Specyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego

DZPIE/019/2014
Specyfikacja istotnych warunków
zamówienia publicznego
Przedmiot postępowania: Uniwersalna linia technologiczna do badań procesów
wytwarzania
nanostruktur
i
prototypów
przyrządów
półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych.
38.00.00.00-5
Kod CPV:
42.12.24.50-9
38.50.00.00-0
38.41.00.00-2
Postępowanie
jest
prowadzone
w
trybie
przetargu
Tryb udzielenia
nieograniczonego zgodnie z Prawem Zamówień Publicznych z
zamówienia:
dn. 29 stycznia 2004 r.
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk
Inwestor/Kupujący:
02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46.
NIP: 525-000-92-75; Regon: P-000326061
Ochrona prawna SIWZ: Dokument chroniony prawem autorskim
© Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk ©
Zakup przedmiotu zamówienia finansowany ze środków Ministerstwa Nauki i Szkolnictwa
Wyższego w zakresie wytworzenia aparatury naukowo-badawczej stanowiącej dużą
infrastrukturę badawczą.
§1. Opis przedmiotu zamówienia:
Przedmiotem zamówienia jest wytworzenie i dostawa fabrycznie nowej komory do
napylania cienkich warstw opartej na dziale elektronowym z działem jonowym w pełni
kompatybilnej z procesami litograficznymi, pozwalająca na oczyszczenie próbki lub
usunięcie warstwy izolatora przed napylaniem warstwy metalicznej wchodzącej w skład
Uniwersalnej linii technologicznej do badań procesów wytwarzania nanostruktur i
prototypów przyrządów półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych
wraz z pełnym wyposażeniem, instalacją, uruchomieniem i testowaniem.
Wymaga się podania: nazwy urządzenia i zasadniczych części urządzeń wchodzących w skład
komory, modelu, typu, producenta, kraju pochodzenia i roku produkcji (wymagany rok
produkcji 2012-2014). Urządzenie musi być fabrycznie nowe, nie używane w jakimkolwiek
laboratorium oraz nie pokazywane na konferencjach i imprezach targowych.
Wymagania do przedmiotu zamówienia:
1. Dostawca udzieli minimum 2 lata gwarancji (24 miesiące) na urządzanie (od dnia
podpisania protokołu odbioru) obejmującej również serwisowanie i wymianę części
wymagających wymiany (bez materiałów eksploatacyjnych), na części kupowane w
zewnętrznych firmach np. działo elektronowe, jonowe, zasilacze - gwarancja według
producenta lecz nie mniej niż 1 rok.
2.
3.
4.
5.
Koszty transportu, serwisowania, koszty części wymienianych z wyjątkiem
materiałów eksploatacyjnych oraz koszty wymiany tych części ponosi dostawca w
ramach gwarancji.
Czas przystąpienia do naprawy gwarancyjnej: nie dłuższy niż 5 dni od daty zgłoszenia
przez Zamawiającego telefonicznie lub na piśmie (np. pocztą elektroniczną, faksem
itp.) nieprawidłowego działania urządzenia.
Czas przywrócenia pełnej funkcjonalności urządzenia: nie dłuższy niż 30 dni
kalendarzowych od daty zgłoszenia przez Zamawiającego nieprawidłowego działania
urządzenia.
Okres bezpłatnego serwisu gwarancyjnego ulega automatycznie przedłużeniu o okres
naprawy, a po wystąpieniu trzykrotnej awarii tego samego podzespołu lub elementu
wykonawca zobowiązany jest do wymiany wadliwej części na nową.
Bezpłatna aktualizacja oprogramowania przez okres co najmniej 24 miesięcy od daty
podpisania protokołu odbioru.
Dostarczony sprzęt musi odpowiadać wszystkim wymogom technicznym i
jakościowym określonym przez Zamawiającego w specyfikacji technicznej. Powinna
zostać do niego załączona dokumentacja techniczna, płyty instalacyjne oraz instrukcja
obsługi w jęz. polskim lub angielskim. Wykonawca zagwarantuje jakość
dostarczonych produktów zgodnie ze specyfikacją techniczną - odpowiedzialność z
tytułu gwarancji jakości obejmuje zarówno wady powstałe z przyczyn tkwiących w
przedmiocie zamówienia w chwili dokonania odbioru przez zamawiającego, jak i
wszelkie inne wady powstałe z przyczyn, za które wykonawca ponosi
odpowiedzialność.
System musi być przystosowany i dopuszczony do pracy na terytorium RP (zasilanie z
sieci 230V AC, 50 Hz), tzn. posiadać wszelkie wymagane certyfikaty (np. CE, jeśli
ma zastosowanie) oraz musi być dostarczony wraz materiałami i akcesoriami (np.
przewodami zasilającymi i przyłączeniowymi, kablami pomiarowymi, adapterami,
zasilaczami, itp. elementami) niezbędnymi do uruchomienia i poprawnej pracy.
Wymagany okres dostępności części zamiennych: min. 10 lat od daty podpisania
protokołu odbioru.
Wykonawca zainstaluje i uruchomi dostarczony system oraz przeszkoli minimum
dwóch pracowników Zamawiającego (w laboratorium Zamawiającego) w zakresie
budowy, obsługi i jego użytkowania w terminie nie dłuższym niż 1 miesiąc od daty
dostawy do siedziby Zamawiającego. Wykonawca wykona badania stabilności pracy i
przeprowadzi niezbędne testy sprawdzające działanie całości układu w oparciu o
próbki kalibracyjne i testowe. Zostanie to potwierdzone obustronnie podpisanym
protokółem odbioru. Koszty związane z instalacja, testami i przeszkoleniem
pracowników w zakresie obsługi całego systemu i poszczególnych urządzeń
wchodzących w jego skład, zostaną wliczone w cenę całkowitą.
Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia:
Uniwersalna linia technologiczna do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów
przyrządów półprzewodnikowych - Komora do napylania cienkich warstw oparta na
dziale elektronowym z działem jonowym w pełni kompatybilna z procesami
litograficznymi.
DOPUSZCZA SIĘ WYKONANIE DWÓCH ODZIELNYCH KOMÓR:
 JEDNĄ DO OSADZANIA WARSTW Z DZIAŁA ELEKTRONOWEGO

DRUGĄ DO OSADZANIA WARSTW METODĄ ROZPYLANIA Z MAGNETRONÓW
PLANARNYCH
POŁĄCZONYCH WSPÓLNĄ ŚLUZĄ UMOŻLIWIAJĄCĄ TRANSFER PODŁOŻA MIĘDZY
KOMORAMI.
System musi być wykonany w technice UHV i zapewniać ciśnienie bazowe w komorze
wzrostu (w komorach wzrostu) nie większe niż 1x10-10 mbar i w śluzie ciśnienie bazowe
nie większe niż 1x10-9mbar.
Osadzanie warstw z działa elektronowego i z każdego magnetronu powinno być
prowadzone w ten sposób aby strumień osadzonego materiału był zawsze prostopadły
do powierzchni podłoża aby zapewnić prawidłowy przebieg procesu litograficznego
lift-off.
Punkt 1. Komora (Komory) wysokopróżniowa do nanoszenia cienkich warstw:
Komora (komory) powinna być wyposażona w:
 Działo elektronowe z systemem automatycznego utrzymywania zadanej wielkości
strumienia naparowywanych materiałów (dostawa działa elektronowego wraz z
wyposażeniem do 12 grudnia 2014).
Dostarczone działo elektronowe musi być wyposażone w 6 kieszeni o objętości 7cm3 każda i
oprogramowanie pracujące w środowisku LabView do sterowania działem.
