ETD 7018 Mikroelektronika 2

OPISY KURSÓW/PRZEDMIOTÓW:
Kod kursu/przedmiotu
ETD 7018
Tytuł kursu/przedmiotu
Mikroelektronika 2
Imię, nazwisko i tytuł/stopień prowadzącego
Andrzej Dziedzic, dr hab. inż.
Imiona, nazwiska oraz tytuły członków zespołu dydaktycznego
Regina Paszkiewicz, dr hab. inż.
Iwona Zborowska-Lindert, dr inż.
Beata Ściana, dr inż.
Grażyna Beensh-Marchwicka, dr inż.
Eugeniusz Prociów, mgr inż.
Forma zaliczenia kursu
Forma kursu
Wykład
Tygodniowa
liczba godzin
Forma
zaliczenia
Ćwiczenia Laboratorium Projekt
0
0
4
0
Seminarium
0
Liczba
punktów
4
ocena
Wymagania wstępne
Mikroelektronika 1 - ETD 6016
Krótki opis zawartości całego kursu
Kurs prezentuje podstawowe procesy technologiczne w mikroelektronice półprzewodnikowej,
cienkowarstwowej i grubowarstwowej. Wykonywane są cienkowarstwowe i grubowarstwowe
elementy dyskretne i charakteryzowane są ich podstawowe właściwości elektryczne. Ponadto
są badane podstawowe procesy technologiczne charakterystyczne dla technologii
półprzewodnikowej(np. utlenianie termiczne, dyfuzja i metalizacja)
Wykład (podać z dokładnością do 2 godzin)
Zawartość tematyczna poszczególnych godzin wykładowych
Ćwiczenia, seminarium - zawartość tematyczna
Laboratorium, projekt - zawartość tematyczna
Liczba godzin
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
Wprowadzenie do laboratorium (program, wymagania).
Utlenianie termiczne krzemu.
Dyfuzja domieszek do krzemu.
Fotolitografia.
Metalizacja w technologii półprzewodnikowej.
Technologia warstw epitaksjalnych.
Naparowywanie próżniowe.
Rozpylanie katodowe trójelektrodowe.
Rozpylanie magnetronowe.
Sprzęt technologiczny w technice grubowarstwowej.
Technologia i właściwości rezystorów cermetowych.
Technologia i właściwości rezystorów polimerowych.
Projekt prostego układu grubowarstwowego.
Technologia i właściwości elementów LTCC.
Materiał do samodzielnego opracowania
Literatura podstawowa
• Praca zbiorowa, Procesy technologiczne w elektronice półprzewodnikowej, WNT,
Warszawa 1980
• R.B. Beck, Technologia krzemowa, PWN, Warszawa 1991
• R.W. Berry, P.M. Hall, M.T. Harris, Thin film technology, Van Nostrand Corp., New York
1985
• J.E. Sergent, C.A. Harper, Hybrid microellectronics handbook, Mc Graw-Hill Inc., New
York 1995
• A. Dziedzic, L. Golonka, B. Licznerski, B. Morten, M. Prudenziati, Technika
grubowarstwowa i jej zastosowania, Monada, Wrocław 1998
Literatura uzupełniająca
Warunki zaliczenia
Zaliczenie wszystkich ćwiczeń
DESCRIPTION OF THE COURSES:
Course code
ETD 7018
Course title
Microelectronics 2
Supervising course lecturer
Andrzej Dziedzic, PhD, DSc
Other course lecturers
Regina Paszkiewicz, PhD, DSc
Iwona Zborowska-Lindert, PhD
Beata Ściana, PhD
Grażyna Beensh-Marchwicka, PhD
Eugeniusz Prociów, MSc
Course structure
Course form
Lecture
Number of
hours /week
Form of the
course
completion
Classes
Laboratory
Project
Seminar
0
4
0
0
0
Number
of
credits
4
mark
Prerequisites
Microelectronics 1 – ETD 6016
Course description
This course presents basic technological processes used in semiconductor, thin- and thick-film
technologies. Thin- and thic-film passive components are fabricated and their basic electrical
properties are measured. Moreover basic technological processes characteristic for
semiconductor technology (for example thermal oxidation, diffusion or metallisation) are
investigated.
Lecture
Particular lectures contents
Number of
hours
Classes, seminars - the contents
Laboratory, project – the contents
• Introduction to laboratory (curriculum, requirements).
• Diffusion of dopants in silicon.
• Thermal oxidation of silicon.
• Optical litography.
• Metallisation in semiconductor technology.
• Epitaxial layers technology.
• Vacuum evaporation.
• Cathode trielectrode sputtering.
• Magnetron sputtering.
• Technological equipment for thick-film technology.
• Technology and properties of thick-film cermet resistors.
• Technology and properties of thick-film polymer resistors.
• Design of simple thick-film circuits.
• Technology and properties of LTCC components
Material for self preparation
Core literature
• Praca zbiorowa, Procesy technologiczne w elektronice półprzewodnikowej, WNT,
Warszawa 1980
• R.B. Beck, Technologia krzemowa, PWN, Warszawa 1991
• R.W. Berry, P.M. Hall, M.T. Harris, Thin film technology, Van Nostrand Corp., New York
1985
• J.E. Sergent, C.A. Harper, Hybrid microelectronics handbook, Mc Graw-Hill Inc., New
York 1995
• A. Dziedzic, L. Golonka, B. Licznerski, B. Morten, M. Prudenziati, Technika
grubowarstwowa i jej zastosowania, Monada, Wrocław 1998
Additional literature
Conditions for course credition
Completion of all laboratory practices