DETEKCJA W MIKRO- I NANOOBJĘTOŚCIACH

Mikrosystemy - Laboratorium
Mikropompka gazu – aktuacja piezoelektryczna w mikroskali
Zagadnienia do samodzielnego przygotowania przed laboratorium.
1. Zjawisko piezoelektryczne proste i odwrotne.
2. Metody pompowania gazów w mikroskali.
3. Zapoznać się z instrukcja obsługi sterownika mikropompki mp6.
Zadania i cel ćwiczenia.
Celem ćwiczenia jest zapoznanie z parametrami mikropompki z aktuacją
piezoelektryczną. Zadaniem ćwiczących jest pomiar i weryfikacja z danymi katalogowymi
wydajność pompowania w zależności od rodzaju sygnału sterującego (SRS, Sin, Rec) orz jego
częstotliwości i amplitudy.
Opis stanowiska.
Widok laboratoryjnego przedstawiono na rysunku 1. Stanowisko pomiarowe składa się z
następujących elementów:
1. Mikropompki firmy Bartels Mikrotechnik (model mp5).
2. Sterownika mikropompki.
a)
b)
Rys. 1. Widok stanowiska laboratoryjnego z mikropomką (a) oraz widok mikropompki (b) –
proszę zwrócić uwagę na kierunek przepływu gazy przez mikropompkę
________________________________________________________________________
www.memslab.pl
1
Przebieg ćwiczenia.
Przygotowanie stanowiska do pomiarów:
1. Sprawdzić stan stanowiska laboratoryjnego.
2. Zapoznać się z obsługą sterownika mikropompki (instrukcja dostępna na stanowisku).
3. Włączyć sterownik mikropompki.
Zwracać uwagę na prawidłowy przepływ gazu przez mikropompkę !
Nie wyjmować mikropompki z uchwytu!
Wszelkich zmian typu sygnału sterującego oraz jego częstotliwości oraz amplitudy
dokonywać tylko przy wyłączonym (przełącznik on/off na panelu sterownika) sygnale
sterującym mikropompkę!
Wyznaczenie parametrów mikropompki:
1. Wyznaczyć wydajność pompowania (ciśnienie [kPa]) przez mikropompkę w zależności
od rodzaju sygnału sterującego, częstotliwości i napięcia sygnału sterującego.
…
Wyznaczenie dynamiki zmian wydajności pompowania (ciśnienia) dla różnych rodzajów
sygnału sterującego i dla zmiennej częstotliwości.
Rodzaj sygnału: SRS / SIN / REC
U [V]
50
100
150
200
f [Hz]
10
20
150
…
Wyznaczenie dynamiki zmian wydajności pompowania (ciśnienia) dla różnych rodzajów
sygnału sterującego i dla zmiennego napięcia.
Rodzaj sygnału: SRS / SIN / REC
F [Hz]
50
100
150
U [V]
10
20
200
________________________________________________________________________
www.memslab.pl
2
Opracowanie wyników:
W sprawozdaniu należy wyznaczyć i graficznie przedstawić parametry wydajności
pompowania, przeprowadzić analizę krytyczną otrzymanych wyników.
Dodatkowo w sprawozdaniu winny się znaleźć informacje dotyczące innych mikropompek
gazów, szczególnie takich, które dostępne są jako zestawy edukacyjne lub mają swoje
zastosowanie w urządzeniach dostępnych komercyjnie.
________________________________________________________________________
www.memslab.pl
3