Minimalne parametry działa elektronowego:
 działo elektronowe z ukrytym źródłem elektronów (270° beam deflection),
 maksymalne wysokie napięcie 10kV,
 musi by chłodzone wodą,
 temperatura wygrzewania działa w zakresie od co najmniej 150 do co najwyżej 250° C
(Bake Out Temperature),
 odległość pomiędzy kołnierzem a środkiem kieszeni 14,5” (356mm) (Distance from
flange to center of the pocket),
 działo mocowane na kołnierzu DN200CF,
 maksymalna moc działa elektronowego co najmniej 8kW.
Wykonawca dostarczy komputer (laptop) na którym będzie zainstalowane działające
oprogramowanie sterujące procesem naparowywania warstw.
Działo ma być zasilane zasilaczem o mocy co najmniej 8kW wraz z funkcją „Cheetah
Programmable Digital Sweep”.
Minimalne parametry zasilacza działa elektronowego:
 moc co najmniej 800mA/10kV,
 regulowane wysokie napięcie w zakresie co najmniej od 0 do 10kV z precyzyjną
regulacją <+/- 0,25%,
 czas reakcji (response time) < 50 µs,
 źródło włókna (source filament) 50A maksymalnie 8VAC,
 sterowanie napięciem +10VDC,
 stały prąd emisji, regulowany <+/- 0,5% (Constant emission current regulation <+/0.5%),
 pełne zdalne sterowanie z PLC dla źródło i wysokiego napięcia,
 zasilacz chłodzony powietrzem,
 odporne za zew. zakłócenia elektromagnetyczne,
Wykonawca dostarczy wraz z działem:
a) automatyczną elektro-pneumatyczną przesłonę (automatic electro-pneumatic linear
shutter) na dziale elektronowym,
b) automatyczny indekser do działa elektronowego, pozwalający na wybór kieszeni, z
której ma zachodzić parowanie wybranego materiału,
c) kontroler osadzania warstw wraz z oprogramowaniem, pozwalającym definiować
procesy napylania i kontrolującym ich przebieg.
W szczególności kontroler powinien spełniać następujące funkcje:
 obsługiwać dedykowany automatyczną elektro-pneumatyczną przesłonę
(automatic Electro-pneumatic linear shutter) na dziale elektronowym (patrz a.),
 obsługiwać dedykowany automatyczny indekser (patrz b.),
 mierzyć grubość napylanej warstwy na wadze kwarcowej (patrz d.).
 kontrolować pracę zasilacza w pętli sprzężenia zwrotnego, aby uzyskać stabilną,
zadaną w oprogramowaniu prędkość napylania,
 automatycznie otwierać przesłonę oddzielającą próbkę od działa elektronowego,
gdy prędkość napylania ustabilizuje się na zadanym poziomie (na wadze
kwarcowej) i zamykać go, gdy zadana grubość materiału osadzi się na próbce (na
wadze kwarcowej),
Parametry kontrolera i wagi kwarcowej do osadzania warstw:
 sensor, kryształ o częstotliwości 5 lub 6 MHz,
 rozdzielczość częstotliwości +/- 0.02Hz (0.009Å Al dla 6MHz),
 dokładność +/- 0,5% grubość,

zakres pomiarowy 500kÅ dla Al lub równoważne,

wyświetlanie grubości od 0.000 do 999.9kÅ,

prędkość osadzania od 0.0 do 999Å/s,

aktualizacja pomiaru 10/s przy wszystkich ustawieniach,

wejście (programowalne) minimum 8, optycznie izolowane, 5-24VDC lub
kontakt,

wyjście (programowalne) przekaźniki minimum 8 SPDT, 1A, 24VDC max.

wyjścia analogowe 12 bitowe,
 interfejs umożliwiający dołączenie do komputera RS-232C (Telemark protocol
lub ASCI).
d) Waga kwarcowa musi współpracować z działem elektronowym i co najmniej dwoma
czujnikami kwarcowymi (dostawa wagi kwarcowej wraz z wyposażeniem do 12
grudnia 2014):
 z własną przesłoną
 dostosowana do pracy w UHV,
 chłodzona wodą,
 kompatybilna z wygrzewaniem komory,
 możliwość wyboru czujnika bez łamania próżni,
 zapasowe czujniki kwarcowe do głowicy pomiarowej - 5 szt.
e) High Voltage Grounding probe do usuwania ładunku elektrycznego zgromadzonego
na komorze,
f) Czujnik przepływu wody chłodzącej (water flow switch) wyłączający zasilanie działa
w przypadku braku wystarczającego przepływu wody chłodzącej,
g) Chłodzony wodą ekran osłaniający działo elektronowe i ograniczający
promieniowanie cieplne z działa.
Działo elektronowe, zasilacz, waga kwarcowa, kontroler oraz przesłony mają tworzyć
zintegrowany układ pracujący w pętli sprzężenia zwrotnego. Obsługiwane przez
dedykowane oprogramowanie pracujące w środowisku LabView.
ODLEGŁOŚĆ DZIAŁA OD PODŁOŻA NIE POWINNA BYĆ MNIEJSZA NIŻ 40cm
 Minimum 3 magnetrony planarne na targety ferromagnetyczne i nieferromagnetyczne
o średnicy 2 cale i grubości do 0,25 cala z własnym systemem pomiaru wielkości
strumienia rozpylanych materiałów przy pomocy wagi kwarcowej. Każdy z
magnetronów powinien posiadać własną sterowaną pneumatycznie z konsoli zasłonkę.
Odległość podłoża, na którym osadzane są warstwy, od targetów powinna być
regulowana w zakresie od 4cm do 10 cm. Wraz z magnetronami do komory wzrostu
maja być podłączone przez zawór UHV trzy linie gazowe doprowadzające Ar, N2 i O2
o czystości 6N wyposażone w elektroniczny regulator przepływu gazu (MFC) wraz z
kontrolerem każda. Na każdej linii przed MFC, od strony komory wzrostu powinien
być zawór dozujący ze spawanym uszczelnieniem mieszkowym a za MFC zawór
odcinający ze spawanym uszczelnieniem mieszkowym. Zakres regulacji przepływu
każdego z trzech MFC to 0-25ml/min. Wykonawca dostarczy i zamontuje w systemie
minimum 2 zasilacze DC (prądu stałego) do zasilania magnetronów o mocy
maksymalnej nie mniejszej niż 300W o prądzie maksymalnym 0.5A i napięciu
maksymalnym 1200V oraz jeden zasilacz RF o częstotliwości 13,56 MHz, o mocy
maksymalnej nie mniejszej niż 300W z układem automatycznego dopasowania
impedancji oraz z możliwością kontroli mocy wychodzącej i/lub ujemnego potencjału
autopolaryzacji z płyty czołowej lub oddzielnego panelu. Magnetrony muszą być
chłodzone wodą. Dostawa minimum 3 magnetronów wraz z wyposażeniem do 12
grudnia 2014.
 działo jonowe do trawienia, przystosowane do pracy w systemach UHV (dostawa
działa jonowego wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014).
