Charakterystyka materiału włóknistego z zastosowaniem

MATERIA£Y CERAMICZNE /CERAMIC MATERIALS/, 65, 4, (2013), 424-428
www.ptcer.pl/mccm
Charakterystyka materiaáu wáóknistego
z zastosowaniem metod XRF, XPS, SEM
oraz ToF-SIMS
JERZY KUBACKI1*, MAREK MAēKA2, KATARZYNA BALIN1, ARTUR MIROS2
Instytut Fizyki im. A. Cheákowskiego, ul. Uniwersytecka 4, 40–007 Katowice
Centrum Badawcze Materiaáów Budowlanych „IZOLACJA”, Instytut Mechanizacji Budownictwa i Górnictwa Skalnego.
Oddziaá Zamiejscowy w Katowicach, al. Korfantego 193A, 40-157 Katowice
*e-mail: [email protected]
1
2
Streszczenie
W pracy przedstawiono wyniki badaĔ przemysáowych materiaáów termoizolacyjnych z wykorzystaniem technik spektroskopowych
i mikroskopowych. Przeprowadzone badania miaáy na celu scharakteryzowanie struktury i skáadu chemicznego materiaáu wáóknistego
uĪywanego do produkcji weány mineralnej. Analiza skáadu chemicznego wykazaáa obecnoĞü azotu, krzemu, glinu, Īelaza, sodu, magnezu
i wapnia na poziomie kilku procent atomowych, oraz tlenu i wĊgla na poziomie kilkudziesiĊciu procent atomowych. Wyniki badaĔ uzyskane metodami XRF oraz XPS wykazaáy odwrócony stosunek koncentracji atomowej tlenu i wĊgla. OkreĞlona zostaáa Ğrednica wáókien.
Otrzymane z widm masowych mapy chemiczne wykazaáy homogeniczny rozkáad pierwiastków dla pojedynczych wáókien. Otrzymane
wyniki stanowią bazĊ do zaplanowania eksperymentów wiąĪących skáad chemiczny surowców, sáuĪących do produkcji weány mineralnej,
z wáaĞciwoĞciami cieplnymi wyrobów ¿nalnych.
Sáowa kluczowe: weána mineralna, XRF, XPS, ToF-SIMS, SEM
CHARACTERISTICS OF FIBROUS MATERIAL BY USING XRF, XPS, SEM AND ToF-SIMS METHODS
This paper presents the results of industrial investigations of thermal insulation materials by using spectroscopic and microscopic techniques. The goal of this study was to characterize a structure and chemical composition of ¿brous material used in production of mineral
wool. Analysis of the chemical composition showed the presence of nitrogen, silicon, aluminium, iron, sodium, magnesium and calcium at
the level of a few atomic percent, and several atomic percent of carbon and oxygen. The results obtained by XRF and XPS methods showed
an inverted value of atomic concentration for oxygen and carbon. The mean diameter of a single ¿bre was determined. The homogeneous
distribution of chemical elements within an individual ¿bre was determined from a chemical map obtained by SIMS. The obtained results
form the basis for planning experiments aimed at ¿nding a relationship between chemical composition of the materials used for production
of mineral wool and the thermal properties of ¿nal products.
Keywords: Mineral wool, XRF, XPS, ToF-SIMS, SEM
1. Wprowadzenie
Weána mineralna jest jednym z najczĊĞciej stosowanych
materiaáów izolacyjnych, zarówno w przemyĞle jak i budownictwie [1]. Wytwarzana jest z materiaáu otrzymywanego na
bazie kamienia bazaltowego, wapiennego i gabro (weána
kamienna), lub na bazie piasku, szkáa, skalenia, dolomitu
lub boraksu (weána szklana). W procesie produkcyjnym
z weány mineralnej formowane są takie wyroby jak maty,
páyty oraz otuliny [2].
Precyzyjne okreĞlenie wáaĞciwoĞci materiaáu wáóknistego uĪywanego do produkcji weány mineralnej jest trudne
[3–5]. Charakteryzuje siĊ on nieuporządkowaną strukturą,
duĪą porowatoĞcią i zróĪnicowaniem skáadu chemicznego.
Czynniki te mają jednoczeĞnie decydujący wpáyw na jakoĞü
wyrobów wytworzonych z weány mineralnej – determinują
424
ich wáaĞciwoĞci cieplne oraz okreĞlają sposób oddziaáywania
z otoczeniem w czasie uĪytkowania [6–13].
