiar ciśnienia w zakresie co najmniej od 1x10-9 mbar do 1x10-3 mbar. 2) Kabel łączący miernik próżni z głowicą pomiarową o długości, która zostanie uzgodniona z zamawiającym podczas realizacji projektu. Miernik pomiaru próżni o następujących parametrach: a) zakres ciśnienia mierzonego przy pomocy głowic typu Baratron: od 1x10 -1 mbar do 1x10-5 mbar, b) zdolność rozdzielcza odczytu wyniku pomiaru: co najmniej 2 cyfry znaczące + zakres; preferowane rozwiązanie: mantysa co najmniej 2 cyfrowa i wykładnik, c) możliwość ustawienia co najmniej trzech progowych sygnałów wyzwalających z funkcją histerezy oraz opcjami „poniżej” i „powyżej”; preferowane będzie rozwiązanie umożliwiające ustawienie większej liczby progowych sygnałów, d) co najmniej interfejs RS-485. 1) Głowica typu Baratron umożliwiająca pomiar ciśnienia w zakresie od 1x10-1 mbar do 1x10-5 mbar. 2) Kabel łączący miernik próżni z głowicą pomiarową o długości, która zostanie uzgodniona z zamawiającym podczas realizacji projektu. 1.1. Komora – 1 sztuka Cylindryczna komora o średnicy wewnętrznej nie mniejszej niż 400mm, wykonana ze stali nierdzewnej (w standardzie UHV) z kriopanelem chłodzonym ciekłym azotem. Komora, dostosowana do posiadanego wyposażenia i umożliwiająca późniejszą rozbudowę. Komora wyposażona w porty w standardzie CF do podłączenia komponentów próżniowych. Porty, których końcowe rozmiary i rozmieszczenie zostanie uzgodniona z Zamawiającym: Port DN100CF z obrotowym kołnierzem do podłączenia manipulatora, Port DN35CF z obrotowym kołnierzem do podłączenia działa jonowego, Port DN160CF do podłączenia pompy turbomolekularnej wraz z zaworem szybrowym, Port DN63CF do podłączenia przesłony (shuttera), Port DN63CF z obrotowym kołnierzem do podłączenia manipulatora z kwarcową głowicą pomiarową wraz z przesłoną, Port DN63CF z oknem obserwacyjnym z przesłoną do obserwacji transferu podłoża ze śluzy do manipulatora w komorze wzrostu, Port DN63CF do podłączenia śluzy, 2 porty DN100CF do podłączenia RHEED-u lub elipsometru , ustawione w jednej płaszczyźnie utworzonej przez promień padający i odbity od podłoża na takiej wysokości aby odległość od podłoża do powierzchni rozpylanych materiałów w dziale elektronowym nie była mniejsza od 40cm. 2 porty DN63CF wraz z okienkami z przysłonami. Jedno do obserwacji stopionego wsadu w dziale elektronowym. Na tym okienku powinien być zamontowany filtr szary. Drugie do obserwacji podłoża. Do okienek tych powinny być podłączone minimum 2 kamery. Wykonawca dostarczy monitor LED podłączony do tych kamer. 4 Porty DN16CF co 90 stopni w tym jeden do podłączenia głowicy Baratronu. Port DN40CF do podłączenia sondy próżniowej UHV. Port DN40 CF do podłączenia RGA. Port DN160CF do podłączenia pompy jonowej wraz z zaworem szybrowym. Port DN200CF do podłączenia działa elektronowego. Port DN150CF do wymiany wsadów w dziale elektronowym. Port DN63CF do zamontowania przesłony (shuttera) działa elektronowego. Szczegółowe, ostateczne położenie portów powinno być ustalone z Zamawiającym. Ciśnienie końcowe w zmontowanej komorze pompowanej pompą o prędkości pompowania 600 l/ s dla azotu - nie większe niż 1x10-10 mbar. 1.2. Kołnierz górny – 1 sztuka Pokrywa wykonana ze stali nierdzewnej w standardzie nie mniejszym niż DN400CF z kołnierzami : Port DN100CF do podłączenia manipulatora podłoża, 8 portów DN16CF, 2 porty DN40CF z okienkami z przesłonami. 1.3. Kołnierz dolny- 1 sztuka Pokrywa wykonana ze stali nierdzewnej w standardzie nie mniejszym niż DN400CF wyposażona w porty w standardzie DN63CF: Do zamocowania minimum 3 magnetronów lub łódek do naparowywania, Kołnierza DN63CF lub DN40CF w osi komory (preferowany jest kołnierz DN63CF). Wszystkie okienka powinny być wyposażone w zamocowane od wewnątrz, wyjmowane płytki szklane, które po zapyleniu mogą być oczyszczane w kwasach. 1.4. Miernik grubości napylonej warstwy dla monitorowania procesu rozpylania z magnetronów planarnych - dostawa wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014: Wymagania dotyczące miernika grubości napylanych warstw i szybkości ich osadzania: 1. Kwarcowy miernik grubości i szybkości osadzania warstw umożliwiający pomiar prędkości osadzania warstw na wysokości podłoża - 1 sztuka. 