Wymagania działa jonowego:
 wykonane w technice UHV,
 moc mikrofal 250W maksymalnie dla 2.45GHz,
 emisja jonów oparta na mikrofalowych wyładowaniach plazmowych
(filamentless ion source based on a microwave plasma discharge, No
Filament),
 energia jonów od 25eV do minimum 5keV,
 maksymalny prąd wiązki 1mA (dla 5kV przy aperturze Φ 1,5mm w Argonie)
> 3,5mA (przy aperturze Φ3mm),
 Rozbieżność wiązki typowa 15° (Beam DivergenceIon energy dependant,
typically 15°),
 Przepływ gazu 0,01 – 100 sccm (zależna od apertury),
 Ciśnienie robocze 10-7 Torr – 5 x 10-3Torr ,
 Chłodzone wodą,
 Działo przystosowane do pompowania różnicowego,
 Działo wyposażone w przesłonę z puszką Faradaya (Faraday Cup integrated
in shutter).
Wykonawca dostarczy razem z działem jonowym neutralizator (Filament Neutralizer)
niezbędny dla trawienia dielektryków.
Wykonawca wykona instalację dostarczającą czysty (co najmniej 6N) argon wraz z
butlą gazową i reduktorem oraz zawór dozujący (leak valve), zaworem kontrolującym
wielkość przepływu argonu.
Wykonawca zadba o kompatybilność komory z działem jonowym tzn. weźmie pod
uwagę specyfikacje działa jonowego przy konstruowaniu komory; w szczególności
zapewni dystans roboczy (working distance) zgodny ze specyfikacją techniczna działa.
Wykonawca zapewni możliwość trawienia próbek przy zmiennym, płynnie
ustawianym kącie padania jonów od -50o do +50o w stosunku do normalnej do
powierzchni próbki. Wykonawca zapewni możliwość pomiaru prądu jonowego
padającego na próbkę przy pomocy wsuwanej sondy (zasłonki) tuż przy powierzchni
próbki oraz odpowiedniego miernika.
 Manipulator podłoża zapewniający ogrzewanie powierzchni podłoża do temperatury
800oC i chłodzenie do co najmniej - 200oC. W przypadku wyboru rozwiązania z
dwiema komorami wzrostu - 2 sztuki
 Miernik pomiaru ultra wysokiej próżni o następujących parametrach (co najmniej dwa
egzemplarze - jeden do komory wzrostu drugi do śluzy) - dostawa wraz z
wyposażeniem do 12 grudnia 2014:
a) co najmniej dwa kanały pomiarowe, które umożliwiają pomiar ciśnienia co
najmniej przy pomocy głowic jonizacyjnych Bayarda-Alperta oraz głowic
Piraniego i głowic (manometrów) pojemnościowych z wyjściem napięciowym
DC; dopuszcza się rozwiązanie, w którym jeden kanał jest przeznaczony do
pomiaru tylko przy pomocy głowicy jednego typu (np. Bayarda-Alperta ), a drugi
(lub pozostałe w przypadku większej liczby kanałów) do pomiaru ciśnienia przy
pomocy pozostałych głowic,
b) zakres ciśnienia mierzonego przy pomocy głowic jonizacyjnych Bayarda-Alperta:
co najmniej od 2x10-11 mbar do 1x10-3 mbar,
c) zdolność rozdzielcza odczytu wyniku pomiaru: co najmniej 2 cyfry znaczące +
zakres; preferowane rozwiązanie: mantysa co najmniej 2. cyfrowa i wykładnik,
d) zaimplementowane współczynniki korekcyjne gazu głowicy jonizacyjnej dla
większości podstawowych gazów z dodatkową możliwością indywidualnego
ustawienia przez użytkownika,
e) możliwość pracy z głowicami jonizacyjnymi Bayarda-Alperta co najmniej w
następujących warunkach: z prądem emisji 1 mA, 4 mA lub 10 mA, przy napięciu
katody 30 V i przy napięciu anody ( siatki) 180 V,
f) możliwość odgazowywania głowic Bayarda-Alperta z ograniczeniem mocy i czasu
odgazowywania,
g) zabezpieczenie głowic jonizacyjnych Bayarda-Alperta przed pracą przy
nadmiernie wysokim ciśnieniu,
h) możliwość ustawienia co najmniej trzech progowych sygnałów wyzwalających z
funkcją histerezy oraz opcjami „poniżej” i „powyżej”; preferowane będzie
rozwiązanie umożliwiające ustawienie większej liczby progowych sygnałów
i) co najmniej interfejs RS-485.
1) Głowica jonizacyjna Bayarda-Alperta umożliwiająca pomiar ciśnienia w
zakresie co najmniej od 2x10-11 mbar do 1x10-3 mbar.
2) Głowica Piraniego w wykonaniu UHV.
3) Kable łączące miernik próżni z głowicami pomiarowymi o długościach, które
zostaną uzgodnione z zamawiającym podczas realizacji projektu.
 Miernik pomiaru ultra wysokiej próżni o następujących parametrach:
a) zakres ciśnienia mierzonego przy pomocy głowic z zimną katodą : co najmniej
od 1x10-9 mbar do 1x10-3 mbar,
b) zdolność rozdzielcza odczytu wyniku pomiaru: co najmniej 2 cyfry znaczące +
zakres; preferowane rozwiązanie: mantysa co najmniej 2. cyfrowa i wykładnik,
c) możliwość ustawienia co najmniej trzech progowych sygnałów wyzwalających z
funkcją histerezy oraz opcjami „poniżej” i „powyżej”; preferowane będzie
rozwiązanie umożliwiające ustawienie większej liczby progowych sygnałów.
d) co najmniej interfejs RS-485.
1) Głowica jonizacyjna z zimną katodą umożliwiająca pomiar ciśnienia w
zakresie co najmniej od 1x10-9 mbar do 1x10-3 mbar.
2) Kabel łączący miernik próżni z głowicą pomiarową o długości, która zostanie
uzgodniona z zamawiającym podczas realizacji projektu.
 Miernik pomiaru próżni o następujących parametrach:
a) zakres ciśnienia mierzonego przy pomocy głowic typu Baratron: od 1x10 -1 mbar
do 1x10-5 mbar,
b) zdolność rozdzielcza odczytu wyniku pomiaru: co najmniej 2 cyfry znaczące +
zakres; preferowane rozwiązanie: mantysa co najmniej 2 cyfrowa i wykładnik,
c) możliwość ustawienia co najmniej trzech progowych sygnałów wyzwalających z
funkcją histerezy oraz opcjami „poniżej” i „powyżej”; preferowane będzie
rozwiązanie umożliwiające ustawienie większej liczby progowych sygnałów,
d) co najmniej interfejs RS-485.
1) Głowica typu Baratron umożliwiająca pomiar ciśnienia w zakresie od 1x10-1
mbar do 1x10-5 mbar.
2) Kabel łączący miernik próżni z głowicą pomiarową o długości, która zostanie
uzgodniona z zamawiającym podczas realizacji projektu.
1.1. Komora – 1 sztuka
Cylindryczna komora o średnicy wewnętrznej nie mniejszej niż 400mm, wykonana ze stali
nierdzewnej (w standardzie UHV) z kriopanelem chłodzonym ciekłym azotem. Komora,
dostosowana do posiadanego wyposażenia i umożliwiająca późniejszą rozbudowę.
Komora wyposażona w porty w standardzie CF do podłączenia komponentów próżniowych.
