Logo IFPAN po polsku - Instytut Fizyki PAN

Transkrypt

INSTYTUT FIZYKI POLSKIEJ AKADEMII NAUK
PL - 02-668 WARSZAWA, AL. LOTNIKÓW 32/46
Tel. (48-22) 843 66 01 Fax. (48-22) 843 09 26
REGON: P-000326061, NIP: 525-000-92-75
DZPIE/019/2010
Specyfikacja istotnych warunków
zamówienia publicznego
Aparatura do osadzania warstw metodą MBE.
38.54.00.00-2
Postępowanie jest prowadzone w trybie przetargu nieograniczonego
zgodnie z Prawem Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004 r.
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk
02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46.
NIP: 525-000-92-75; Regon: P-000326061
Zakup przedmiotu zamówienia jest współfinansowany ze środków Europejskiego Funduszu
Rozwoju Regionalnego Unii Europejskiej w ramach Programu Operacyjnego Innowacyjna
Gospodarka lata 2007-2013, Priorytet 2. "Infrastruktura sfery B +R", Działanie 2.2 "Wsparcie
tworzenia wspólnej infrastruktury badawczej jednostek naukowych”; nr POIG.02.02.00-00020/09-00 pt.: Krajowe Centrum Nanostruktur Magnetycznych do Zastosowań w Elektronice
Spinowej – SPINLAB.
Przedmiot postępowania:
Kod CPV:
Tryb udzielenia
zamówienia:
Inwestor/Kupujący:
§1. Opis przedmiotu zamówienia:
Ogólna charakterystyka systemu MBE
Przedmiotem zakupu jest system MBE służący do wytwarzania cienkowarstwowych
magnetycznych układów metalicznych metodą epitaksji z wiązek molekularnych oraz
charakteryzacji in-situ ich struktury krystalicznej i powierzchniowej, a także właściwości
magnetycznych.
Przewiduje się następującą konfigurację układu MBE:
 komora wzrostu (1),
 komora załadowcza molibloków (2),
 komora preparacyjna (3),
 komora działa jonowego (4)
 komora magazynowania próbek (5),
 komora charakteryzacji (6),
 komora skaningowego mikroskopu próbkującego (SPM) (7)
(Mikroskop VT AFM/STM XA 50/500 firmy Omicron wraz z komorą UHV (7), w
której będzie zamontowana głowica mikroskopu został zakupiony w oddzielnym
1
przetargu i nie jest przedmiotem obecnego. Producent mikroskopu SPM nie dostarcza
zestawu pomp potrzebnych do odpompowania tej części układu MBE),
 komora załadowcza próbników (8) zamontowanych bezpośrednio na uchwytach
stosowanych w mikroskopie SPM usytuowana w bezpośrednim sąsiedztwie komory
SPM (7)
 komora dystrybucyjna (9)
 komora reorientacji (10)
We wszystkich komorach systemu MBE (z wyjątkiem komór załadowczych (2) i (8) oraz
komory działa jonowego (4)) ultrawysoka próżnia powinna osiągać zakres 10-11 Torr. Ze
względu na pomiary SPM, które będą przeprowadzone w układzie MBE, statyczna próżnia
powinna być uzyskiwana przy pomocy pomp nie powodujących drgań mechanicznych, tzn.
pomp jonowych i tytanowych pomp sublimacyjnych. Przyjmuje się, że pompy
turbomolekularne będą używane do pompowania systemu po zapowietrzeniu oraz w czasie
pracy działa jonowego w komorze (4). Wszystkie komory układu MBE muszą być
wygrzewane w temperaturze przynajmniej do 150 ºC. W związku z tym cały system MBE
powinien być wyposażony w stosowne elementy grzewcze wraz z zasilaczami oraz układ
sterowania procesem wygrzewania.
Komora dystrybucyjna (9) ma być umieszczona centralnie, do której dołączone będą
pozostałe komory, oprócz komór SPM (7) i załadowczej (8). Próbki będą mocowane na
moliblokach bezpośrednio, lub za pośrednictwem uchwytów SPM (standardowych i do
grzania bezpośredniego). Molibloki muszą posiadać rozmiar odpowiedni do mechanicznego
montażu podłoży o dowolnych rozmiarach nie przekraczających średnicy 3” (3-inch wafer).
System transportu molibloków powinien zapewniać ich przemieszczanie pomiędzy
wszystkimi komorami układu MBE, z wyjątkiem komory mikroskopu SPM (7) oraz komory
załadowczej próbników SPM (8). Pozycja transferowa molibloku z próbką w komorze
dystrybucyjnej (9) musi być w konfiguracji „próbka do góry”. Ponadto komory: preparacyjna
(3), działa jonowego (4), charakteryzacji (6) oraz reorientacji (10) powinny być wyposażone
w odpowiednie manipulatory pozwalające na przeniesienie próbki, zamocowanej na uchwycie
mikroskopu SPM, między moliblokiem zamontowanym na uchwycie komory dystrybucyjnej
(9) a uchwytami w tych komorach.