2. Parametry miernika: a) możliwość dołączenia co najmniej dwóch czujników pomiarowych, b) zakres częstotliwości czujników pomiarowych: co najmniej od 4 MHz do 6 MHz, c) ilość zapamiętywanych warstw: co najmniej 90, d) interfejs umożliwiający dołączenie do komputera, e) możliwość sterowania przesłoną głowicy pomiarowej, f) możliwość ustawienia progowych sygnałów sterujących, g) stabilność częstotliwości odniesienia: nie gorsza niż ± 0,0003%, h) błąd częstotliwości odniesienia: nie większy niż ± 0,003%, i) zdolność rozdzielcza częstotliwości: nie gorsza niż ±0,03Hz przy 10 zliczeniach/s, j) zdolność rozdzielcza pomiaru szybkości osadzania: nie gorsza niż 0,6 Å/s, k) zdolność rozdzielcza pomiaru grubości: nie gorsza niż 0,15 Å, l) zakres mierzonych grubości: co najmniej od 0 do 90 kÅ. 3. Kwarcowa głowica pomiarowa wraz z przesłoną – 1 szt. spełniająca następujące wymagania: a) b) c) d) dostosowana do pracy w UHV, chłodzona wodą, przesłona pneumatyczna sterowana z miernika oraz z konsoli sterowniczej, Zapasowe czujniki kwarcowe do głowicy pomiarowej - 5 szt. 1.5. Manipulator komory wzrostu chłodzony wodą lub ciekłym azotem – 1 sztuka Manipulator wyposażony w dwa moduły przesuwne oraz obrót ciągły wokół osi Z z regulowaną prędkością obrotową. Moduły przesuwne wzdłuż osi Z: Pierwszy - do przemieszczania próbki, o przesunięciu co najmniej 75mm, rozwiązanie preferowane:100 mm . Drugi - do podnoszenia ekranu chłodzonego wodą lub ciekłym azotem w czasie transferu nośnika próbki ze śluzy do komory wzrostu - do stacji odbiorczej na manipulatorze podłoża. Moduł obrotowy: zapewnia ciągły obrót próbki z maksymalną prędkością co najmniej 20 obr/min oraz możliwość dokładnego pozycjonowania w co najmniej 4 położeniach, na wyposażeniu kontroler wraz z okablowaniem. Stacja odbiorcza nośników dla nośników próbek, na których można umocować podłoża o średnicy 50,8 mm (2”) lub kilka podłóż o mniejszych rozmiarach, wyposażona w komplet przejść mechanicznych i elektrycznych (termopary typu K na złączu typu LEMO, możliwość pomiaru potencjału próbki), dostosowana do grzania podłoża co najmniej do 800ºC w atmosferze tlenu przy ciśnieniu 1,33 mbar oraz chłodzenia podłoża do temperatury ciekłego azotu. Ekran chłodzony wodą chroniący komorę przed nagrzewaniem, umieszczony na module przesuwnym w osi Z. Nośnik próbek pozwalający na zamocowanie na okrągłym stoliku jednego podłoża o średnicy 50,8 mm (2”) lub kilku kwadratowych o wymiarach 10x10 mm. Stolik jest jednorodnie grzany na całej powierzchni, dwie termopary typu K. Jedna umocowana jest na spodniej stronie stolika przy uzwojeniu grzejnym tak aby nie była narażona na osadzanie napylanych materiałów, druga mierzy temperaturę wymiennych płytek, do których mocowane są łapkami podłoża. Ma być dostarczonych 2 nośniki z grzałkami i 2 nośniki chłodzone i 20 wymiennych płytek o grubościach 0.5mm (10 sztuk) i 0.25mm (10 sztuk). Nośniki próbek powinien być dostosowany do długoczasowej pracy w temperaturze 800 ºC lub -200 ºC. Manipulator powinien mieć własną przesłonę podłoża, przemieszczającą się w pionie razem z podłożem przy zachowaniu stałej odległości przesłony od podłoża. Przesłona zamontowana na przyjściu obrotowym sterowanym pneumatycznie. Sterowanie ręczne z konsoli przełącznikiem. W PRZYPADKU GDY WYKONAWCA WYBIERZE KONCEPCJĘ DWÓCH KOMÓR WZROSTU MOCOWANIE STACJI ODBIORCZEJ NOŚNIKA W KOMORZE DO ROZPYLANIA UMIESZCZONE BĘDZIE NIE W OSI PIONOWEJ MANIPULATORA. Komora i śluza oraz system transferu próbek powinny w przyszłości pozwolić na rozbudowę układu o komorę dystrybucyjną. Obok stacji odbiorczej zamocowana będzie głowica kwarcowego miernika grubości. Szczegóły konstrukcji muszą być uzgodnione z Zamawiającym. Nie dopuszcza się wykonania manipulatora z pompowaniem różnicowym. 1.6. Regulator temperatury z blokiem mocy - dostawa wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014: 1) Regulator temperatury z blokiem mocy do grzania podłoża i stabilizacji jego temperatury - 1 sztuka: Stabilizacja temperatury podłoża co najmniej w zakresie do 800 ˚C. Grzanie podłoża przy pomocy bloku mocy dostarczającego napięcie i prąd DC. Dopuszcza się zarówno rozwiązania, w których blok mocy pracuje jako źródło napięciowe, jak i rozwiązania, w których blok mocy pracuje jako źródło prądowe. 