Porty, których końcowe rozmiary i rozmieszczenie zostanie uzgodniona z
Zamawiającym:
 Port DN100CF z obrotowym kołnierzem do podłączenia manipulatora,
 Port DN35CF z obrotowym kołnierzem do podłączenia działa jonowego,
 Port DN160CF do podłączenia pompy turbomolekularnej wraz z zaworem
szybrowym,
 Port DN63CF do podłączenia przesłony (shuttera),
 Port DN63CF z obrotowym kołnierzem do podłączenia manipulatora z kwarcową
głowicą pomiarową wraz z przesłoną,
 Port DN63CF z oknem obserwacyjnym z przesłoną do obserwacji transferu podłoża ze
śluzy do manipulatora w komorze wzrostu,
 Port DN63CF do podłączenia śluzy,
 2 porty DN100CF do podłączenia RHEED-u lub elipsometru , ustawione w jednej
płaszczyźnie utworzonej przez promień padający i odbity od podłoża na takiej
wysokości aby odległość od podłoża do powierzchni rozpylanych materiałów w dziale
elektronowym nie była mniejsza od 40cm.
 2 porty DN63CF wraz z okienkami z przysłonami. Jedno do obserwacji stopionego
wsadu w dziale elektronowym. Na tym okienku powinien być zamontowany filtr
szary. Drugie do obserwacji podłoża. Do okienek tych powinny być podłączone
minimum 2 kamery. Wykonawca dostarczy monitor LED podłączony do tych kamer.
 4 Porty DN16CF co 90 stopni w tym jeden do podłączenia głowicy Baratronu.






Port DN40CF do podłączenia sondy próżniowej UHV.
Port DN40 CF do podłączenia RGA.
Port DN160CF do podłączenia pompy jonowej wraz z zaworem szybrowym.
Port DN200CF do podłączenia działa elektronowego.
Port DN150CF do wymiany wsadów w dziale elektronowym.
Port DN63CF do zamontowania przesłony (shuttera) działa elektronowego.
Szczegółowe, ostateczne położenie portów powinno być ustalone z Zamawiającym.
Ciśnienie końcowe w zmontowanej komorze pompowanej pompą o prędkości pompowania
600 l/ s dla azotu - nie większe niż 1x10-10 mbar.
1.2. Kołnierz górny – 1 sztuka
Pokrywa wykonana ze stali nierdzewnej w standardzie nie mniejszym niż DN400CF
z kołnierzami :
 Port DN100CF do podłączenia manipulatora podłoża,
 8 portów DN16CF,
 2 porty DN40CF z okienkami z przesłonami.
1.3. Kołnierz dolny- 1 sztuka
Pokrywa wykonana ze stali nierdzewnej w standardzie nie mniejszym niż DN400CF
wyposażona w porty w standardzie DN63CF:
 Do zamocowania minimum 3 magnetronów lub łódek do naparowywania,
 Kołnierza DN63CF lub DN40CF w osi komory (preferowany jest kołnierz
DN63CF).
Wszystkie okienka powinny być wyposażone w zamocowane od wewnątrz,
wyjmowane płytki szklane, które po zapyleniu mogą być oczyszczane w kwasach.
1.4. Miernik grubości napylonej warstwy dla monitorowania procesu rozpylania z
magnetronów planarnych - dostawa wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014:
Wymagania dotyczące miernika grubości napylanych warstw i szybkości ich osadzania:
1. Kwarcowy miernik grubości i szybkości osadzania warstw umożliwiający pomiar
prędkości osadzania warstw na wysokości podłoża - 1 sztuka.
2. Parametry miernika:
a) możliwość dołączenia co najmniej dwóch czujników pomiarowych,
b) zakres częstotliwości czujników pomiarowych: co najmniej od 4 MHz do 6 MHz,
c) ilość zapamiętywanych warstw: co najmniej 90,
d) interfejs umożliwiający dołączenie do komputera,
e) możliwość sterowania przesłoną głowicy pomiarowej,
f) możliwość ustawienia progowych sygnałów sterujących,
g) stabilność częstotliwości odniesienia: nie gorsza niż ± 0,0003%,
h) błąd częstotliwości odniesienia: nie większy niż ± 0,003%,
i) zdolność rozdzielcza częstotliwości: nie gorsza niż ±0,03Hz przy 10 zliczeniach/s,
j) zdolność rozdzielcza pomiaru szybkości osadzania: nie gorsza niż 0,6 Å/s,
k) zdolność rozdzielcza pomiaru grubości: nie gorsza niż 0,15 Å,
l) zakres mierzonych grubości: co najmniej od 0 do 90 kÅ.
3. Kwarcowa głowica pomiarowa wraz z przesłoną – 1 szt. spełniająca następujące
wymagania:
a)
b)
c)
d)
dostosowana do pracy w UHV,
chłodzona wodą,
przesłona pneumatyczna sterowana z miernika oraz z konsoli sterowniczej,
Zapasowe czujniki kwarcowe do głowicy pomiarowej - 5 szt.
1.5. Manipulator komory wzrostu chłodzony wodą lub ciekłym azotem – 1 sztuka
Manipulator wyposażony w dwa moduły przesuwne oraz obrót ciągły wokół osi Z z
regulowaną prędkością obrotową.
 Moduły przesuwne wzdłuż osi Z:
 Pierwszy - do przemieszczania próbki, o przesunięciu co najmniej 75mm,
rozwiązanie preferowane:100 mm .
 Drugi - do podnoszenia ekranu chłodzonego wodą lub ciekłym azotem w
czasie transferu nośnika próbki ze śluzy do komory wzrostu - do stacji
odbiorczej na manipulatorze podłoża.
 Moduł obrotowy: zapewnia ciągły obrót próbki z maksymalną prędkością co
najmniej 20 obr/min oraz możliwość dokładnego pozycjonowania w co najmniej 4
położeniach, na wyposażeniu kontroler wraz z okablowaniem.
 Stacja odbiorcza nośników dla nośników próbek, na których można umocować
podłoża o średnicy 50,8 mm (2”) lub kilka podłóż o mniejszych rozmiarach,
wyposażona w komplet przejść mechanicznych i elektrycznych (termopary typu K
na złączu typu LEMO, możliwość pomiaru potencjału próbki), dostosowana do
grzania podłoża co najmniej do 800ºC w atmosferze tlenu przy ciśnieniu 1,33 mbar
oraz chłodzenia podłoża do temperatury ciekłego azotu.
 Ekran chłodzony wodą chroniący komorę przed nagrzewaniem, umieszczony na
module przesuwnym w osi Z.
 Nośnik próbek pozwalający na zamocowanie na okrągłym stoliku jednego podłoża
o średnicy 50,8 mm (2”) lub kilku kwadratowych o wymiarach 10x10 mm.
Stolik jest jednorodnie grzany na całej powierzchni, dwie termopary typu K. Jedna
umocowana jest na spodniej stronie stolika przy uzwojeniu grzejnym tak aby nie
była narażona na osadzanie napylanych materiałów, druga mierzy temperaturę
wymiennych płytek, do których mocowane są łapkami podłoża.
Ma być dostarczonych 2 nośniki z grzałkami i 2 nośniki chłodzone i 20
wymiennych płytek o grubościach 0.5mm (10 sztuk) i 0.25mm (10 sztuk).
Nośniki próbek powinien być dostosowany do długoczasowej pracy w
temperaturze 800 ºC lub -200 ºC.
 Manipulator powinien mieć własną przesłonę podłoża, przemieszczającą się w
pionie razem z podłożem przy zachowaniu stałej odległości przesłony od podłoża.
Przesłona zamontowana na przyjściu obrotowym sterowanym pneumatycznie.
Sterowanie ręczne z konsoli przełącznikiem.