System musi umożliwiać niezależną i równoczesną prace wieloma technikami, a jego
konstrukcja musi pozwalać na dalsza rozbudowę poprzez dołączenie dodatkowych komór,
przy zachowaniu jednorodnego nośnika próbek.
Komora wzrostu (1)
Komora wzrostu służy do wytwarzania cienkowarstwowych próbek metodą naparowania lub
sublimacji odpowiednich materiałów na zamontowane do molibloków podłoża. Materiały
będą parowane z komórek efuzyjnych i napylarek elektronowych. Komora ma być
wyposażona w odpowiedni zestaw przesłon umożliwiających: osadzanie na podłożu
materiałów w dowolnej sekwencji, jednoczesne parowanie kilku materiałów (wytwarzanie
stopów), wytwarzanie warstw w postaci klina. Ilość jak również szybkość osadzania materiału
parowanego z napylarek elektronowych powinna być kontrolowana w czasie procesu wzrostu.
W czasie wzrostu struktura krystaliczna wytwarzanych warstw jest kontrolowana przy
pomocy RHEED. Komora jest wyposażona w dostateczną ilość okienek pozwalających na
obserwację w jej wnętrzu: transferu molibloków z próbkami, położenia przesłon, stanu pracy
komórek efuzyjnych i napylarek elektronowych
Wyposażenie komory wzrostu:
2
 układ pompowy wraz z zasilaczami i układem sterującym pracą pomp pozwalający na
uzyskanie próżni bazowej nie gorszej niż 5·10-11 Torr. Układ pompowy musi się
składać przynajmniej z następujących elementów:
 pompa jonowa:
 wydajność nie gorsza niż 1200 l/s dla N2
 osiągane ciśnienie <10-11 Torr
 średni czas życia 50000 h
 dopuszczalna temperatura wygrzewania (z magnesami) 250 ºC
 pompa sublimacyjna Ti:
 min. 3 włókna Ti
 pompa turbomolekularna:
 wydajność nie gorsza niż:
500 l/s dla N2
 pompa próżni wstępnej
 typu scroll
 mierniki pomiaru próżni wstępnej i ultrawysokiej do 10-12 Torr.
 uchwyt molibloku:
 wyposażony w grzałkę do grzania podłoża, także w czasie procesu parowania, w
zakresie od temperatury pokojowej do min 1200 ºC ±1ºC na powierzchni molibloku
(wraz z odpowiednim zasilaczem grzałki, termoparą typu C, układem kontroli
temperatury)
 obrót molibloku z zadaną prędkością obrotową z przedziału 0-80 obr./min oraz
pozycjonowaniem kątowym z dokładnością nie gorszą niż 0,1º ( wraz ze
stosownym układem napędowym i sterowania )
 przesuw podłoża wzdłuż normalnej do powierzchni próbki w zakresie co najmniej
50 mm i z dokładnością ok. 0,1 mm.
 wyposażony w pozycjoner, umożliwiający dokładne określenie położenia kątowego
molibloku względem przesłony liniowej.
 źródła parowania materiałów:
 2 (dwie) napylarki elektronowe, z których każda posiada:
sześć tygli w układzie liniowym
pojemność każdego tygla przynajmniej 7 cm3:
indekser
napięcie pracy 10 kV
zasilacz półprzewodnikowy (10 kV), moc w przedziale 5-7 kW
cyfrowy, programowany układ odchylania wiązki (Digital Programmable
Sweeper)
ekran wodny
ruchoma przesłona
 6 (sześć) komórek efuzyjnych wysokotemperaturowych, wyposażonych w:
 tygiel alundowy umożliwiający parowanie materiału w 1700 ºC, o objętości
całkowitej ok. 10 cm3
 grzejnik z drutu wolframowego
 termoparę typu C
 ekran z chłodzeniem wodnym
3
 zintegrowaną przesłonę
 stosowny zasilacz
 regulator temperatury PID, setpoint osiągany bez przekraczania zadanej
temperatury
wymagana stabilność temperatury: ±0,5ºC
 2 (dwie) komórki efuzyjne typu dual filament, wyposażone w:
 tygiel alundowy umożliwiający parowanie materiału w 1400 ºC, o objętości
całkowitej ok. 10 cm3
 podwójny grzejnik z odpowiedniego drutu
 termoparę typu C
 ekran z chłodzeniem wodnym
 zintegrowaną przesłonę
 stosowne zasilacze
 regulatory temperatury PID, setpoint osiągany bez przekraczania zadanej
temperatury
wymagana stabilność temperatury: ±0,5ºC
 cztery komórki efuzyjne wysokotemperaturowe bez wyposażenia – wymiennie do
naparowywania różnych materiałów
 przesłony (sterowane automatycznie) wraz z systemem napędowym:
 przesłona główna zasłaniająca moliblok, chroniąca podłoże przed osadzeniem
materiału z dowolnego źródła (tryb pracy ON/OFF); czas zasłaniania/odsłaniania
molibloku max. 0,25 s
 ruchoma przesłona liniowa, sterowana silnikiem krokowym, precyzyjnie
pozycjonowana względem molibloku, umożliwiająca wykonanie warstw o profilu
klinowym na próbce zamontowanej w dowolnej części molibloku. Prędkość
przesuwu regulowana w zakresie 0-10 mm/s, ze skokiem nie większym niż 0,01
mm
 waga kwarcowa do kalibracji prędkości parowania materiałów:
 wymiana kwarcu poza komorą wzrostu (bez konieczności jej zapowietrzania)
 pomiar szybkości osadzania dokładnie w pozycji molibloku.
