Spis treści

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Przedmowa .......................................................................................................................................7
Wykaz najważniejszych oznaczeń ...................................................................................................8
1. Wstęp..........................................................................................................................................9
Bibliografia ....................................................................................................................................11
2. Skanowanie ..............................................................................................................................12
2.1. Wprowadzenie....................................................................................................................12
2.2. Skanery pasywne................................................................................................................14
2.3. Skanery aktywne ................................................................................................................15
Bibliografia .....................................................................................................................................16
3. Skanery laserowe ....................................................................................................................17
3.1. Wprowadzenie ...................................................................................................................17
3.2. Skanery piszące ..................................................................................................................18
3.3. Skanery czytające...............................................................................................................19
3.4. Skanery czytająco-piszące..................................................................................................20
3.5. Skanery poosiowe ..............................................................................................................21
3.6. Skanery poprzeczne............................................................................................................23
3.7. Konfiguracja pracy skanera................................................................................................24
3.8. Prowadzenie wiązki............................................................................................................26
Bibliografia ....................................................................................................................................27
4. Skanery pomiarowe.................................................................................................................29
4.1. Laserowe pomiary skaningowe ..........................................................................................29
4.1.1. Pomiar średnic..........................................................................................................29
4.1.2. Rozwiązania stosowane w urządzeniach komercyjnych ..........................................33
4.1.3. Pomiar chropowatości..............................................................................................35
4.2. Czynnik aperturowy ...........................................................................................................37
4.3. Rozdzielczość skanowania .................................................................................................39
4.4. Powiększenie skanera.........................................................................................................44
Bibliografia .....................................................................................................................................45
5. Wiązka laserowa .....................................................................................................................47
5.1. Lasery stosowane w skanerach...........................................................................................47
5.2. Parametry wiązki................................................................................................................48
5.2.1. Wiązka gaussowska .................................................................................................48
5.2.2. Mody podłużne ........................................................................................................51
5.2.3. Mody poprzeczne.....................................................................................................52
5.2.4 Pomiar średnicy wiązki .............................................................................................55
5.2.5 Parametr jakości wiązki M 2 ......................................................................................60
5.2.6. Moc wiązki ..............................................................................................................66
Bibliografia .................................................................................................................................... 67
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6. Układy odchylania wiązki (kątowe i liniowe) ........................................................................69
6.1. Wprowadzenie ...................................................................................................................69
6.2. Deflektory elektromechaniczne .........................................................................................71
6.2.1. Deflektory poligonalne ............................................................................................72
6.2.2. Deflektory galwanometryczne ................................................................................74
6.2.3. Deflektory rezonansowe ..........................................................................................75
6.3. Deflektory holograficzne ...................................................................................................78
6.4. Deflektory elektrooptyczne ...............................................................................................79
6.5. Deflektory akustooptyczne ................................................................................................80
6.6. Deflektory MEMS .............................................................................................................82
6.7. Porównanie parametrów deflektorów.................................................................................85
Bibliografia .....................................................................................................................................86
7. Układ optyczny ........................................................................................................................88
7.1. Wprowadzenie....................................................................................................................88
7.2. Soczewki flat-field .............................................................................................................90
7.3. Soczewki f- .......................................................................................................................92
7.4. Zniekształcenia wprowadzane przez soczewki...................................................................95
Bibliografia .....................................................................................................................................99
8. Techniki pomiarowe. Rozwiązania . ....................................................................................100
8.1. Wybrane metody. Wstępna analiza niedokładności. ........................................................100
8.2. Bezpośredni pomiar kąta odchylenia................................................................................110
8.3. Wyznaczenie położenia krawędzi metodą dyfrakcyjną ....................................................113
8.3.1. Wiadomości wstępne .............................................................................................113
8.3.2. Rozszerzony model dyfrakcji Younga-Rubinowicza.............................................114
8.3.3. Stanowisko pomiarowe..........................................................................................123
8.3.4. Ostra krawędź a obiekt 3D.....................................................................................124
8.3.5. Wpływ położenia elementu mierzonego ................................................................127
8.3.6. Dyfrakcyjna metoda pomiaru średnic wałków.......................................................129
Bibliografia ...................................................................................................................................131
9. Błędy w pomiarach skaningowych średnic..........................................................................134
9.1. Błąd systematyczny pomiaru średnicy laserowym przyrządem skanującym....................134
9.2. Równanie pomiaru średnicy skanerem.............................................................................143
9.3. Przedział ufności dla pomiaru średnic skanerem..............................................................147
Bibliografia ..................................................................................................................................150
10. Podsumowanie .......................................................................................................................151
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