W PRZYPADKU GDY WYKONAWCA WYBIERZE KONCEPCJĘ DWÓCH
KOMÓR WZROSTU MOCOWANIE STACJI ODBIORCZEJ NOŚNIKA W
KOMORZE DO ROZPYLANIA UMIESZCZONE BĘDZIE NIE W OSI
PIONOWEJ MANIPULATORA. Komora i śluza oraz system transferu próbek
powinny w przyszłości pozwolić na rozbudowę układu o komorę
dystrybucyjną. Obok stacji odbiorczej zamocowana będzie głowica kwarcowego
miernika grubości. Szczegóły konstrukcji muszą być
uzgodnione z
Zamawiającym.
Nie dopuszcza się wykonania manipulatora z pompowaniem różnicowym.
1.6. Regulator temperatury z blokiem mocy - dostawa wraz z wyposażeniem do 12
grudnia 2014:
1) Regulator temperatury z blokiem mocy do grzania podłoża i stabilizacji jego
temperatury - 1 sztuka:
Stabilizacja temperatury podłoża co najmniej w zakresie do 800 ˚C. Grzanie
podłoża przy pomocy bloku mocy dostarczającego napięcie i prąd DC.
Dopuszcza się zarówno rozwiązania, w których blok mocy pracuje jako źródło
napięciowe, jak i rozwiązania, w których blok mocy pracuje jako źródło prądowe.
2) Parametry bloku mocy:
a) pełna izolacja galwaniczna spełniająca co najmniej normę EN 60950 między
wyjściem bloku mocy a jego wejściem znajdującym się na potencjale
zbliżonym do potencjału sieci zasilającej 230 Vac,
b) pełna izolacja galwaniczna między wyjściem bloku mocy a obudową (ziemią);
dopuszczalne są w tym przypadku jedynie niewielkie pojemności między tym
wyjściem a obudową (ziemią),
c) odporny na zwarcia i rozwarcia na wyjściu,
d) dostosowany do obciążeń rezystancyjnych i pojemnościowych,
e) możliwość ustawiania zarówno przy pomocy elementów znajdujących się na
płycie czołowej, jak i zdalnie:
 wartości napięcia wyjściowego w przypadku bloków mocy pracujących
jako źródła napięciowe,
 wartości prądu wyjściowego w przypadku bloków mocy pracujących jako
źródła prądowe,
f) możliwość ustawiania zarówno przy pomocy elementów znajdujących się na
płycie czołowej, jak i zdalnie ograniczenia maksymalnej wartości co najmniej
jednej z następujących wielkości: prądu wyjściowego lub napięcia
wyjściowego, lub mocy wyjściowej, przy czym dopuszcza się rozwiązanie, w
którym przy pomocy elementów płyty czołowej będzie ustawiane ograniczenie
innej wielkości niż zdalnie (np. ograniczenie prądu wyjściowego ustawiane
przy pomocy elementów znajdujących się na płycie czołowej, a zdalnie
ograniczenie napięcia wyjściowego),
g) możliwość odczytu co najmniej na płycie czołowej rzeczywistej wartości
napięcia wyjściowego i prądu wyjściowego,
h) możliwość wyłączenia automatycznej regulacji temperatury i ręcznego
ustawiania przy pomocy elementów znajdujących się na płycie czołowej:
 wartości napięcia wyjściowego w przypadku bloków mocy pracujących
jako źródła napięciowe
 wartości prądu wyjściowego w przypadku bloków mocy pracujących jako
źródła prądowe
i) zdolność rozdzielcza pomiaru napięcia i prądu wyjściowego: nie gorsza niż 3cyfrowa,
j) dokładność pomiaru wartości DC napięcia i prądu wyjściowego: nie gorsza niż
±0,5% wartości zmierzonej ± 3 LSD (LSD – najmniej znacząca cyfra),
k) dokładność ustawienia wartości granicznej, o której mowa w pkt f): nie gorsza
niż ±2% wartości ustawionej ± 0,8%FS (FS – maksymalna wartość graniczna),
l) stabilność wartości DC napięcia wyjściowego w ciągu 8 h, w temperaturze
otoczenia 25 ºC ± 1 ºC, przy napięciu zasilania sieci energetycznej
230Vac/50Hz i stałym obciążeniu: nie gorsza niż ± 6x10-4 wartości ustawionej
±20 mVDC,
m) stabilność wartości DC prądu wyjściowego w ciągu 8 h, w temperaturze
otoczenia 25 ºC ± 1 ºC, przy napięciu zasilania sieci energetycznej
230Vac/50Hz i stałym obciążeniu: nie gorsza niż ±1x10-3 wartości ustawionej
±25 mADC,
n) poziom składowej zmiennej napięcia na wyjściu nie większy niż 120 mVp-p,
o) poziom składowej zmiennej prądu na wyjściu: nie większy niż 120 mAp-p.
3) Regulator temperatury PID dostosowany do pomiaru i stabilizacji temperatury w
oparciu co najmniej o termopary S, K, C o następujących parametrach:
a) zakres pomiaru temperatury:
 dla termopary S: co najmniej od 0 ºC do 1760 ºC
 dla termopary K: co najmniej od -200 ºC do 1200 ºC
 dla termopary C: co najmniej od 0 ºC do 2200 ºC
b) możliwość odczytu wyniku pomiaru zarówno na płycie czołowej, jak i zdalnie
(np. przy pomocy komputera) z rozdzielczością nie gorszą niż 0,1ºC
c) błąd pomiaru napięcia wejściowego: nie większy niż ±0,25% wartości
zmierzonej ±12 μV przy zmianach temperatury otoczenia od 17 ºC do 25 ºC
d) wbudowana automatyczna kompensacja zimnych końców termopar o błędzie
kompensacji nie większym niż ±0,1ºC przy zmianie temperatury otoczenia o
1ºC,
e) błąd linearyzacji charakterystyki termopary: nie większy niż ±0,2% wartości
zmierzonej,
f) powtarzalność wyników pomiaru dla temperatury większej od 100 ºC przy
zmianach temperatury otoczenia w zakresie 22ºC ±2ºC: nie gorsza niż ±0,2%
wartości zmierzonej ±0,2ºC
g) powtarzalność wartości temperatury podłoża większej od 100 ºC uzyskiwana
w połączeniu z w/w blokiem mocy przy zmianach temperatury otoczenia w
zakresie 22ºC ±2ºC: nie gorsza niż ±0,25% wartości zmierzonej ±0,3ºC
h) rezystancja wejściowa: nie mniejsza niż 1 MΩ
i) tłumienie sygnału wspólnego na wejściu dla częstotliwości 50Hz: nie mniejsze
niż 130 dB
j) tłumienie wejściowego sygnału szeregowego dla częstotliwości 50Hz: nie
mniejsze niż 60 dB
k) możliwość wyłączenia automatycznej kompensacji zimnych końców termopar,
l) możliwość pomiaru napięcia wejściowego w zakresie co najmniej od - 8mV do
+ 60 mV i odczytu jego wartości zarówno na płycie czołowej, jak i zdalnie (np.
przy pomocy komputera)
m) możliwość programowania szybkości narastania i szybkości opadania
temperatury regulowanego obiektu (ramp heating),
n) możliwość programowania parametrów regulatora temperatury zarówno
ręcznie przy pomocy elementów płyty czołowej, jak i zdalnie,
o) pełna izolacja galwaniczna spełniająca co najmniej normę EN 60950 między
wejściem termopary a siecią energetyczną 230 Vac,
p) pełna izolacja galwaniczna między wejściem termopary a obudową (ziemią);
dopuszczalna jest jedynie niewielka pojemność między tym wejściem a
obudową (ziemią),
q) pełna izolacja galwaniczna między wejściem termopary a wyjściem bloku
mocy,
r) wyposażony co najmniej w interfejs RS-485.