 głowica pomiarowa ma zawierać co najmniej 3 czujniki kwarcowe w układzie
liniowym.
 ramię, na którym mocowane są czujniki kwarcowe powinno posiadać przesłonę
zabezpieczającą niezużyte czujniki kwarcowe przed naparowaniem materiału.
 minimalna odległość głowicy pomiarowej od źródeł nie może być mniejsza niż
25 cm (według zaleceń producentów mierników).
 dokładność pomiaru grubości warstwy osadzanego materiału nie gorsza niż
0,01 nm w zakresie od 0ºC do 50ºC.
 konstrukcja komory wagi kwarcowej musi pozwalać na:
 zapowietrzanie suchym azotem
 łatwą wymianę rezonatorów kwarcowych poprzez odpowiednie okno
 odpompowanie do poziomu 10-9 Torr
 wygrzewanie w temperaturze min. 150ºC niezależnie od reszty układu.
 komora powinna być wyposażona w próżniomierz z zakresem pomiarowym do
10-9 Torr.
4
 dwa mierniki działające na zasadzie spektrometru masowego, do kontroli mocy
dostarczanej do dział elektronowych, umożliwiające stabilizację szybkości
osadzania materiałów z dokładnością 0,001 nm/s.
 dyfraktometr RHEED 20 keV
 zasilacz działa elektronowego
 system cyfrowego zapisu obrazu dyfrakcyjnego ( w postaci bitmapy oraz filmu
AVI)
 kamera CCD z zoomem, o rozdzielczości co najmniej PAL (720x576), całkowicie
sterowana z komputera
 przesłona ekranu fluorescencyjnego
 kolorowa kamera CCD umożliwiająca obserwację próbki , wyposażona w obiektyw o
zmiennej ogniskowej, o rozdzielczości minimalnej PAL (720x576), zamocowana
prostopadle do płaszczyzny próbki. Kamera powinna być w pełni kontrolowana z
komputera.
 oprogramowanie sterujące procesami technologicznymi w komorze MBE musi
umożliwiać wykonywanie struktur wielowarstwowych, klinowych oraz warstw
stopowych z kilku źródeł parowania.
Komora załadowcza molibloków (2)
Komora służy do łatwego wprowadzania i wyjmowania próbek do i z układu MBE
zamontowanych na moliblokach. Jest zapowietrzana suchym azotem. Posiada drzwi
załadowcze powalające na szybki dostęp do jej wnętrza, jednocześnie zapewniające uzyskanie
próżni w czasie pompowania komory na poziomie 10-9 Torr (uszczelka Kalrez). Komora
posiada okno umożliwiające obserwację transferu molibloków.
Wyposażenie komory załadowczej molibloków:
 układ pompowy (pompy: turbomolekularna, jonowa ) wraz z zasilaczami i układem
sterującym pracą pomp pozwalający na uzyskanie próżni bazowej nie gorszej niż
5·10-9 Torr. Układ musi się składać przynajmniej z następujących elementów:
 pompa jonowa:
 wydajność, przy ciśnieniu 10-9 Torr:
nie gorsza niż 200 l/s dla N2
 dopuszczalna temperatura wygrzewania (z magnesami) - 250 ºC
270 l/s dla N2
 typu scroll
 mikroprocesorowa jednostka sterująca pracą pomp umożliwiająca wizualizację
pracy pomp, zaworów próżniowych, możliwość pomiaru próżni (dwa kanały),
odporna na awarie takie jak zanik napięcia zasilania, wyłączenie wodociągowej
wody chłodzącej itp.