2) Parametry bloku mocy: a) pełna izolacja galwaniczna spełniająca co najmniej normę EN 60950 między wyjściem bloku mocy a jego wejściem znajdującym się na potencjale zbliżonym do potencjału sieci zasilającej 230 Vac, b) pełna izolacja galwaniczna między wyjściem bloku mocy a obudową (ziemią); dopuszczalne są w tym przypadku jedynie niewielkie pojemności między tym wyjściem a obudową (ziemią), c) odporny na zwarcia i rozwarcia na wyjściu, d) dostosowany do obciążeń rezystancyjnych i pojemnościowych, e) możliwość ustawiania zarówno przy pomocy elementów znajdujących się na płycie czołowej, jak i zdalnie: wartości napięcia wyjściowego w przypadku bloków mocy pracujących jako źródła napięciowe, wartości prądu wyjściowego w przypadku bloków mocy pracujących jako źródła prądowe, f) możliwość ustawiania zarówno przy pomocy elementów znajdujących się na płycie czołowej, jak i zdalnie ograniczenia maksymalnej wartości co najmniej jednej z następujących wielkości: prądu wyjściowego lub napięcia wyjściowego, lub mocy wyjściowej, przy czym dopuszcza się rozwiązanie, w którym przy pomocy elementów płyty czołowej będzie ustawiane ograniczenie innej wielkości niż zdalnie (np. ograniczenie prądu wyjściowego ustawiane przy pomocy elementów znajdujących się na płycie czołowej, a zdalnie ograniczenie napięcia wyjściowego), g) możliwość odczytu co najmniej na płycie czołowej rzeczywistej wartości napięcia wyjściowego i prądu wyjściowego, h) możliwość wyłączenia automatycznej regulacji temperatury i ręcznego ustawiania przy pomocy elementów znajdujących się na płycie czołowej: wartości napięcia wyjściowego w przypadku bloków mocy pracujących jako źródła napięciowe wartości prądu wyjściowego w przypadku bloków mocy pracujących jako źródła prądowe i) zdolność rozdzielcza pomiaru napięcia i prądu wyjściowego: nie gorsza niż 3cyfrowa, j) dokładność pomiaru wartości DC napięcia i prądu wyjściowego: nie gorsza niż ±0,5% wartości zmierzonej ± 3 LSD (LSD – najmniej znacząca cyfra), k) dokładność ustawienia wartości granicznej, o której mowa w pkt f): nie gorsza niż ±2% wartości ustawionej ± 0,8%FS (FS – maksymalna wartość graniczna), l) stabilność wartości DC napięcia wyjściowego w ciągu 8 h, w temperaturze otoczenia 25 ºC ± 1 ºC, przy napięciu zasilania sieci energetycznej 230Vac/50Hz i stałym obciążeniu: nie gorsza niż ± 6x10-4 wartości ustawionej ±20 mVDC, m) stabilność wartości DC prądu wyjściowego w ciągu 8 h, w temperaturze otoczenia 25 ºC ± 1 ºC, przy napięciu zasilania sieci energetycznej 230Vac/50Hz i stałym obciążeniu: nie gorsza niż ±1x10-3 wartości ustawionej ±25 mADC, n) poziom składowej zmiennej napięcia na wyjściu nie większy niż 120 mVp-p, o) poziom składowej zmiennej prądu na wyjściu: nie większy niż 120 mAp-p. 3) Regulator temperatury PID dostosowany do pomiaru i stabilizacji temperatury w oparciu co najmniej o termopary S, K, C o następujących parametrach: a) zakres pomiaru temperatury: dla termopary S: co najmniej od 0 ºC do 1760 ºC dla termopary K: co najmniej od -200 ºC do 1200 ºC dla termopary C: co najmniej od 0 ºC do 2200 ºC b) możliwość odczytu wyniku pomiaru zarówno na płycie czołowej, jak i zdalnie (np. przy pomocy komputera) z rozdzielczością nie gorszą niż 0,1ºC c) błąd pomiaru napięcia wejściowego: nie większy niż ±0,25% wartości zmierzonej ±12 μV przy zmianach temperatury otoczenia od 17 ºC do 25 ºC d) wbudowana automatyczna kompensacja zimnych końców termopar o błędzie kompensacji nie większym niż ±0,1ºC przy zmianie temperatury otoczenia o 1ºC, e) błąd linearyzacji charakterystyki termopary: nie większy niż ±0,2% wartości zmierzonej, f) powtarzalność wyników pomiaru dla temperatury większej od 100 ºC przy zmianach temperatury otoczenia w zakresie 22ºC ±2ºC: nie gorsza niż ±0,2% wartości zmierzonej ±0,2ºC g) powtarzalność wartości temperatury podłoża większej od 100 ºC uzyskiwana w połączeniu z w/w blokiem mocy przy zmianach temperatury otoczenia w zakresie 22ºC ±2ºC: nie gorsza niż ±0,25% wartości zmierzonej ±0,3ºC h) rezystancja wejściowa: nie mniejsza niż 1 MΩ i) tłumienie sygnału wspólnego na wejściu dla częstotliwości 50Hz: nie mniejsze niż 130 dB j) tłumienie wejściowego sygnału szeregowego dla częstotliwości 50Hz: nie mniejsze niż 60 dB k) możliwość wyłączenia automatycznej kompensacji zimnych końców termopar, l) możliwość pomiaru napięcia wejściowego w zakresie co najmniej od - 8mV do + 60 mV i odczytu jego wartości zarówno na płycie czołowej, jak i zdalnie (np. przy pomocy komputera) m) możliwość programowania szybkości narastania i szybkości opadania temperatury regulowanego obiektu (ramp heating), n) możliwość programowania parametrów regulatora temperatury zarówno ręcznie przy pomocy elementów płyty czołowej, jak i zdalnie, o) pełna izolacja galwaniczna spełniająca co najmniej normę EN 60950 między wejściem termopary a siecią energetyczną 230 Vac, p) pełna izolacja galwaniczna między wejściem termopary a obudową (ziemią); dopuszczalna jest jedynie niewielka pojemność między tym wejściem a obudową (ziemią), q) pełna izolacja galwaniczna między wejściem termopary a wyjściem bloku mocy, r) wyposażony co najmniej w interfejs RS-485. 4) Pełna izolacja galwaniczna spełniająca co najmniej normę EN 60950 między torem interfejsu a: a) siecią energetyczną 230 Vac b) wejściem termopary c) wyjściem bloku mocy. 5) Dopuszcza się następujące rozwiązania: a) regulator temperatury i blok mocy stanowią jeden moduł (czyli jest to regulator temperatury wyposażony w blok mocy wyjściowej) b) rozwiązanie preferowane: regulator temperatury i blok mocy stanowią oddzielne moduły, blok mocy jest wyposażony w wejście umożliwiające sterowanie napięciem wyjściowym przy pomocy sygnału analogowego od 0 do 10V lub ewentualnie od 0 do 5 V, a regulator temperatury jest wyposażony w wyjście analogowe 0 do 10 V lub 0 do 5 V umożliwiające sterowanie blokiem mocy. Wykonawca dostarczy zainstalowane na komputerze oprogramowanie wraz z niezbędnym okablowaniem pozwalające na zdalne ustawianie parametrów regulatorów PID. 1.7. Śluza/magazyn (komora załadowcza-śluza) - 1 sztuka Porty, których końcowe rozmiary i rozmieszczenie zostanie uzgodniona z Zamawiającym: Komora załadowcza służąca do ładowania, wykonana ze stali nierdzewnej (w standardzie UHV) z następującymi kołnierzami: Kołnierz z uszczelnieniem vitonowym służący do załadowywania próbek, Kołnierz DN100CF do podłączenia zaworu płytowego i pompy turbomolekularnej Kołnierz CF do podłączenia układu transferowego, Kołnierz CF do zainstalowania okna obserwacyjnego, Kołnierz DN40CF do podłączenia głowicy próżniomierza UHV Kołnierz DN16CF do podłączenia głowicy próżniomierza próżni wstępnej Kołnierz DN16CF do podłączenia zaworu zapowietrzającego z zaworem kątowym UHV Kołnierz DN16CF do podłączenia linii gazowej Kołnierz DN16CF do podłączenia przepustu wysokonapięciowego Kołnierz CF do podłączenia lampy grzejnej Kołnierz DN63CF do podłączenia zaworu płytowego i komory wzrostu Ciśnienie końcowe w zmontowanej komorze pompowanej pompą o prędkości pompowania 300 l/ s dla azotu - nie większe niż 1x10-9 mbar. Komora magazynu powinna być przystosowana do rozbudowy i pracy z komorą dystrybucyjną umożliwiającą przenoszenie próbek do podłączonych do niej układów charakteryzacji próbek w warunkach UHV. Wyposażenie komory załadowczej: Transfer liniowy do transferu próbki między śluzą a komorą wzrostu - 1sztuka. Lampa grzejna pozwalająca na odgazowywanie próbek - 1sztuka. Magazyn nośników na co najmniej 4 nośniki. 1.8. Stelaż do zamocowania komory wzrostu oraz komory magazynu wraz z namiotem do wygrzewania systemu próżniowego - 1 sztuka Stelaż pozwalający na podjechanie pod komorę wzrostu wózkiem z podnośnikiem w celu demontażu kołnierza dolnego komory wzrostu, opuszczenie kołnierza dolnego i wyjechanie poza obręb stelaża. W stelażu będzie zamontowana nagrzewnica pozwalająca na uzyskanie pod namiotem stabilnej temperatury 150oC. W oddzielnej szafie aparaturowej powinny być umieszczone, dostarczone mierniki próżni oraz kwarcowy miernik grubości oraz sterownik wygrzewania systemu. 