4) Pełna izolacja galwaniczna spełniająca co najmniej normę EN 60950
między torem interfejsu a:
a) siecią energetyczną 230 Vac
b) wejściem termopary
c) wyjściem bloku mocy.
5) Dopuszcza się następujące rozwiązania:
a) regulator temperatury i blok mocy stanowią jeden moduł (czyli jest to regulator
temperatury wyposażony w blok mocy wyjściowej)
b) rozwiązanie preferowane: regulator temperatury i blok mocy stanowią
oddzielne moduły, blok mocy jest wyposażony w wejście umożliwiające
sterowanie napięciem wyjściowym przy pomocy sygnału analogowego od 0 do
10V lub ewentualnie od 0 do 5 V, a regulator temperatury jest wyposażony w
wyjście analogowe 0 do 10 V lub 0 do 5 V umożliwiające sterowanie blokiem
mocy.
Wykonawca dostarczy zainstalowane na komputerze oprogramowanie wraz z niezbędnym
okablowaniem pozwalające na zdalne ustawianie parametrów regulatorów PID.
1.7. Śluza/magazyn (komora załadowcza-śluza) - 1 sztuka
Porty, których końcowe rozmiary i rozmieszczenie zostanie uzgodniona z
Zamawiającym:
Komora załadowcza służąca do ładowania, wykonana ze stali nierdzewnej (w
standardzie UHV) z następującymi kołnierzami:
 Kołnierz z uszczelnieniem vitonowym służący do załadowywania próbek,
 Kołnierz DN100CF do podłączenia zaworu płytowego i pompy turbomolekularnej
 Kołnierz CF do podłączenia układu transferowego,
 Kołnierz CF do zainstalowania okna obserwacyjnego,
 Kołnierz DN40CF do podłączenia głowicy próżniomierza UHV
 Kołnierz DN16CF do podłączenia głowicy próżniomierza próżni wstępnej
 Kołnierz DN16CF do podłączenia zaworu zapowietrzającego z zaworem kątowym
UHV
 Kołnierz DN16CF do podłączenia linii gazowej
 Kołnierz DN16CF do podłączenia przepustu wysokonapięciowego
 Kołnierz CF do podłączenia lampy grzejnej
 Kołnierz DN63CF do podłączenia zaworu płytowego i komory wzrostu
Ciśnienie końcowe w zmontowanej komorze pompowanej pompą o prędkości
pompowania 300 l/ s dla azotu - nie większe niż 1x10-9 mbar. Komora magazynu powinna
być przystosowana do rozbudowy i pracy z komorą dystrybucyjną umożliwiającą
przenoszenie próbek do podłączonych do niej układów charakteryzacji próbek w
warunkach UHV.
Wyposażenie komory załadowczej:
 Transfer liniowy do transferu próbki między śluzą a komorą wzrostu - 1sztuka.
 Lampa grzejna pozwalająca na odgazowywanie próbek - 1sztuka.
 Magazyn nośników na co najmniej 4 nośniki.
1.8. Stelaż do zamocowania komory wzrostu oraz komory magazynu wraz z namiotem do
wygrzewania systemu próżniowego - 1 sztuka
Stelaż pozwalający na podjechanie pod komorę wzrostu wózkiem z podnośnikiem w celu
demontażu kołnierza dolnego komory wzrostu, opuszczenie kołnierza dolnego i
wyjechanie poza obręb stelaża. W stelażu będzie zamontowana nagrzewnica pozwalająca
na uzyskanie pod namiotem stabilnej temperatury 150oC. W oddzielnej szafie
aparaturowej powinny być umieszczone, dostarczone mierniki próżni oraz kwarcowy
miernik grubości oraz sterownik wygrzewania systemu.
1.9. System pompowania - dostawa wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014:
Wykonawca wykona system pompowania przy pomocy 2 pomp turbomolekularnych z 2
bezolejowymi pompami próżni wstępnej oraz 1 pompy jonowej.
Wykonawca dostarczy i zamontuje niezbędne giętkie metalowe przewody próżniowe łączące
pompę próżni wstępnej z pompą turbomolekularną i śluzą oraz przewody próżniowe o
średnicy wewnętrznej co najmniej 63mm łączące pompę turbomolekularną ze śluzą.
Wykonawca dostarczy:
 pompę turbomolekularną z zaworem płytowym DN160CF UHV o prędkości
pompowania azotu 600l/s do komory wzrostu wraz z zasilaczem,
 pompę turbomolekularną z zaworem płytowym DN160CF UHV o prędkości
pompowania azotu 300l/s do śluzy wraz z zasilaczem,
 pompę jonową z zaworem płytowym DN160CF UHV o prędkości pompowania 400l/s
z zasilaczem wraz z pompą TSP z kriopanelem i z zasilaczem,
 2 pompy wstępne bezolejowe o próżni końcowej nie większej niż 2x10-2 mbar,
 niezbędne próżniowe zawory kątowe
i systemem zapowietrzania pompy
turbomolekularnej czystym azotem. Zawory między pompami turbomolekularnymi a
pompami wstępnymi powinny się automatycznie zamykać przy zaniku napięcia.
Obsługa systemu- ręczna.
Zamawiający zatwierdzi projekt systemu pompowania przed rozpoczęciem montażu.
1.10.
Wózek z podnośnikiem- 1 sztuka
Do demontażu i transportu kołnierza dolnego komory wzrostu. Wózek umożliwia
demontaż i opuszczenie kołnierza tak aby można go było wysunąć poza obręb komory.
1.11.
Chłodziarka o wydajności i mocy dopasowanej do współpracy z działem
electronowym i manipulatorem podłoża jednocześnie
 Temperatura wody chłodzącej 15 ºC przy temperaturze otoczenia 32 ºC,
 Zasilanie 230V/50Hz
 Maksymalny pobór prądu schładzacza: nie więcej niż 10A.
 Chłodzenie musi być tak dobrane aby zapewnić prawidłowe działanie całego
systemu.
Wykonawca wykona niezależne obwody chłodzenia elementów komory wzrostu, z
czujnikami przepływu włączającymi alarmy przy zatrzymaniu przepływu. Dostosuje
wielkości przepływu i ciśnienia dla każdej gałęzi układu chłodzenia.
Zadanie A – prawo opcji
Spektrometr RGA:
 zakres pomiarowy od 1 do co najmniej 200 amu,
 rozdzielczość lepsze niż 0,5 amu,
 interfejs RS-232 kabel i oprogramowanie zainstalowane na dostarczonym laptopie,
 Electron multiplier oraz Built-in power module for Ac line operation.
- dostawa wraz z wyposażeniem do 12 grudnia 2014.
Zamawiający skorzysta z prawa opcji przy podpisywaniu umowy.
Warunki odbioru całego systemu:
Odbiór odbędzie się w laboratorium Zamawiającego, który przygotuje linie gazowe Ar, O2 ,
oraz N2 o czystości co najmniej 5N.
Warunkiem odbioru jest :
 Uzyskanie ciśnienia końcowego w komorze (komorach) wzrostu 1x10-10 mbar,
 Uzyskanie ciśnienia końcowego w komorze załadowczej 1x10-9 mbar,
 Uzyskanie stabilności temperatury na podłożu przy grzaniu i chłodzeniu zgodnie z
wymaganiami,
 Wykonanie wspólnie z wykonawcą procesu osadzania warstwy metalicznej metodą
odparowywania w dziale elektronowym w testowym procesie lift-off,
 Wykonanie wspólnie z wykonawcą procesu osadzania warstwy metalicznej metodą
rozpylania z wykorzystaniem magnetronu planarnego w testowym procesie lift-off.