 układ pomiaru próżni wraz z zasilaczami
 uchwyt pozwalający na jednoczesne załadowanie 6 molibloków
5
 system wygrzewania wstępnego próbek
 maksymalna temperatura ≥ 200 ºC
 dokładność nastawu 1 % mocy
 układ pomiaru temperatury – dokładność ±1ºC
Komora preparacyjna (3)
W komorze preparacyjnej wymagane są następujące sposoby preparatyki in-situ podłoży lub
wykonanych próbek:
wygrzewanie próbek lub podłoży, na uchwycie SPM, poprzez
bombardowanie wiązką elektronową; uzyskiwana temperatura powinna
osiągać przynajmniej 1700 ºC na powierzchni próbki
wygrzewanie próbek lub podłoży półprzewodnikowych prądem przez nie
przepływającym (direct heating). Do tego celu będą wykorzystane
specjalne uchwyty próbek dostarczone przez producenta mikroskopu SPM.
Komora ma posiadać manipulator umożliwiający transport uchwytów SPM pomiędzy
moliblokiem a stanowiskami do preparatyki. Komora powinna być wyposażona w okna
umożliwiające obserwację procesów preparatyki oraz pomiar temperatury próbki przy
pomocy zewnętrznego pirometru.
W komorze preparacyjnej powinien być zamontowany dyfraktometr niskoenergetycznych
elektronów LEED oraz spektrometr elektronów Augera (AES) dostosowany do pracy z
próbkami umieszczonymi na molibloku. Manipulator musi umożliwiać pomiar LEED/AES w
dowolnym miejscu molibloku. Głowica LEED/AES nie może być zamontowana od spodu
komory tzn. w konfiguracji pod próbką.
Ciśnienie bazowe rzędu 10-11 Torr
Wyposażenie komory preparacyjnej:
 stanowisko do wygrzewania wiązką elektronową
 próbki i podłoża mocowane na uchwycie SPM
 działo elektronowe wraz z zasilaczem i układem kontroli pracy pozwalające na
wygrzewanie próbek w regulowanej temperaturze przynajmniej do 1700 ºC na
powierzchni próbki
 stanowisko wraz z odpowiednim zasilaczem służące do wygrzewania próbek / podłoży,
prądem przez nie przepływającym (direct heating)
 manipulator pozwalający na transport uchwytu próbek mikroskopu SPM pomiędzy
moliblokiem a każdym ze stanowisk do preparatyki
 układ pompowy wraz z zasilaczami i kontrolerami pracy dla wszystkich wymienionych
sposobów preparatyki, pozwalający na uzyskanie próżni bazowej nie gorszej niż
5·10-11 Torr. Układ musi się składać przynajmniej z następujących elementów:
 pompa jonowa:
 wydajność, przy ciśnieniu 10-9 Torr:
6
355 l/s dla N2
 typu scroll
 pompa TSP
 układ pomiarowy próżni wstępnej i ultrawysokiej (pomiar do 10-11 Torr)
 dyfraktometr LEED i spektrometr AES.
 katoda działa elektronowego z LaB6
 4-siatkowa optyka LEED
 kąt widzenia min. 100 º
 przesłona
 kamera CCD z obiektywem o zmiennej ogniskowej, całkowicie sterowana z
komputera
 układ sterowania oraz komputerowa rejestracja i obróbki/analizy danych
Komora działa jonowego (4)
W komorze działa jonowego prowadzona będzie procedura in-situ przygotowania
powierzchni podłoży lub próbek oraz modyfikacja struktury wykonanych układów
warstwowych poprzez bombardowanie wiązką jonów gazów szlachetnych. Wiązka powinna
być jednorodna na powierzchni próbki (podłoża) o wymiarach 10 x 10 mm2.
Komora ma posiadać manipulator umożliwiający transport uchwytów SPM pomiędzy
moliblokiem a stanowiskiem do preparatyki. Komora powinna być wyposażona w okna
umożliwiające obserwację procesów preparatyki. Komora musi być oddzielona od komory
dystrybucyjnej zaworem szybrowym ręcznym, pompa jonowa i pompa turbo także muszą być
oddzielone odpowiednimi zaworami szybrowymi. Do pracy działa wymagany jest roznicowy
system pompowania. (differential pumping).
Próżnia bazowa komory powinna wynosić min 10-9 Torr po wygrzewaniu w 150 oC.