Celem badaĔ jest scharakteryzowanie materiaáu wáóknistego uĪywanego do produkcji weány mineralnej pod wzglĊdem struktury oraz skáadu chemicznego. Wyniki tych badaĔ,
w przyszáoĞci, wykorzystane zostaną do zaplanowania
eksperymentów mających na celu powiązanie wspóáczynnika
przewodzenia ciepáa wyrobów z weány mineralnej z wáaĞciwoĞciami materiaáów uĪytych do jej produkcji.
2. Materiaáy i metodyka badaĔ
Do badaĔ wykorzystano próbkĊ materiaáu wáóknistego
uĪywanego do produkcji weány mineralnej, pobraną z linii
produkcyjnej - w jednym z zakáadów produkujących wyroby
do izolacji budowlanej - prosto z rozwáókniarki przed nanie-
CHARAKTERYSTYKA MATERIAàU WàÓKNISTEGO Z ZASTOSOWANIEM METOD XRF, XPS, SEM ORAZ TOF-SIMS
sieniem lepiszcza spajającego wyrób. Surowce tworzące
wsad do pieca podczas produkcji weány mineralnej zwykle
zawierają takie związki jak: SiO2, TiO2, Al2O3, Fe2O3, MgO,
CaO, Na2O i K2O.
W celu okreĞlenia skáadu chemicznego przeprowadzono
badania metodami: (1) spektroskopii promieniowania Àuorescencyjnego XRF (ang. X-ray Àuorescence spectroscopy)
(spektrometr ZSX PRIMUS II – Rigaku), (2) metodą spektroskopii fotoelektronów wzbudzanych promieniowaniem
rentgenowskim XPS (ang. X-ray photoelectron spectroscopy)
(spektrometr PHI 5700 – Physical Electronics) oraz (3) metodą spektroskopii masowej jonów wtórnych z analizatorem
czasu przelotu ToF-SIMS (ang. time of Àight secondary ion
mass spectroscopy) (spektrometr ToF-SIMS IONTOF).
W badaniach prowadzonych metodą XRF [14–16] moĪliwe jest okreĞlenie skáadu chemicznego z obszaru próbki
o gáĊbokoĞci nie mniejszej niĪ 1ȝm. Analizy prowadzone tą
metodą nie wymagają szczególnego przygotowania próbki;
badania są przeprowadzane w warunkach otoczenia. Kon¿guracja uĪytego w eksperymencie spektrometru PRIMUS
II nie pozwalaáa na identy¿kacjĊ linii azotu.
Badania prowadzone metodą XPS [17-18] umoĪliwiają
wyznaczenie skáadu chemicznego z warstwy powierzchniowej próbki do gáĊbokoĞci rzĊdu kilku nanometrów. Metoda ta
wykazuje bardzo duĪą czuáoĞü na obecnoĞü zanieczyszczeĔ
powierzchniowych, co znacząco wpáywa na jakoĞü uzyskanych wyników. Dlatego, przed wykonaniem pomiaru próbka
byáa czyszczona w komorze próĪniowej jonami Xe+ o energii
4 kV przez okres ok. 25 minut. Gromadzący siĊ podczas badania na powierzchni próbki áadunek dodatni kompensowany
byá elektronami emitowanymi z neutralizatora. Przeprowadzone pomiary wykonane zostaáy w dwóch etapach: w pierwszym uzyskano widmo fotoemisyjne zmierzone w szerokim
zakresie energii wiązania (widmo przeglądowe), w drugim
natomiast przeprowadzono pomiary linii rdzeniowych C1s,
N1s, O1s, Al2p, Si2p, Na1s, Mg2s, Ca2s i Fe2p. Otrzymane
widma fotoemisyjne kalibrowane byáy wzglĊdem poáoĪenia
linii C1s dla energii wiązania 285 eV. KoncentracjĊ atomową
pierwiastków wyznaczono przy uĪyciu programu MULTIPAK.
Spektrometria masowa ToF-SIMS [19–21] sáuĪy do
analizy skáadu atomowego i molekularnego materiaáów poprzez badanie masy jonów wybitych z powierzchni próbki za
pomocą skupionej i precyzyjnie sterowanej wiązki jonów bizmutu. Oprócz okreĞlenia skáadu chemicznego pozwala ona
takĪe na uzyskanie wysoko rozdzielczych (do 60 nm) map
rozkáadu jonów, zarówno atomowych jak i molekularnych,
wybitych z powierzchni próbki. Mimo, Īe technika ta pozwala
na uzyskanie informacji z warstwy przypowierzchniowej
(gáĊbokoĞü analizy ~1 nm), moĪliwe jest równieĪ uzyskanie
informacji z wnĊtrza materiaáu badanego poprzez wykonanie
pomiarów w trybie pro¿lu wgáĊbnego. Podobnie jak w przypadku spektroskopii XPS, w celu usuniĊcia zanieczyszczeĔ
powierzchniowych, niezbĊdne jest wytrawienie powierzchni
badanego materiaáu za pomocą dziaáa jonowego.
