Wyjaśnienie

Zamówienie numer WF-37-109/10
Warszawa 24 stycznia 2011 r.
Zamawiający:
Wydział Fizyki
Uniwersytetu Warszawskiego
ul. Hoża 69
00-681 Warszawa
tel./fax (0 22) 55 32 213
REGON 000001258
ODPOWIEDŹ NA ZAPYTANIE WYKONAWCY
Dotyczy: Przetargu nieograniczonego na „Dostawę urządzenia do trawienia plazmowego typu
ICP Etch”.
Numer postępowania: WF- 37-109/10
W dniu 12 stycznia 2010 r. do Zamawiającego wpłynęło zapytanie następującej treści:
„1. Dot. § 1 pkt. 3.3.1 Czy Zamawiający dopuści urządzenie z możliwością regulacji
temperatury w zakresie od +50C do +500C.?
2. Dot. § 1 pkt. 3.4.3. Czy Zamawiający dopuści rozwiązanie ze źródłem ICP o średnicy
200mm ?
3. Dot. § 1 pkt. 3.4.6. Czy Zamawiający dopuści rozwiązanie z Planarnym Źródłem ICP, które
nie potrzebuje elektrostatycznej tarczy do tego, żeby nie następował proces osadzania się
produktów trawienia na ścianach urządzenia i służącej do ograniczenia ilości substratów ?
4. Dot. § 1 pkt. 3.4.7 Czy Zamawiający dopuści rozwiązanie: flansze („flange”) o fi: 10 mm w
górnej elektrodzie ?
5. Dot. § 1 pkt. 3.9 Co Zamawiający rozumie przez zintegrowane oprogramowanie?
6. Dot. § 1 pkt. 4.1. Czy Zamawiający dopuści producenta posiadającego 2 urządzenia ICP
pracujące w jego laboratorium?
7. Dot. § 1 pkt. 4.6. Czy Zamawiający dopuści urządzenie o wymiarach 65 cm x 180 cm jako
równoważne ? ”
Zamawiający udziela następujących odpowiedzi:
1. Granica górna temperatury (70 ºC) jest ważna ze względu na planowane procesy, w których
jest istotna lotność produktów reakcji. Zamawiający dopuszcza urządzenia o szerszym zakresie
temperatur niż wymagany w SIWZ.
2. Nie. Układ będzie używany do małych próbek i ma być zoptymalizowany dla małych
substratów. Duże źródło ICP niepotrzebnie podnosi koszty urządzenia.
3. Jeśli Producent udzieli pisemnej gwarancji, że jego rozwiązanie techniczne (Planarne Źródło
ICP) jest z punktu widzenia ograniczenia osadzania się produktów reakcji na ścianach
urządzenia równoważne lub lepsze niż rozwiązanie z ekranem elektrostatycznym, lub
przedstawi wyniki odpowiednich testów, to Zamawiający dopuści takie rozwiązanie.
4. Nie. Flansza o średnicy 10mm nie zapewni możliwości ruchu głowicy lasera w odpowiednio
szerokim zakresie.
str. 1
Zamówienie numer WF-37-109/10
5. Software obsługujący interferometr ma być integralną częścią głównego oprogramowania
systemu. Informacja uzyskiwana z interferometru laserowego musi być wykorzystywana w
automatycznym sterowaniu procesem trawienia. W szczególności, musi być możliwe
przerwanie procesu trawienia (bez ingerencji operatora) po osiągnięciu odpowiedniej
głębokości, zmierzonej za pomocą interferometru.
6. W nawiązaniu do pytania Wykonawcy Zamawiający usuwa z SIWZ następujący warunek
„Dostawca musi potwierdzić, że posiada co najmniej od 10 lat własne laboratorium z minimum
trzema urządzeniami ICP do trawienia.”
7. Ze względu na bardzo ograniczone miejsce w laboratorium, Zamawiający wyraża zgodę
wyłącznie na bardzo niewielkie zwiększenie podanych w SIWS rozmiarów urządzenia.
Rozmiary podstawy urządzenia 65cm x 180 cm są w ostateczności akceptowalne, natomiast
wymiary zewnętrzne zrzutowane na płaszczyznę podłogi nie mogą przekraczać 80 cm x 180
cm.
ZMIANA SIWZ
Ze względu na to, że zmiany, proponowane przez Wykonawcę i zaakceptowane przez
Zamawiającego, są w opinii Zamawiającego zmianami istotnymi, zgodnie z art. 38 ust. 4
ustawy – Prawo zamówień publicznych z dn. 29 stycznia 2004 r. (Dz. U. z 2010 r. Nr 113, poz.
759) Zamawiający zmienia treść Specyfikacji Istotnych Warunków Zamówienia:
1. Zamawiający usuwa z SIWZ następujący zapis „Dostawca musi potwierdzić, że posiada
co najmniej od 10 lat własne laboratorium z minimum trzema urządzeniami ICP do
trawienia.” – art. 3 §1. ust. 4 pkt. 4.1
2. W związku z powyższym Zamawiający przedłuża termin składania ofert do 01 marca
2011 r. (o 22 dni).
Art. 10 §1. ust. 1 pkt. 1.2.1 SIWZ uzyskuje brzmienie:
„Ofertę w zamkniętej kopercie/opakowaniu, sporządzoną zgodnie ze Specyfikacją, należy
składać w siedzibie Zamawiającego – Wydział Fizyki Uniwersytetu Warszawskiego ul. Hoża
69, 00-681 Warszawa pokój 207 – sekretariat ZFCS, nie później niż do dnia 01 marca 2011 r.
do godziny 10:00.”
Art. 10 §2. ust. 1 SIWZ uzyskuje brzmienie:
„1. Otwarcie ofert nastąpi w siedzibie prowadzącego przetarg - na Wydziale Fizyki
Uniwersytetu Warszawskiego przy ul. Hożej 69, 00-681 Warszawa, w pokoju 207 –
sekretariacie ZFCS, w dniu 01 marca2011 r. o godzinie 10:15.”
Z poważaniem,
Prof. dr hab. Michał Baj
str. 2