Wyposażenie komory działa jonowego:
 działo jonowe kompatybilne UHV
 działo jonowe umożliwiające czyszczenie powierzchni próbek i podłoży jak
również kontrolowaną modyfikację ich struktury:
 wiązka jonów dodatnich gazów szlachetnych jednorodna na powierzchni próbki o
wymiarach 10 x 10 mm2
 regulowany rozmiar plamki wiązki od kilku milimetrów do kilku centymetrów
 regulowana energia jonów w zakresie od 2 keV do 25 keV
 regulowany prąd jonowy w zakresie od 10 µm do 1 mA umożliwiający określenie
dawki naświetlania wiązką jonów
 układ zasilający działo jonowe
 układ dozowania gazu
7
 układ chłodzenia wodnego działa jonowego działający podczas pracy działa, a
także zabezpieczający przed podniesieniem temperatury działa jonowego podczas
wygrzewania komory (4).
 manipulator pozwalający na transport uchwytu próbek mikroskopu SPM pomiędzy
moliblokiem a stanowiskiem preparatyki
 zawór szybrowy oddzielający działo jonowe od komory
 przesłona linowa umożliwiająca ekspozycję części próbki (zakres przesuwu 2 cm,
rozdzielczość 0,01 mm)
 uchwyt nośnika próbki umożliwiający zmianę kąta między wiązką jonów a
powierzchnią próbki w zakresie 0º - 90º
 układ pompowy wraz z zasilaczami i kontrolerami pracy dla wszystkich wymienionych
sposobów preparatyki, pozwalający na uzyskanie próżni bazowej nie gorszej niż 10-9
Torr. Układ musi się składać przynajmniej z następujących elementów:
 pompa jonowa do pompowania gazów szlachetnych:
 wydajność przy ciśnieniu 10-9 Torr:
nie gorsza niż 300 l/s dla Ar
355 l/s dla N2
280 l/s dla He i H2
330 l/s dla Ar
 typu scroll
 pompa TSP
 układ pomiarowy próżni wstępnej i ultrawysokiej (pomiar do 10-11 Torr)
Komora magazynowania molibloków z zamontowanymi próbkami / podłożami (5)
Komora służy do przechowywania w warunkach ultrawysokiej próżni co najmniej 6 sztuk
molibloków z zamontowanymi próbkami. Komora nie wymaga oddzielnego systemu
pompowania; pompowanie odbywać się będzie poprzez komorę dystrybucyjną (9). Zawór
szybrowy pomiędzy komorami (5) i (9) będzie zamykany jedynie na krótki okres w celu
utrzymania wysokiej próżni w chwili otwarcia zaworu szybrowego pomiędzy komorą
załadowczą (2) i komorą dystrybucyjną (9).
Komora charakteryzacji (6)
Komora służy do charakteryzacji próbek in-situ, w temperaturze pokojowej, przy pomocy
technik magnetooptycznych, wykorzystujących zjawisko Kerra. Próbka będzie zamontowana
8
na uchwycie SPM. W związku z tym musi być zapewniony transport pomiędzy moliblokiem i
uchwytem pomiarowym pozwalającym na wprowadzenie próbki w obszar pomiarowy
pomiędzy nabiegunnikami elektromagnesu oraz precyzyjne pozycjonowanie próbki. Pomiar
wykonywany będzie w polu magnetycznym wytwarzanym przez nabiegunniki rdzenia
zamontowanego wewnątrz komory pomiarowej w sposób, pozwalający na prowadzenie
pomiarów w konfiguracji polarnej i podłużnej. Pozostała część rdzenia zamykająca obwód
magnetyczny, jak również cewki generujące w nich pole magnetyczne znajdują się na
zewnątrz komory próżniowej. Na zewnątrz komory znajdują się również wszystkie elementy
optycznego układu pomiarowego. W związku z tym komora powinna być wyposażona w
okna wykonane z odpowiedniego materiału (nie zawierającego domieszek magnetycznych),
który nie zaburzy przeprowadzanego pomiaru. Komora charakteryzacji (6) musi być
dołączona do komory dystrybucyjnej (9) przez mieszek różnicowy w celu eliminacji
przenoszenia drgań oraz umieszczona na aktywnych wibroizolatorach.
