465/15 MODYFIKACJA SPECYFIKACJI ISTOTNYCH

Znak postępowania: CEZAMAT/ZP46/2015/F
L. dz. CEZ - 465/15
Warszawa, 3.12.2015 r.
MODYFIKACJA SPECYFIKACJI ISTOTNYCH WARUNKÓW ZAMÓWIENIA
Dotyczy postępowania prowadzonego w trybie przetargu nieograniczonego na dostawę systemu
przechowywania podłoży krzemowych, chwytaków próżniowych do podłoży krzemowych oraz
zestawu pincet na potrzeby realizacji projektu Fotonika i Technologie Terahercowe – Rozwój
Wydziałowego Centrum Badawczego współfinansowanego ze środków Europejskiego
Funduszu Rozwoju Regionalnego w ramach Programu Operacyjnego Innowacyjna
Gospodarka 2007-2013.
Zamawiający, CEZAMAT PW Sp. z o.o., prowadzący postępowanie o udzielenie zamówienia
publicznego na „dostawę systemu przechowywania podłoży krzemowych, chwytaków próżniowych do
podłoży krzemowych oraz zestawu pincet na potrzeby realizacji projektu Fotonika i Technologie
Terahercowe – Rozwój Wydziałowego Centrum Badawczego współfinansowanego ze środków
Europejskiego Funduszu Rozwoju Regionalnego w ramach Programu Operacyjnego
Innowacyjna Gospodarka 2007-2013.”, działając na podstawie art. 38 ust. 4 ustawy z dnia 29 stycznia
2004 r. Prawo zamówień publicznych (Dz. U. z 2013 r. poz. 907 ze zm.), wprowadza zmianę
w Specyfikacji Istotnych Warunków Zamówienia, zwanej dalej SIWZ.
Pkt. E.1 Szczegółowego Opisu Przedmiotu Zamówienia, stanowiącego Załącznik nr 2A do SIWZ, jest:
E.1 Kasety i pojemniki z podpunktów A1, A2, A3, A4, B1, B2, B3, B4, C1, C2, C3 i C4 muszą być
wykonane z materiału, który:
i)
nie przepuszcza fal z zakresu UV,
ii) nie zanieczyszcza powierzchni przechowywanych wafli,
iii) charakteryzuje się odpornością na wysokie temperatury (120°C), wysoką trwałością
i odpornością mechaniczną.
Zastępuje się zapisem:
E.1 Kasety i pojemniki z podpunktów A1, A2, A3, A4, B1, B2, B3, B4, C1, C2, C3 i C4 muszą być
wykonane z materiału, który:
i)
nie przepuszcza fal z zakresu UV,
ii) nie zanieczyszcza powierzchni przechowywanych wafli,
iii) charakteryzuje się odpornością na wysokie temperatury (100°C, nie dotyczy kaset
z podpunktów A3, B3, C3), wysoką trwałością i odpornością mechaniczną.
Pkt. E Szczegółowego Opisu Przedmiotu Zamówienia, stanowiącego Załącznik nr 2A do SIWZ, jest:
2) Wszystkie kasety z podpunktów A1, A3, B1, B3, C1, C3 muszą spełniać następujące kryteria:
i) odległość od podstawy do środka pierwszej kieszeni (D1): 25,4÷25,9mm,
ii) odległość pomiędzy środkami sąsiadujących kieszeni: 6,35÷6,4mm,
iii) szerokość pojedynczej kieszeni w najwęższym miejscu: 1,7÷3mm,
iv) górny fragment kasety powinien być otwarty, aby zapewnić swobodny przepływ wody
podczas procesu mycia,
v) kasety muszą być wykonane zgodnie ze standardami SEMI: E15, E19.4, E47.
3) Urządzenia do przenoszenia wafli pomiędzy kasetami muszą zapewniać łatwe i szybkie
przenoszenie, nie mogą zanieczyszczać powierzchni wafli ani uszkadzać ich mechanicznie.