1.9. System pompowania - dostawa wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014: Wykonawca wykona system pompowania przy pomocy 2 pomp turbomolekularnych z 2 bezolejowymi pompami próżni wstępnej oraz 1 pompy jonowej. Wykonawca dostarczy i zamontuje niezbędne giętkie metalowe przewody próżniowe łączące pompę próżni wstępnej z pompą turbomolekularną i śluzą oraz przewody próżniowe o średnicy wewnętrznej co najmniej 63mm łączące pompę turbomolekularną ze śluzą. Wykonawca dostarczy: pompę turbomolekularną z zaworem płytowym DN160CF UHV o prędkości pompowania azotu 600l/s do komory wzrostu wraz z zasilaczem, pompę turbomolekularną z zaworem płytowym DN160CF UHV o prędkości pompowania azotu 300l/s do śluzy wraz z zasilaczem, pompę jonową z zaworem płytowym DN160CF UHV o prędkości pompowania 400l/s z zasilaczem wraz z pompą TSP z kriopanelem i z zasilaczem, 2 pompy wstępne bezolejowe o próżni końcowej nie większej niż 2x10-2 mbar, niezbędne próżniowe zawory kątowe i systemem zapowietrzania pompy turbomolekularnej czystym azotem. Zawory między pompami turbomolekularnymi a pompami wstępnymi powinny się automatycznie zamykać przy zaniku napięcia. Obsługa systemu- ręczna. Zamawiający zatwierdzi projekt systemu pompowania przed rozpoczęciem montażu. 1.10. Wózek z podnośnikiem- 1 sztuka Do demontażu i transportu kołnierza dolnego komory wzrostu. Wózek umożliwia demontaż i opuszczenie kołnierza tak aby można go było wysunąć poza obręb komory. 1.11. Chłodziarka o wydajności i mocy dopasowanej do współpracy z działem electronowym i manipulatorem podłoża jednocześnie Temperatura wody chłodzącej 15 ºC przy temperaturze otoczenia 32 ºC, Zasilanie 230V/50Hz Maksymalny pobór prądu schładzacza: nie więcej niż 10A. Chłodzenie musi być tak dobrane aby zapewnić prawidłowe działanie całego systemu. Wykonawca wykona niezależne obwody chłodzenia elementów komory wzrostu, z czujnikami przepływu włączającymi alarmy przy zatrzymaniu przepływu. Dostosuje wielkości przepływu i ciśnienia dla każdej gałęzi układu chłodzenia. Zadanie A – prawo opcji Spektrometr RGA: zakres pomiarowy od 1 do co najmniej 200 amu, rozdzielczość lepsze niż 0,5 amu, interfejs RS-232 kabel i oprogramowanie zainstalowane na dostarczonym laptopie, Electron multiplier oraz Built-in power module for Ac line operation. - dostawa wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014. Zamawiający skorzysta z prawa opcji przy podpisywaniu umowy. Warunki odbioru całego systemu: Odbiór odbędzie się w laboratorium Zamawiającego, który przygotuje linie gazowe Ar, O2 , oraz N2 o czystości co najmniej 5N. Warunkiem odbioru jest : Uzyskanie ciśnienia końcowego w komorze (komorach) wzrostu 1x10-10 mbar, Uzyskanie ciśnienia końcowego w komorze załadowczej 1x10-9 mbar, Uzyskanie stabilności temperatury na podłożu przy grzaniu i chłodzeniu zgodnie z wymaganiami, Wykonanie wspólnie z wykonawcą procesu osadzania warstwy metalicznej metodą odparowywania w dziale elektronowym w testowym procesie lift-off, Wykonanie wspólnie z wykonawcą procesu osadzania warstwy metalicznej metodą rozpylania z wykorzystaniem magnetronu planarnego w testowym procesie lift-off. §2. Wymagany termin wykonania zamówienia: Wymaga się, aby ostateczna realizacja przedmiotu zamówienia, nastąpiła w terminie nie dłuższym niż 30 października 2015 r., przy czym dla części elementów składowych linii termin dostawy to 12 grudnia 2014 r. §3. Warunki udziału w postępowaniu, opis sposobu dokonywania oceny spełniania tych warunków oraz wykaz oświadczeń i dokumentów, jakie maja dostarczyć wykonawcy w celu potwierdzenia spełniania tych warunków: 1 2 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki z Art. 22 ust. 1 Ustawy PZP, dotyczące: 1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności, jeżeli przepisy prawa nakładają obowiązek ich posiadania; 2) posiadania wiedzy i doświadczenia; 3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi do wykonania zamówienia; 4) sytuacji ekonomicznej i finansowej, i nie podlegają wykluczeniu z postępowania z trybie Art. 24 ust. 1. Oświadczenie o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu zgodnie z Art. 22 ust. 1 Ustawy PZP. Oświadczenie o braku podstaw do wykluczenia z postępowania zgodnie z Art. 24 ust. 1 Ustawy