§2. Wymagany termin wykonania zamówienia:
Wymaga się, aby ostateczna realizacja przedmiotu zamówienia, nastąpiła w terminie nie
dłuższym niż 30 października 2015 r., przy czym dla części elementów składowych linii
termin dostawy to 12 grudnia 2014 r.
§3. Warunki udziału w postępowaniu, opis sposobu dokonywania oceny
spełniania tych warunków oraz wykaz oświadczeń i dokumentów, jakie
maja dostarczyć wykonawcy w celu potwierdzenia spełniania tych
warunków:
1
2
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki z Art.
22 ust. 1 Ustawy PZP, dotyczące:
1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności,
jeżeli przepisy prawa nakładają obowiązek ich posiadania;
2) posiadania wiedzy i doświadczenia;
3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi
do wykonania zamówienia;
4) sytuacji ekonomicznej i finansowej,
i nie podlegają wykluczeniu z postępowania z trybie Art. 24 ust. 1.
Oświadczenie o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu zgodnie z Art. 22 ust. 1
Ustawy PZP.
Oświadczenie o braku podstaw do wykluczenia z postępowania zgodnie z Art. 24 ust. 1
Ustawy PZP.
Informacja o przynależności lub braku przynależności do grupy kapitałowej wraz z
listą podmiotów należących do tej grupy kapitałowej.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą się dostawą
min. 3 urządzeń wykonanych w technice UHV do osadzania cienkich warstw (1nm -
3
4
5
6
7
8
9
1μm).
Wykaz wykonanych, a w przypadku świadczeń okresowych lub ciągłych również
wykonywanych, głównych dostaw, w okresie ostatnich trzech lat przed upływem
terminu składania ofert, a jeżeli okres prowadzenia działalności jest krótszy – w tym
okresie, wraz z podaniem ich wartości, przedmiotu, dat wykonania i podmiotów, na
rzecz których dostawy zostały wykonane, oraz załączeniem dowodów, czy zostały
wykonane lub są wykonywane należycie.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy posiadają ubezpieczenie
od odpowiedzialności cywilnej w zakresie prowadzonej działalności związanej z
przedmiotem zamówienia na kwotę nie mniejsza niż 1.000.000,00 PLN.
Opłacona polisa, a w przypadku jej braku, inny dokument potwierdzający, że
wykonawca jest ubezpieczony od odpowiedzialności cywilnej w zakresie prowadzonej
działalności związanej z przedmiotem zamówienia.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do
wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 2.
Aktualny odpis z właściwego rejestru, jeżeli odrębne przepisy wymagają wpisu do
rejestru, w celu wykazania braku podstaw do wykluczenia w oparciu o art. 24 ust. 1
pkt. 2 ustawy, wystawiony nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu
składania ofert, a w stosunku do osób fizycznych oświadczenia w zakresie art. 24 ust. 1
pkt. 2 Ustawy.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy nie zalegają z
opłacaniem podatków.
Aktualne zaświadczenie właściwego naczelnika urzędu skarbowego potwierdzające, że
wykonawca nie zalega z opłacaniem podatków, lub zaświadczenie, że uzyskał
przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub rozłożenie na raty zaległych płatności
lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu — wystawione nie
wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania ofert.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy nie zalegają z
opłacaniem składek na ubezpieczenia zdrowotne i społeczne.
Aktualne zaświadczenie właściwego oddziału ZUS lub KRUS potwierdzającego, że
wykonawca nie zalega z opłacaniem składek na ubezpieczenia zdrowotne i społeczne,
lub potwierdzenia że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub
rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji
właściwego organu — wystawione nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem
terminu składania ofert.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do
wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 4-8.
Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24
ust. 1 pkt. 4-8 ustawy, wystawiona nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu
składania ofert.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do
wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 9.
Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24
ust. 1 pkt. 9 ustawy, wystawiona nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu
składania ofert.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do
wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 10 i 11.
Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24
ust. 1 pkt. 10 i 11 ustawy, wystawionej nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem
terminu albo składania ofert.
Jeżeli, w przypadku wykonawcy mającego siedzibę na terytorium Rzeczypospolitej Polskiej,
osoby, o których mowa w art. 24 ust. 1 pkt. 5–8, 10 i 11 ustawy, mają miejsce zamieszkania
poza terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, wykonawca składa w odniesieniu do nich
zaświadczenie właściwego organu sądowego albo administracyjnego miejsca zamieszkania,
dotyczące niekaralności tych osób w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 5–8, 10 i 11
ustawy, wystawione nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania
wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia albo
składania ofert, z tym że w przypadku gdy w miejscu zamieszkania tych osób nie wydaje się
takich zaświadczeń – zastępuje się je dokumentem zawierającym oświadczenie złożone przed
właściwym organem sądowym, administracyjnym albo organem samorządu zawodowego lub
gospodarczego miejsca zamieszkania tych osób lub przed notariuszem.
Jeżeli wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej
Polskiej, zamiast dokumentów, o których mowa w § 3.4 – 3.9:
1) pkt. 4-6 i 8 - składa dokument lub dokumenty wystawione w kraju, w którym ma
siedzibę lub miejsce zamieszkania, potwierdzające odpowiednio, że:
a) nie otwarto jego likwidacji ani nie ogłoszono upadłości,
b) nie zalega z uiszczaniem podatków, opłat, składek na ubezpieczenie społeczne
i zdrowotne albo że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub
rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania
decyzji właściwego organu,
c) nie orzeczono wobec niego zakazu ubiegania się o zamówienie;
2) pkt. 7 i 9 - składa zaświadczenie właściwego organu sądowego lub administracyjnego
miejsca zamieszkania albo zamieszkania osoby, której dokumenty dotyczą, w zakresie
określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 4-8, 10 i 11 ustawy.
Dokumenty, o których mowa powyżej pkt. 1 lit. a i c, oraz pkt. 2, powinny być wystawione
nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania wniosków o dopuszczenie do
udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia albo składania ofert. Dokument, o którym
mowa w pkt. 1 lit. b, powinien być wystawiony nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem
terminu składania wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie
zamówienia albo składania ofert.
Jeżeli w kraju miejsca zamieszkania osoby lub w kraju, w którym wykonawca ma siedzibę
lub miejsce zamieszkania, nie wydaje się dokumentów, o których mowa powyżej zastępuje
się je dokumentem zawierającym oświadczenie, w którym określa się także osoby
uprawnione do reprezentacji wykonawcy, złożone przed właściwym organem sądowym,
administracyjnym albo organem samorządu zawodowego lub gospodarczego odpowiednio
kraju miejsca zamieszkania osoby lub kraju, w którym wykonawca ma siedzibę lub miejsce
zamieszkania, lub przed notariuszem.
Wykonawca może polegać na wiedzy i doświadczeniu, potencjale technicznym, osobach
zdolnych do wykonania zamówienia lub zdolnościach finansowych innych podmiotów,
niezależnie od charakteru prawnego łączących go z nimi stosunków.
W przypadku składania oferty przez Wykonawców występujących wspólnie, dokumenty §3
pkt. 4-9 muszą być złożone przez każdego Wykonawcę oddzielnie, warunek §3 pkt. 2-4 musi
spełnić co najmniej jeden Wykonawca, a oświadczenia §3 pkt. 1 składa i podpisuje w imieniu
wszystkich Wykonawców Pełnomocnik, wpisując w miejscu przeznaczonym na podanie
nazwy i adresu Wykonawcy, nazwy i adresy wszystkich Wykonawców składających ofertę
wspólną i załącza pełnomocnictwo do ich reprezentowania.