Oprócz badaĔ skáadu chemicznego, przeprowadzono
takĪe obserwacje mające na celu okreĞlenie wielkoĞci,
ksztaátu oraz sposobu uáoĪenia wáókien. Badania te wykonano przy uĪyciu mikroskopu elektronowego SEM (ang. scanning electron microscopy) (mikroskop PHI 660 – Physical
Electronics) o rozdzielczoĞci 100 nm [22-23].
3. Wyniki badaĔ i dyskusja
Uzyskane metodami XRF i XPS wyniki analiz skáadu
chemicznego przedstawiono w Tabeli 1 – zdjĊcie powierzchni
próbki przedstawiono na Rys. 1. W wyniku badania XRF,
w materiale próbki stwierdzono obecnoĞü: tlenu, wĊgla,
krzemu, wapnia, aluminium, magnezu, Īelaza i sodu. NajwiĊkszą koncentracje atomową wykazano dla tlenu i wĊgla.
Podobny wynik uzyskano metodą XPS – z tą róĪnicą, Īe
w metodzie XPS stosunek koncentracji C/O wynosiá 66/18
– a w metodzie XRF stosunek ten byá „odwrócony”: 14/72.
Widmo fotoemisyjne XPS na podstawie, którego okreĞlono
skáad chemiczny przedstawiono na Rys. 2.
Rys. 1. ZdjĊcie powierzchni badanego materiaáu wáóknistego. Biaáą
obwódką zaznaczono obszar, dla którego wykonano analizĊ XRF.
Fig. 1. A photo of the surface obtained for ¿brous material. The area
analysed by the XRF method is marked by a dashed line.
Tabela 1. Koncentracja atomowa pierwiastków wchodzących w skáad
badanego materiaáu wáóknistego okreĞlona metodami XRF i XPS.
Table 1. Atomic concentrations of the elements determined by XRF
and XPS for studied ¿brous material.
Koncentracja
atomowa
[%]
C
N
XRF
13,8
-
XPS
O
Al
Si
Na
Mg
Ca
Fe
72,0 2,4
4,7
0,7
1,8
2,7
1,0
66,4 4,1 17,6 0,4
4,0
0,4
1,3
2,0
2,0
Odwrócenie relacji C/O w metodach XPS i XRF jest
prawdopodobnie związane z procesem bombardowania
powierzchni jonami Xe+ w metodzie XPS. Trawienie powierzchni skuteczniej usuwa z niej sáabo związane atomy
tlenu niĪ atomy wĊgla. Dlatego, w badaniu XPS wykazano
mniejszą zawartoĞü tlenu niĪ wĊgla. NaleĪy takĪe pamiĊtaü,
Īe w metodzie XRF analizując wiĊkszą „objĊtoĞü” badanego
materiaáu rejestrowano dodatkowo cząsteczki tlenu wypeániające pory rozwáóknionego materiaáu skalnego.
Pozostaáe pierwiastki, o koncentracjach od jednego do
kilku procent, są prawdopodobnie skáadnikami związków,
z których zbudowany byá materiaá skalny. W metodzie
MATERIA£Y CERAMICZNE /CERAMIC MATERIALS/, 65, 4, (2013)
425
J. KUBACKI, M. MAēKA, K. BALIN, A. MIROS
XPS – oprócz pierwiastków zidenty¿kowanych badaniem
XRF – wykazano takĪe obecnoĞü Ğladowych iloĞci miedzi.
Pojawienie siĊ na widmie XPS w zakresie 660 eV – 695 eV
dwóch linii o maáej intensywnoĞci, odpowiadającym stanom
Xe3d, jest związane z procesem trawienia – jony ksenonu
są wbudowywane w strukturĊ badanego materiaáu.
Rys. 3. ZdjĊcie obszaru analizowanego techniką ToF-SIMS.
Fig. 3. A photo of the area analysed by ToF-SIMS method.
Rys. 2. Widmo fotoemisyjne XPS otrzymane w szerokim zakresie
energii wiązania z powierzchni weány mineralnej.