CEZAMAT PW Sp. z o.o.
ul. Polna 50
00-644 Warszawa
tel. 22 234 7157 www.cezamat.eu
NIP 7010346175 REGON 146180411
Kapitał zakładowy 100 000 zł
Wpisana do rejestru przedsiębiorców prowadzonego przez Sąd Rejonowy dla m.st. Warszawy,
XII Wydział Gospodarczy Krajowego Rejestru Sądowego pod numerem KRS 0000424841
1/2
4) Pojemniki i kasety na podłoża z podpunktów A4, A5, B4, B5 oraz C4, C5 muszą zabezpieczać wafle
przed przesunięciem, uszkodzeniem i zanieczyszczeniem podczas transportu.
5) Kasety procesowe z punktów A6, B6, C6 muszą być odporne termiczne (do 280oC) oraz chemicznie
na kwasy (m. in. kwas fluorowodorowy) i zasady (m. in. wodorotlenek potasu). Ponadto, muszą być
przystosowane do wykorzystania w urządzeniu typu SRD (Spin-Rinse-Dry).
6) Uchwyty do kaset procesowych muszą być kompatybilne z kasetami procesowymi oraz umożliwiać
ich pewne podniesienie i przemieszczenie.
Zastępuje się zapisem:
2) Wszystkie kasety z podpunktów A1, A3 muszą spełniać następujące kryteria:
i) odległość od podstawy do środka pierwszej kieszeni (D1): 25,4÷25,9mm,
ii) odległość pomiędzy środkami sąsiadujących kieszeni: 6,35÷6,4mm,
iii) szerokość pojedynczej kieszeni w najwęższym miejscu: 1,7÷3mm,
iv) górny fragment kasety powinien być otwarty, aby zapewnić swobodny przepływ wody
podczas procesu mycia,
v) kasety muszą być wykonane zgodnie ze standardami SEMI: E15, E19.4, E47.
3) Kasety na mniejsze podłoża muszą spełniać analogiczne normy zgodnie ze standardami SEMI np.E1,
E19.
4) Urządzenia do przenoszenia wafli pomiędzy kasetami muszą zapewniać łatwe i szybkie
przenoszenie, nie mogą zanieczyszczać powierzchni wafli ani uszkadzać ich mechanicznie.
5) Pojemniki i kasety na podłoża z podpunktów A4, A5, B4, B5 oraz C4, C5 muszą zabezpieczać wafle
przed przesunięciem, uszkodzeniem i zanieczyszczeniem podczas transportu.
6) Kasety procesowe z punktów A6, B6, C6 muszą być odporne termiczne (do 180oC) oraz chemicznie
na kwasy (m. in. kwas fluorowodorowy) i zasady (m. in. wodorotlenek potasu). Ponadto, muszą być
przystosowane do wykorzystania w urządzeniu typu SRD (Spin-Rinse-Dry).
7) Uchwyty do kaset procesowych muszą być kompatybilne z kasetami procesowymi oraz umożliwiać
ich pewne podniesienie i przemieszczenie.
Powyższe zmiany stanowią integralną część dokumentacji przetargowej w tym
postępowaniu, są dla Wykonawców wiążące i należy je uwzględnić w składanej ofercie
na wykonanie niniejszego zamówienia.
Mariusz Wielec
/-/
Prezes Zarządu
CEZAMAT PW Sp. z o.o.
CEZAMAT PW Sp. z o.o.
ul. Polna 50
00-644 Warszawa
tel. 22 234 7157 www.cezamat.eu
NIP 7010346175 REGON 146180411
Kapitał zakładowy 100 000 zł
Wpisana do rejestru przedsiębiorców prowadzonego przez Sąd Rejonowy dla m.st. Warszawy,
XII Wydział Gospodarczy Krajowego Rejestru Sądowego pod numerem KRS 0000424841
2/2
Romuald Beck
/-/
Wiceprezes Zarządu
CEZAMAT PW Sp. z o.o.
ds. naukowych