Próbka powinna być pozycjonowana w kierunku osi uchwytu pomiarowego z dokładnością
10 µm. Uchwyt pomiarowy próbki powinien zapewnić także możliwość obracania próbki
wokół osi prostopadłej do jej powierzchni w celu prowadzenia pomiarów dla dowolnego
kierunku w płaszczyźnie próbki z dokładnością 0,1 º o +/- 180 o, oraz pozycjonowanie próbki
w szczelinie pomiarowej, w zakresie +/- 5 mm, a także obrót próbki o min +/- 90 oz
dokładnością 0,1 º względem kierunku pola magnetycznego wytwarzanego przez
nabiegunniki. Wyposażenie komory charakteryzacji
 okna wykonane z materiału umożliwiającego wykonanie dokładnego, powtarzalnego
pomiaru
 okna umożliwiająca obserwację pozycji próbki i wiązki laserowej
 nabiegunniki rdzenia ze szczeliną (w zależności od konstrukcji ramienia trzymającego
próbkę), rdzeń mocowany ma mieszkach z regulacją szczeliny +/- 50 mm
 natężenie jednorodnego (1%) pola magnetycznego w szczelinie do +/- 5 kOe.
 przechodzące przez flansze układu próżniowego
 rdzeń wraz z nabiegunnikami wykonany z materiału o parametrach magnetycznych:
 indukcja nasycenia ≥2,35T
 koercja ≤2,4 A/cm
 po obróbce mechanicznej wygrzany według zaleceń producenta
 rdzeń o przekroju kwadratowym, powierzchnia przekroju około 50 cm2
 nabiegunniki o przekroju okrągłym, powierzchnia przekroju około 40 cm2
 cewki elektromagnesów:
 umieszczone poza częścią próżniową układu
 odporne na wygrzewanie do 160ºC
 dwa bipolarne wzmacniacze-zasilacze 400 W dostosowane do pracy z obciążeniem
indukcyjnym, mogące pracować jako źródło i odbiornik prądu dla napięć dodatnich i
ujemnych (praca w czterech ćwiartkach). Praca w reżimie źródła napięciowego i
prądowego. Stabilność w czasie 8 h – max. 0,02% wartości maksymalnej, w funkcji
temperatury 0,02%/ºC wartości maksymalnej. Komunikacja z komputerem w
standardzie IEEE-488
 liniowy uchwyt pomiarowy pozwalający na: precyzyjne umieszczenie próbek
pomiędzy nabiegunnikami (z dokładnością 10 µm) oraz obrót wokół osi
prostopadłej do powierzchni próbki o +/- 180º z dokładnością 0,1º.
 manipulator pozwalający na transfer mikroskopowego uchwytu SPM próbek pomiędzy
moliblokiem a uchwytem pomiarowym
9
 optyczny tor pomiarowy pozwalający na pomiar kąta skręcenia płaszczyzny polaryzacji
wiązki oraz jej eliptyczności w konfiguracji polarnej i podłużnej, bezkontaktową
metodą wykorzystującą układy modulatorów fotoelastycznych i detektorów fazoczułych. W skład toru wchodzi:
 laser półprzewodnikowy 640 nm o mocy ok. 30 mW o regulowanej mocy
 modulator PEM:
 częstotliwość modulacji: 50kHz
 długość fali: 170 nm - 2 μm
 apertura 16mm
 pokrycie antyrefleksyjne 450-650 nm
 wykonany z materiałów niemagnetycznych
 układ rozdzielający składową stałą i zmienną sygnału:
 składowa zmienna (AC): wzmocnienie napięcia od 0,1 do 20; dokładność ±2% w
paśmie 10kHz-200kHz
 składowa stała (DC): wzmocnienie napięcia od 1 do 1000, dokładność ±2% dla
sygnału wejściowego w zakresie 10kHz-200kHz
 polaryzator, pryzmat Glan-Thompson (w obudowie):
 apertura 10x10mm2
 extinction ratio: 100000:1
 zakres pracy: 350 nm – 2.3 μm
 analizatory, pryzmat Glan-Taylor:
 extinction ratio: 100000:1
 apertura 10x10mm2
 zakres pracy: 350 nm – 2.3 μm
 fotodetektory:
 czułość min.:
0,18A/W dla 400nm,
0,3A/W dla 532nm,
0,42A/W dla 640nm
 obszar aktywny min. 3,6 x 3,6 mm2
 optyka dodatkowa (soczewki, zwierciadła, beamsplittery itp.)
 mechanika zgodna z systemem CAGE 30mm (lub 60mm) firmy Thorlabs (ława
optyczna, uchwyty, rotatory, przesuwy itp.)