PZP. Informacja o przynależności lub braku przynależności do grupy kapitałowej wraz z listą podmiotów należących do tej grupy kapitałowej. O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą się dostawą min. 3 urządzeń wykonanych w technice UHV do osadzania cienkich warstw (1nm - 3 4 5 6 7 8 9 1μm). Wykaz wykonanych, a w przypadku świadczeń okresowych lub ciągłych również wykonywanych, głównych dostaw, w okresie ostatnich trzech lat przed upływem terminu składania ofert, a jeżeli okres prowadzenia działalności jest krótszy – w tym okresie, wraz z podaniem ich wartości, przedmiotu, dat wykonania i podmiotów, na rzecz których dostawy zostały wykonane, oraz załączeniem dowodów, czy zostały wykonane lub są wykonywane należycie. O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy posiadają ubezpieczenie od odpowiedzialności cywilnej w zakresie prowadzonej działalności związanej z przedmiotem zamówienia na kwotę nie mniejsza niż 1.000.000,00 PLN. Opłacona polisa, a w przypadku jej braku, inny dokument potwierdzający, że wykonawca jest ubezpieczony od odpowiedzialności cywilnej w zakresie prowadzonej działalności związanej z przedmiotem zamówienia. O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 2. Aktualny odpis z właściwego rejestru, jeżeli odrębne przepisy wymagają wpisu do rejestru, w celu wykazania braku podstaw do wykluczenia w oparciu o art. 24 ust. 1 pkt. 2 ustawy, wystawiony nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania ofert, a w stosunku do osób fizycznych oświadczenia w zakresie art. 24 ust. 1 pkt. 2 Ustawy. O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy nie zalegają z opłacaniem podatków. Aktualne zaświadczenie właściwego naczelnika urzędu skarbowego potwierdzające, że wykonawca nie zalega z opłacaniem podatków, lub zaświadczenie, że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu — wystawione nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania ofert. O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy nie zalegają z opłacaniem składek na ubezpieczenia zdrowotne i społeczne. Aktualne zaświadczenie właściwego oddziału ZUS lub KRUS potwierdzającego, że wykonawca nie zalega z opłacaniem składek na ubezpieczenia zdrowotne i społeczne, lub potwierdzenia że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu — wystawione nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania ofert. O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 4-8. Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 4-8 ustawy, wystawiona nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania ofert. O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 9. Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 9 ustawy, wystawiona nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania ofert. O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 10 i 11. Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 10 i 11 ustawy, wystawionej nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu albo składania ofert. Jeżeli, w przypadku wykonawcy mającego siedzibę na terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, osoby, o których mowa w art. 24 ust. 1 pkt. 5–8, 10 i 11 ustawy, mają miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, wykonawca składa w odniesieniu do nich zaświadczenie właściwego organu sądowego albo administracyjnego miejsca zamieszkania, dotyczące niekaralności tych osób w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 5–8, 10 i 11 ustawy, wystawione nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia albo składania ofert, z tym że w przypadku gdy w miejscu zamieszkania tych osób nie wydaje się takich zaświadczeń – zastępuje się je dokumentem zawierającym oświadczenie złożone przed właściwym organem sądowym, administracyjnym albo organem samorządu zawodowego lub gospodarczego miejsca zamieszkania tych osób lub przed notariuszem. Jeżeli wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, zamiast dokumentów, o których mowa w § 3.4 – 3.9: 1) pkt. 4-6 i 8 - składa dokument lub dokumenty wystawione w kraju, w którym ma siedzibę lub miejsce zamieszkania, potwierdzające odpowiednio, że: a) nie otwarto jego