Fig. 2. Photoemission spectrum XPS obtained from the surface of
mineral wool in a wide range of binding energy.
Badania skáadu chemicznego przeprowadzono takĪe
techniką ToF-SIMS. Z obszaru o wymiarach 500 —m ×
500 —m, zaznaczonego na Rys. 3 przerywaną linią, uzyskane zostaáo widmo masowe dla jonów dodatnich (Rys.
4). Spektrum to skáada siĊ z szeregu pojedynczych linii,
odpowiadających masom róĪnych jonów i molekuá wybitych
z powierzchni próbki na skutek bombardowania jonami bizmutu. Przeprowadzona analiza pozwoliáa na uzyskanie map
rozkáadu jonów wchodzących w skáad materiaáu wáóknistego.
Mapy rozkáadu wybranych jonów zaprezentowano na Rys. 5.
Analiza widm masowych oraz map rozkáadu jonów otrzymanych na analizowanej powierzchni potwierdziáa wyniki
Rys. 4. Widmo masowe uzyskane dla jonów dodatnich.
Fig. 4. Static SIMS spectrum for positive ions.
a)
b)
c)
d)
e)
f)
Rys. 5. Mapy rozkáadu jonów w strukturze materiaáu wáóknistego: a) Al+, b) Ca+, c) Fe+, d) Mg+, e) Na+, f) Si+.
Fig. 5. Ion distribution maps in the structure of the ¿brous material: a) Al+, b) Ca+, c) Fe+, d) Mg+, e) Na+, f) Si+.
426
MATERIA£Y CERAMICZNE /CERAMIC MATERIALS/, 65, 4, (2013)
CHARAKTERYSTYKA MATERIAàU WàÓKNISTEGO Z ZASTOSOWANIEM METOD XRF, XPS, SEM ORAZ TOF-SIMS
uzyskane metodami XPS i XRF, wykazując we wáóknach
materiaáu próbki obecnoĞü magnezu, glinu, wapnia, krzemu,
Īelaza i sodu.
Porównując obrazy otrzymane dla poszczególnych
pierwiastków – Mg (Rys. 5a), Al (Rys. 5b), Ca (Rys. 5c), Si
(Rys. 5d), Fe (Rys. 5e), Na (Rys. 5f) – stwierdziü moĪna, Īe
nie ma istotnych róĪnic pomiĊdzy rozkáadami poszczególnych jonów w pojedynczych wáóknach. Obserwowane róĪnice intensywnoĞci poszczególnych map rozkáadu analizowanych jonów, wynikają z morfologii analizowanego obszaru
(wáókna weány poprzeplatane są na róĪnych wysokoĞciach)
oraz przekroju czynnego pierwiastków. Wszystkie wáókna są
widoczne na kaĪdej mapie, co Ğwiadczy o równomiernym
rozáoĪeniu pierwiastków we wáóknach weány.
Obserwacje struktury powierzchni próbki wykonano
metodą mikroskopii SEM (Rys. 6). Badany materiaá skáada
siĊ z szeregu pojedynczych wáókien, o róĪnych gruboĞciach,
dáugoĞciach i orientacjach. ĝrednica wáókien uzyskana
z analizy okoáo 50 wáókien wynosi 4–7 —m. Brak lepiszcza
spajającego materiaá powoduje, Īe wáókna uáoĪone są chaotycznie. W Ğrodkowej czĊĞci obrazu, widaü kuliste i prostopadáoĞcienne obiekty o rozmiarze rzĊdu kilkudziesiĊciu
mikrometrów, które najprawdopodobniej są pozostaáoĞcią
nierozwáóknionego materiaáu wsadowego uĪywanego do
produkcji weány mineralnej.
ToF-SIMS potwierdziáa wyniki badaĔ uzyskane metodami
XRF i XPS oraz umoĪliwiáa wykonanie map rozkáadu przestrzennego jonów magnezu, glinu, wapnia, krzemu, Īelaza
i sodu dla pojedynczych wáókien. Wysoko rozdzielczy obraz
struktury wáókien weány uzyskany techniką SEM pozwoliá,
poza okreĞleniem struktury uáoĪenia wáókien oraz rozmiarów
i szczegóáów struktury powierzchni wáókien, na rozpoznanie
innych obiektów bĊdących najprawdopodobniej pozostaáoĞcią nierozwáóknionego materiaáu wsadowego.