 wzmacniacz lock-in:
 tor pomiarowy:
czułość od 2nV do 1V
dokładność wzmocnienia ±1% w zakresie temperatur 20ºC do 30ºC
szumy w odniesieniu do wejścia: typowo 6nV/√Hz dla 1kHz
 sygnał odniesienia:
zakres częstotliwości: 1mHz do 102Hz
amplituda od 4mV do 5V z rozdzielczością 2mV
stabilność amplitudy 50ppm/ºC
 4 wejścia przetworników AD o napięciu wejściowym min. ±10V i rozdzielczości
1mV
 4 wejścia przetworników DA o napięciu wyjściowym min. ±10V i rozdzielczości
1mV
 porty RS-232C i IEEE-488
 pomiar napięcia dla częstotliwości f i 2f
 okna umożliwiające pomiar oraz obserwację pozycji próbki i wiązki laserowej
10
 kolorowa kamera z funkcją zoom o rozdzielczości min. PAL (720x576) całkowicie
sterowana z komputera PC, do obserwacji położenia próbki i wiązki laserowej
 układy odpowiednie do pomiaru pola magnetycznego oraz jego kalibracji (z
dokładnością do 10 Oe). Czujnik hallotronowy umieszczony na nabiegunniku
elektromagnesu oraz czujnik na manipulatorze liniowym do kalibracji pola
magnetycznego w dwóch prostopadłych kierunkach w miejscu próbki, mierniki
pola, oprogramowanie
 uzupełniające układy pomocnicze niezbędne do realizacji pomiaru.
 zestaw sterujący wykonywaniem pomiarów oraz komputerowej rejestracji danych
 układ pompowy wraz z zasilaczami, pozwalający na uzyskanie próżni bazowej nie
gorszej niż 5·10-11 Torr. Układ musi się składać przynajmniej z następujących
elementów:
 pompa jonowa:
 układ pompowania wstępnego: typu scroll
 ekran chroniący tor optyczny przed stałym polem magnetycznym
Komora załadowcza próbników SPM (8)
Komora załadowcza próbników SPM służy do ich szybkiego wprowadzania spoza układu
MBE do mikroskopu SPM bez konieczności ich transportowania, przy pomocy molibloków,
przez cały układ MBE. Powinna być ona dołączona bezpośrednio do komory reorientacji
(10). W komorze (8) próbniki mikroskopu SPM będą wygrzewane do temperatury
przynajmniej 150 ºC. Oczekuje się, że jednorazowo będzie można załadować 3 uchwyty z
próbnikami SPM.
Komora załadowcza próbników musi posiadać:
 okno umożliwiające szybki załadunek próbników
 konstrukcję pozwalającą na jednorazowe załadowanie 3 (trzech) próbników
 konstrukcję umożliwiającą transport próbników SPM do komory reorientacji (10)
 układ wygrzewania próbników do 150 ºC wraz zasilaczami i systemem pomiaru
temperatury
 system pompowy wraz z zasilaczami pozwalający na uzyskanie próżni bazowej nie
gorszej niż 5·10-9 Torr.
 układ pomiaru próżni
 zawór płytowy separujący komory załadowczą próbników (8) i reorientacji (10)
Komora dystrybucyjna (9)
Komora dystrybucyjna wyposażona w obrotowe, wysuwane radialnie ramię umożliwia
transport molibloków pomiędzy wszystkimi komorami MBE z wyjątkiem komory
załadowczej próbników i próbek (8) i komory mikroskopu SPM (7). Powinna mieć
11
przynajmniej 8 portów umożliwiających dołączenie pozostałych komór systemu MBE.
Komora powinna być wyposażona w odpowiednią ilość okien pozwalających na pełną
obserwację transferu molibloków.
Wyposażenie komory dystrybucyjnej:
 układ pompowy wraz z zasilaczami i układem sterującym pracą pomp pozwalający na
uzyskanie próżni bazowej nie gorszej niż 5·10-11 Torr, zaś w trakcie transferu
nośników nie gorszą niż 5·10-9 Torr. Układ musi się składać przynajmniej z
następujących elementów:
 pompa jonowa:
 pompa sublimacyjna:
 min. 3 włókna Ti
 mechanizm rozdzielczy pozwalający na dystrybucję molibloków do dołączonych
komór
 układ pomiaru próżni do zakresu 10-12 Torr
 okna obserwacyjne
Komora reorientacji pozycji próbek (10)
Komora ta jest dołączona do komory dystrybucyjnej (9). Przeprowadza się w niej transport
uchwytów próbek SPM pomiędzy moliblokiem a systemem transferowym mikroskopu SPM.
Do komory (10) jest dołączona komora mikroskopu SPM (7) dostarczona wraz z głowicą
mikroskopu przez jego producenta, firmę Omikron oraz komora załadowcza próbników (8)
.Pomiędzy komorami (7) i (10) musi być umieszczona odpowiednia komora dystansowa z
kołnierzem przeznaczonym do zamontowania specjalnego działa elektronowego firmy
Omicron do czyszczenia igieł do mikroskopu SPM.
Pompa jonowa dołączona do komory reorientacji (10) służy również do pompowania komory
mikroskopu SPM (7). Ze względu na minimalizację drgań mechanicznych, których może
doświadczać mikroskop SPM komora reorientacji (10) powinna być dołączona do komory
dystrybucyjnej (9) przez mieszek różnicowy w celu eliminacji przenoszenia drgań.