likwidacji ani nie ogłoszono upadłości, b) nie zalega z uiszczaniem podatków, opłat, składek na ubezpieczenie społeczne i zdrowotne albo że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu, c) nie orzeczono wobec niego zakazu ubiegania się o zamówienie; 2) pkt. 7 i 9 - składa zaświadczenie właściwego organu sądowego lub administracyjnego miejsca zamieszkania albo zamieszkania osoby, której dokumenty dotyczą, w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 4-8, 10 i 11 ustawy. Dokumenty, o których mowa powyżej pkt. 1 lit. a i c, oraz pkt. 2, powinny być wystawione nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia albo składania ofert. Dokument, o którym mowa w pkt. 1 lit. b, powinien być wystawiony nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia albo składania ofert. Jeżeli w kraju miejsca zamieszkania osoby lub w kraju, w którym wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania, nie wydaje się dokumentów, o których mowa powyżej zastępuje się je dokumentem zawierającym oświadczenie, w którym określa się także osoby uprawnione do reprezentacji wykonawcy, złożone przed właściwym organem sądowym, administracyjnym albo organem samorządu zawodowego lub gospodarczego odpowiednio kraju miejsca zamieszkania osoby lub kraju, w którym wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania, lub przed notariuszem. Wykonawca może polegać na wiedzy i doświadczeniu, potencjale technicznym, osobach zdolnych do wykonania zamówienia lub zdolnościach finansowych innych podmiotów, niezależnie od charakteru prawnego łączących go z nimi stosunków. W przypadku składania oferty przez Wykonawców występujących wspólnie, dokumenty §3 pkt. 4-9 muszą być złożone przez każdego Wykonawcę oddzielnie, warunek §3 pkt. 2-4 musi spełnić co najmniej jeden Wykonawca, a oświadczenia §3 pkt. 1 składa i podpisuje w imieniu wszystkich Wykonawców Pełnomocnik, wpisując w miejscu przeznaczonym na podanie nazwy i adresu Wykonawcy, nazwy i adresy wszystkich Wykonawców składających ofertę wspólną i załącza pełnomocnictwo do ich reprezentowania. §4. Informacje o sposobie porozumiewania się zamawiającego z wykonawcami, a także wskazanie osób uprawnionych do porozumiewania się z wykonawcami: 1 2 Zamawiający będzie kontaktował się z wykonawcami drogą faksu lub na piśmie. Osoby przewidziane do kontaktu z wykonawcami: Maciej Zajączkowski - fax: (+48 22) 847 00 82. §5. Wymagania dotyczące wadium: 1 2 3 5 Zamawiający ustala kwotę wadium na sumę: 10.000,00 PLN. Zgodnie z Art. 45 ust. 6 wadium może być wnoszone w jednej lub kilku następujących formach: pieniądzu; poręczeniach bankowych lub poręczeniach spółdzielczej kasy oszczędnościowokredytowej, z tym że poręczenie kasy jest zawsze poręczeniem pieniężnym; gwarancjach bankowych; gwarancjach ubezpieczeniowych; poręczeniach udzielanych przez podmioty, o których mowa w Art. 6b ust. 5 pkt. 2 ustawy z dnia 9 listopada 2000r. o utworzeniu Polskiej Agencji Rozwoju Przedsiębiorczości (Dz. U. Nr 109, poz. 1158, z późn. zm.). Zamawiający ustala kwotę zabezpieczenia należytego wykonania umowy na 10% wartości zamówienia. Konto bankowe w przypadku wpłaty wadium w PLN: BPH SA 77 1060 0076 0000 3210 0014 4494 §6. Termin związania ofertą: 1 Zamawiający ustala termin związania ofertą na okres 60 dni od daty terminu składania ofert. §7. Opis sposobu przygotowania oferty: 1 2 3 4 5 Oferta powinna być sporządzona w języku polskim z zachowaniem formy pisemnej, trwałą, czytelną techniką. Każdy wykonawca może złożyć tylko jedną ofertę. Wykonawca, który przedłożył więcej niż jedną ofertę, zostanie wyłączony z postępowania. Nie dopuszcza się składania ofert częściowych. Oferta powinna zawierać: specyfikację techniczną urządzenia/oprogramowania potwierdzającą, że spełnia wymagania techniczne wymienione w § 1; termin dostawy; warunki gwarancji; cenę. Kserokopia dowodu uiszczenia wadium powinna być załączona do oferty; oryginał powinien być w odrębnej kopercie. 