Struktura materiaáu wáóknistego – rozmiary i kierunek uáoĪenia wáókien – oraz ich skáad chemiczny – są wáaĞciwoĞciami, które determinują wáaĞciwoĞci cieplne wyrobów z weány
mineralnej. Pozwalające je okreĞliü badania spektroskopowe
i mikroskopowe traktowaü naleĪy jako uzupeániające w stosunku do badaĔ jakoĞciowych przewodnictwa cieplnego.
Obserwacje zmian struktury powierzchni wyrobów, jakoĞciowych i iloĞciowych zmian skáadu chemicznego, uáatwiają
opis oddziaáywania materiaáu izolacyjnego z otoczeniem pod
kątem jego przewodnictwa cieplnego. Wyniki analiz XRF,
XPS, ToF-SIMS, SEM mogą byü przydatne takĪe z punktu
widzenia badaĔ starzeniowych materiaáów. Badania przeprowadzone tymi technikami posáuĪyü teĪ mogą do wery¿kacji
poprawnoĞci badaĔ wáaĞciwoĞci cieplnych. Zarówno w niskich, jak i wysokich temperaturach materiaá moĪe podlegaü
zmianom, które trwale mogą zmieniaü jego wáaĞciwoĞci.
àącząc „tradycyjne” badania starzeniowe i badania
wspóáczynnika przewodzenia ciepáa z badaniami przy uĪyciu
metod spektroskopowych i mikroskopowych, otrzymujemy
bardziej precyzyjny i kompletny opis wpáywu otoczenia na
materiaá izolacyjny, pozwalający na prognozowanie zmian
jego parametrów w czasie. WaĪne jest to z punktu widzenia projektantów obiektów budowlanych oraz technologów
zajmujących siĊ rozwojem produktów do izolacji cieplnej.
Wiedza na temat oddziaáywania izolacji ze Ğrodowiskiem
umoĪliwia ograniczenie i wyeliminowanie tego wpáywu, oraz
projektowanie wyrobów o lepszych parametrach uĪytkowych.
PodziĊkowania
Rys. 6. Obraz otrzymany z mikroskopu elektronowego wybranego
obszaru weány mineralnej.
Fig. 6. A SEM image obtained for a selected area of the mineral wool.
4. Podsumowanie
Badany materiaá wáóknisty scharakteryzowany zostaá pod
wzglĊdem skáadu chemicznego i struktury uáoĪenia wáókien.
Skáad chemiczny okreĞlono metodami XRF, XPS i ToF-SIMS.
Technika ToF-SIMS posáuĪyáa takĪe do okreĞlenia rozkáadu
wybranych jonów w pojedynczych wáóknach, natomiast
strukturĊ uáoĪenia wáókien okreĞlono metodą mikroskopii
elektronowej SEM.
W wyniku analizy XRF uzyskano skáad chemiczny warstwy powierzchniowej o gruboĞci rzĊdu 1 ȝm, natomiast
analiza XPS dostarczyáa podobną informacjĊ dla warstwy
o gruboĞci mniejszej niĪ 10 nm. Uzyskane metodami XRF
i XPS skáady chemiczne jakoĞciowo prawie nie róĪnią siĊ
od siebie – technika XPS okazaáa siĊ bardziej czuáa niĪ
XRF, ujawniając w materiale Ğladowe iloĞci Cu. Technika
Badania z wykorzystaniem spektrometru masowego
ToF-SIMS realizowane byáy przy wykorzystaniu aparatury
zakupionej w Projekcie: „ĝląska BIO-FARMA. Centrum
Biotechnologii, BioinĪynierii i Bioinformatyki”, wspóá¿nansowanym ze Ğrodków Europejskiego Funduszu Rozwoju Regionalnego w ramach Programu Operacyjnego Innowacyjna
Gospodarka na lata 2007–2013.
Literatura
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
Papadopoulos, A.M.: State of the art in thermal insulation materials and aims for future development, Energy and Buildings,
37, (2005), 77–86.
Miros, A.: Izolacje techniczne – okreĞlanie minimalnej gruboĞci izolacji oraz charakterystyka wspóáczesnych materiaáów
izolacyjnych, Izolacje, 3, (2013), 72–76.
Lund, M. D., Yue, Y.-Z.: InÀuences of chemical aging on the
surface morphology and crystallization behavior of basaltic
glass ¿bers, J. Non-Cryst. Solids, 354, (2008), 1151–1154.
Thomason, J.L., Dwight, D.W.: The use of XPS for characterisation of glass ¿bre coatings, Composites: Part A, 30, (1999),
1401–1413.