§4. Informacje o sposobie porozumiewania się zamawiającego z
wykonawcami, a także wskazanie osób uprawnionych do
porozumiewania się z wykonawcami:
1
2
Zamawiający będzie kontaktował się z wykonawcami drogą faksu lub na piśmie.
Osoby przewidziane do kontaktu z wykonawcami:
 Maciej Zajączkowski - fax: (+48 22) 847 00 82.
§5. Wymagania dotyczące wadium:
1
2
3
5
Zamawiający ustala kwotę wadium na sumę: 10.000,00 PLN.
Zgodnie z Art. 45 ust. 6 wadium może być wnoszone w jednej lub kilku następujących
formach:
 pieniądzu;
 poręczeniach bankowych lub poręczeniach spółdzielczej kasy oszczędnościowokredytowej, z tym że poręczenie kasy jest zawsze poręczeniem pieniężnym;
 gwarancjach bankowych;
 gwarancjach ubezpieczeniowych;
 poręczeniach udzielanych przez podmioty, o których mowa w Art. 6b ust. 5 pkt.
2 ustawy z dnia 9 listopada 2000r. o utworzeniu Polskiej Agencji Rozwoju
Przedsiębiorczości (Dz. U. Nr 109, poz. 1158, z późn. zm.).
Zamawiający ustala kwotę zabezpieczenia należytego wykonania umowy na 10%
wartości zamówienia.
Konto bankowe w przypadku wpłaty wadium w PLN:
BPH SA 77 1060 0076 0000 3210 0014 4494
§6. Termin związania ofertą:
1
Zamawiający ustala termin związania ofertą na okres 60 dni od daty terminu składania
ofert.
§7. Opis sposobu przygotowania oferty:
1
2
3
4
5
Oferta powinna być sporządzona w języku polskim z zachowaniem formy pisemnej,
trwałą, czytelną techniką.
Każdy wykonawca może złożyć tylko jedną ofertę. Wykonawca, który przedłożył więcej
niż jedną ofertę, zostanie wyłączony z postępowania.
Nie dopuszcza się składania ofert częściowych.
Oferta powinna zawierać:
 specyfikację techniczną urządzenia/oprogramowania potwierdzającą, że spełnia
wymagania techniczne wymienione w § 1;
 termin dostawy;
 warunki gwarancji;
 cenę.
Kserokopia dowodu uiszczenia wadium powinna być załączona do oferty; oryginał
powinien być w odrębnej kopercie.
6
7
Wszystkie zapisane strony oferty powinny być ponumerowane, podpisane i zszyte.
Oferent powinien zamieścić ofertę w kopercie z adresem i nazwą Zamawiającego oraz
Oferenta, a także napisem:
"Postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego w trybie przetargu
nieograniczonego na uniwersalną linię technologiczną [DZPIE/019/2014]"
§8. Miejsce oraz termin składania i otwarcia ofert:
1
2
3
Ofertę należy złożyć w siedzibie Zamawiającego, budynek I pok. Nr. 101 (kancelaria
ogólna) w godzinach 9.00 ÷ 15.00 w dni robocze, do dnia 27 października 2014 r., do
godz. 12:00.
W przypadku wysłania oferty pocztą (lub pocztą kurierską) za termin złożenia przyjmuje
się termin otrzymania oferty, a nie datę stempla pocztowego (nadania).
Otwarcie ofert odbędzie się w ostatnim dniu ich składania, w siedzibie Zamawiającego,
budynek I pok. 107 o godzinie 13:00.
§9. Opis sposobu obliczenia ceny:
1
2
Cena wyrażona w walucie polskiej PLN lub EUR.
Cena powinna uwzględniać:
 koszt urządzeń, oprogramowania, instalacji, gwarancji i szkolenia,
 koszty opakowania,
 koszty ubezpieczenia i transportu towaru do IF PAN.
§10. Opis kryteriów, którymi zamawiający będzie się kierował przy
wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia
publicznego:
1
3
3
Cena
100 pkt.
Przy przeliczaniu punktów za cenę, Zamawiający posłuży się wzorem:
C min
 100
Cbad
gdzie:
Cmin – cena najtańszej oferty;
Cbad – cena oferty badanej.
Oferta z najwyższym bilansem punktowym, zostanie uznana za najkorzystniejszą.
§11. Informacje o formalnościach, jakie powinny zostać dopełnione po
wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia
publicznego:
1
Wykonawca, który wygrał postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego,
powinien podpisać umowę w ciągu 7 dni od daty zakończenia terminu na wnoszenie
odwołań, na warunkach określonych w niniejszej specyfikacji istotnych warunków
zamówienia, jednak nie później niż termin związania ofertą.
§12. Istotne dla stron postanowienia, które zostaną wprowadzone do treści
zawieranej umowy w sprawie zamówienia publicznego:
1
2
3
4
5
6
Warunki dostawy: Instytut Fizyki PAN.
Warunki płatności: 100% w ciągu 21 dni od daty odbiorów protokolarnych
poszczególnych elementów składowych, na podstawie faktur.
W przypadku wystąpienia zwłoki w wykonaniu przedmiotu umowy, Wykonawca
zobowiązuje się zapłacić na rzecz Zamawiającego kary umowne w wysokości 0,1%
wartość umowy za każdy dzień zwłoki, począwszy od pierwszego dnia następującego po
umownym terminie wykonania. Suma kar umownych nie może przekroczyć 10%
wartości umowy.
Warunki gwarancji: rozpoczęcie okresu gwarancji zaczyna się od daty uruchomienia. W
przypadku wystąpienia awarii w okresie gwarancyjnym czas obowiązywania gwarancji
będzie przedłużany o okres upływający pomiędzy zgłoszeniem awarii a jej całkowitym
usunięciem.
W przypadku wystąpienia opóźnienia płatności Kupujący zobowiązany jest zapłacić na
rzecz Sprzedającego odsetki zgodnie z polskim prawem.
Wszelkie spory wynikłe na tle umowy będzie rozstrzygał sąd właściwy dla siedziby
Zamawiającego.
§13. Pouczenie o środkach ochrony prawnej:
Środki ochrony prawnej, przysługujące wszystkim wykonawcom, opisane są w Dziale VI
Prawa Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004r (Dz. U. Nr 19, poz. 177 z dnia 9 lutego
2004 wraz z późniejszymi zmianami).
……………………………
……………………………
pieczęć adresowa Oferenta
data
Oświadczenie
Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y,
że spełniam/y warunki udziału w niniejszym postępowaniu zawarte w art. 22 ust. 1
Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych.
…………………………
podpis i pieczęć imienna Oferenta
……………………………
……………………………
pieczęć adresowa Oferenta
data
Oświadczenie
Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y,
że nie podlegam/y wykluczeniu zgodnie z Art. 24 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień
Publicznych.
…………………………
podpis i pieczęć imienna Oferenta
……………………………
……………………………
pieczęć adresowa Oferenta
data
Informacja
Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego informuję/emy,
iż zgodnie z art. 26 ust. 2d ustawy z dnia 29 stycznia 2004 r. Prawo zamówień publicznych
 Nie przynależymy do grupy kapitałowej.1
 Przynależymy do grupy kapitałowej, a lista podmiotów należących do tej grupy
kapitałowej zawarta jest w załączniku do niniejszej informacji.1
…………………………
podpis i pieczęć imienna Oferenta
1
Niepotrzebne skreślić