Wizyta w instytucie FEMTO-ST Besancon, Francja CEL WYJAZDU
Transkrypt
Wizyta w instytucie FEMTO-ST Besancon, Francja CEL WYJAZDU
Wizyta w instytucie FEMTO-ST Besancon, Francja Jurek Krężel 15. I 2006 – 14. IV 2006 CEL WYJAZDU: Opracowanie metodyki charakteryzacji pracy MEMS'owego stolika x-y Przedmiot analizy: Ramka krzemowa poruszana przez parę elektrostatycznych aktuatorów grzebieniowych. Kombinacje czterech podawanych napięć, a tym samym kombinacje wzajemnego położenia aktuatorów umożliwiają zmianę położenia ramki w kierunku x i y. Metoda analizy: Z uwagi na dostępną aparaturę (interferometr zintegrowany z mikroskopem pozwalający na oświetlenie obiektu wzdłuż kierunku obserwacji) oraz charakter obiektu (obiekt o powierzchni zwierciadlanej) zdecydowano się na pomiar położenia poszczególnych elementów obiektu za pomocą niekoherentnych metod korelacyjnych. Analiza odbywa się automatycznie. Program do sterowania aktuatorami, akwizycji i analizy informacji umożliwia sterowanie stolikiem wg dowolnych funkcji i ich parametów. Stolik MEMS jest własnością firmy INTEL