6 7 Wszystkie zapisane strony oferty powinny być ponumerowane, podpisane i zszyte. Oferent powinien zamieścić ofertę w kopercie z adresem i nazwą Zamawiającego oraz Oferenta, a także napisem: "Postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego w trybie przetargu nieograniczonego na uniwersalną linię technologiczną [DZPIE/019/2014]" §8. Miejsce oraz termin składania i otwarcia ofert: 1 2 3 Ofertę należy złożyć w siedzibie Zamawiającego, budynek I pok. Nr. 101 (kancelaria ogólna) w godzinach 9.00 ÷ 15.00 w dni robocze, do dnia 27 października 2014 r., do godz. 12:00. W przypadku wysłania oferty pocztą (lub pocztą kurierską) za termin złożenia przyjmuje się termin otrzymania oferty, a nie datę stempla pocztowego (nadania). Otwarcie ofert odbędzie się w ostatnim dniu ich składania, w siedzibie Zamawiającego, budynek I pok. 107 o godzinie 13:00. §9. Opis sposobu obliczenia ceny: 1 2 Cena wyrażona w walucie polskiej PLN lub EUR. Cena powinna uwzględniać: koszt urządzeń, oprogramowania, instalacji, gwarancji i szkolenia, koszty opakowania, koszty ubezpieczenia i transportu towaru do IF PAN. §10. Opis kryteriów, którymi zamawiający będzie się kierował przy wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia publicznego: 1 3 3 Cena 100 pkt. Przy przeliczaniu punktów za cenę, Zamawiający posłuży się wzorem: C min 100 Cbad gdzie: Cmin – cena najtańszej oferty; Cbad – cena oferty badanej. Oferta z najwyższym bilansem punktowym, zostanie uznana za najkorzystniejszą. §11. Informacje o formalnościach, jakie powinny zostać dopełnione po wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia publicznego: 1 Wykonawca, który wygrał postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego, powinien podpisać umowę w ciągu 7 dni od daty zakończenia terminu na wnoszenie odwołań, na warunkach określonych w niniejszej specyfikacji istotnych warunków zamówienia, jednak nie później niż termin związania ofertą. §12. Istotne dla stron postanowienia, które zostaną wprowadzone do treści zawieranej umowy w sprawie zamówienia publicznego: 1 2 3 4 5 6 Warunki dostawy: Instytut Fizyki PAN. Warunki płatności: 100% w ciągu 21 dni od daty odbiorów protokolarnych poszczególnych elementów składowych, na podstawie faktur. W przypadku wystąpienia zwłoki w wykonaniu przedmiotu umowy, Wykonawca zobowiązuje się zapłacić na rzecz Zamawiającego kary umowne w wysokości 0,1% wartość umowy za każdy dzień zwłoki, począwszy od pierwszego dnia następującego po umownym terminie wykonania. Suma kar umownych nie może przekroczyć 10% wartości umowy. Warunki gwarancji: rozpoczęcie okresu gwarancji zaczyna się od daty uruchomienia. W przypadku wystąpienia awarii w okresie gwarancyjnym czas obowiązywania gwarancji będzie przedłużany o okres upływający pomiędzy zgłoszeniem awarii a jej całkowitym usunięciem. W przypadku wystąpienia opóźnienia płatności Kupujący zobowiązany jest zapłacić na rzecz Sprzedającego odsetki zgodnie z polskim prawem. Wszelkie spory wynikłe na tle umowy będzie rozstrzygał sąd właściwy dla siedziby Zamawiającego. §13. Pouczenie o środkach ochrony prawnej: Środki ochrony prawnej, przysługujące wszystkim wykonawcom, opisane są w Dziale VI Prawa Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004r (Dz. U. Nr 19, poz. 177 z dnia 9 lutego 2004 wraz z późniejszymi zmianami). …………………………… …………………………… pieczęć adresowa Oferenta data Oświadczenie Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y, że spełniam/y warunki udziału w niniejszym postępowaniu zawarte w art. 22 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych. ………………………… podpis i pieczęć imienna Oferenta …………………………… …………………………… pieczęć adresowa Oferenta data Oświadczenie Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y, że nie podlegam/y wykluczeniu zgodnie z Art. 24 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych. ………………………… podpis i pieczęć imienna Oferenta …………………………… …………………………… pieczęć adresowa Oferenta data Informacja Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego informuję/emy, iż zgodnie z art. 26 ust. 2d ustawy z dnia 29 stycznia 2004 r. Prawo zamówień publicznych Nie przynależymy do grupy kapitałowej.1 Przynależymy do grupy kapitałowej, a lista podmiotów należących do tej grupy kapitałowej zawarta jest w załączniku do niniejszej informacji.1 ………………………… podpis i pieczęć imienna Oferenta 1 Niepotrzebne skreślić