Bellman, B., Muhle, H., Kamstrup, O., Draeger, U.F.: Investigation on the biodurability of chemically different stone wool
MATERIA£Y CERAMICZNE /CERAMIC MATERIALS/, 65, 4, (2013)
427
J. KUBACKI, M. MAēKA, K. BALIN, A. MIROS
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
428
¿bres, 47, Experimental and Toxicologic Pathology, (1995),
195–201.
FurmaĔski, P., WiĞniewski, T.S., Banaszek, J.: Izolacje cieplne.
Mechanizmy wymiany ciepáa, wáaĞciwoĞci cieplne i ich pomiary, ITC, Warszawa, (2006).
PN-EN 14064-1:2012: Wyroby do izolacji cieplnej w budownictwie – Wyroby z weány mineralnej (MW) w postaci niezwiązanej
formowane in situ – CzĊĞü 1: Specy¿kacja wyrobów w postaci
niezwiązanej, przed ich zastosowaniem.
PN-EN 14064-2:2010: Wyroby do izolacji cieplnej w budownictwie - Wyroby z weány mineralnej (MW) w postaci niezwiązanej formowane in situ - CzĊĞü 2: Specy¿kacja wyrobów po
zastosowaniu (oryg.).
PN-EN 14303:2012: Wyroby do izolacji cieplnej wyposaĪenia
budynków i instalacji przemysáowych – Wyroby z weány mineralnej (MW) produkowane fabrycznie – Specy¿kacja.
PN-EN 13162:2009: Wyroby do izolacji cieplnej w budownictwie – Wyroby z weány mineralnej (MW) produkowane
fabrycznie – Specy¿kacja.
PN-EN 13500:2005: Wyroby do izolacji cieplnej wyposaĪenia
budynków i instalacji przemysáowych – Wyroby z weány mineralnej (MW) produkowane fabrycznie – Specy¿kacja.
PN-B-23118:1997: Wyroby do izolacji cieplnej wyposaĪenia
budynków i instalacji przemysáowych – Wyroby z weány mineralnej (MW) produkowane fabrycznie – Specy¿kacja.
PN-B-23118:1997/Ap1:1999: Wyroby do izolacji cieplnej
w budownictwie – Otuliny z weány mineralnej.
Verma, H.R.: X-ray Fluorescence (XRF) and Particle-Induced
X-ray Emission (PIXE), Atomic and Nuclear Analytical Methods, (2007), 1–90.
Fadleya, C.S.: X-ray photoelectron spectroscopy: Progress
and perspectives, J. of Electron Spectroscopy and Related
MATERIA£Y CERAMICZNE /CERAMIC MATERIALS/, 65, 4, (2013)
Phenomena, 178-179, (2010), 2–32.
[16] Streli, C., Wobrauschek, P., Kregsamer, P.: X-Ray Fluorescence Spectroscopy, Applications, Encyclopedia of Spectroscopy and Spectrometry, Second Edition, (1999), 3000–3009.
[17] Tilinin, I.S., Jablonski, A., Werner, W.S.M.: Quantitative surface
analysis by Auger and X-ray photoelectron spectroscopy,
Progress in Surface Science, 52, (1996), 193–335.
[18] Verma, H.R.: X-Ray Photoelectron Spectroscopy, Atomic and
Nuclear Analytical Methods, (2007), 213–241.
[19] Benninghoven, A.: Chemical Analysis of Inorganic and Organic
Surfaces and Thin Films by Static Time-of-Flight Secondary
Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS), Angewandte Chemie
International Edition, v.33, i.10, (1994), 1023–1043.
[20] Van Vaeck, L., Adriaens, A., Gijbels, R.: Static secondary ion
mass spectrometry: (S-SIMS) part 1: Methodology and structural interpretation, Mass Spectrometry Reviews, 18, (1999),
1–47.
[21] Van Vaeck, L., Adriaens, A., Adams, F.: Static secondary ion
mass spectrometry: (S-SIMS) part 1: Material science applications, Mass Spectrometry Reviews, 18, (1999), 48–81.
[22] Marassi, R., Nobili, F.: Measurement Methods. Structural and
Chemical Properties: Scanning Electron Microscopy, Encyclopedia of Electrochemical Power Sources, (2009), 758–768.
[23] Klein, T., Buhr, E., Frase, C.G.: TSEM: A Review of Scanning
Electron Microscopy in Transmission Mode and Its Applications, Advances in Imaging and Electron Physics, 171, (2012),
297-359.
i
Otrzymano 28 lipca 2013, zaakceptowano 3 wrzeĞnia 2013