Zespól komór (7), (8) i (10) musi być wyposażony w aktywny układ antywibracyjny.
Wyposażenie komory reorientacji:
 okna pozwalające na obserwację transferu próbek
 układ pompowy wraz z zasilaczami, pozwalającą na uzyskanie próżni bazowej nie
gorszej niż 5·10-11 Torr. Układ musi się składać przynajmniej z następujących
elementów:
 pompa jonowa:
 układ pompowania wstępnego typu scroll
12
 manipulatory pozwalające na transfer: uchwytów SPM pomiędzy moliblokiem a
komorą SPM (7) oraz uchwytów z próbnikami do SPM z komory (8) do komory (7).
1.
Akcesoria
nośniki próbek wykonane z czystego molibdenu (molibloki):
 proste (bez montażu uchwytów SPM)
25 szt.
 dostosowane do umieszczenia 1 uchwytu SPM
10szt.
 dostosowane do umieszczenia 2 uchwytów SPM (w układzie liniowym) 10szt.
 dostosowane do umieszczenia 3 uchwytów SPM (w układzie liniowym)
10szt.
 maski zapobiegające zapyleniu uchwytów SPM do grzania bezpośredniego 10szt.
2. włókna do sublimatorów tytanowych – po jednym komplecie (6 szt.) na każdy sublimator
3. pirometr (np. firmy Heitronics lub równoważny) umożliwiający pomiar temperatury
wygrzewania próbek / podłoży w zakresie 200 – 1700 ºC, ze zmienną ogniskową do
zamiennego stosowania w komorach (1) i (3)
4. autonomiczny wózek do wyciągania napylarek elektronowych z komory wzrostu
5. narzędzia, uchwyty niezbędne do obsługi systemu
6. głowice mierników ultrawysokiej próżni (szt. 3) o parametrach jak powyżej
7. uszczelki miedziane stosowane w systemie, po 20 szt. najczęściej używanych
8. tygle do komórek efuzyjnych o pojemności 10 cc (szt.10)
9. grzałka podłoży w komorze wzrostu
10. śrubki z czystego Mo odpowiednie do montowania podłoży na molibloku – szt. 50
11. dwie głowice spektrometrów masowych do układu stabilizacji prędkości parowania
materiałów z napylarek elektronowych
12. układ oświetlania komór diodami LED, co najmniej 16 linii
Uwagi ogólne
 pompy turbomolekularne muszą być wyposażone w zawory szybrowe z
automatycznym systemem bezpieczeństwa zapobiegającym zapowietrzeniu komór
 pompy jonowe muszą być odseparowane od reszty układu zaworami szybrowymi,
 komory: wzrostu (1), załadowcza (2), preparacyjna (3), działa jonowego (4),
charakteryzacji (6), oraz zespół komór: {reorientacji (10) + SPM (7)} muszą mieć
możliwość odpompowania i zapowietrzania niezależnego od innych komór. Komora
dystrybucyjna (9) jest wstępnie odpompowywana przez komorę preparacyjną (3).
 komory (6) i i zespól komór (7), (8) i (10) muszą być wyposażone w niezależne
aktywne systemy wibroizolacji, które muszą zapewnić taką skuteczność aby:
możliwy był pomiar SPM z rozdzielczością atomową, skuteczny pomiar
magnetooptyczny. W związku z tym, podstawy komór powinny być umieszczone na
aktywnych elementach wibroizolujących, zaś połączenia komór (6) i (10) z komorą
dystrybucyjną (9) wykonane powinno być za pomocą odpowiednio dobranych
mieszków różnicowych. W czasie, gdy układ antywibracyjny jest nieużywany
13
powinien być zabezpieczony przed uszkodzeniem, w szczególności podczas pracy
pomp turbomolekularnych oraz wygrzewania systemu MBE
 napylarki elektronowe muszą być zabezpieczone przed zanikiem przepływu wody
chłodzącej.
 komórki efuzyjne muszą być zasilane niezależnie od obecności wody chłodzącej
 wykonawca wykona wszelkie instalacje doprowadzeń suchego azotu i powietrza
technicznego (kompresor 6 atm., zbiornik min 30-90 litrów z 15-letnią gwarancją
producenta na przerdzewienie) oraz podłączenie systemu MBE do istniejącego
układu wody chłodzącej.
 wszystkie komory połączone z komorą dystrybucyjną (9) mają być oddzielone
zaworami szybrowymi.
 komputery mają mieć system operacyjny „Windows 7” lub „Windows XP” w wersji co
najmniej Professional.
 komory: preparacyjna (3), działa jonowego (4), charakteryzacji (6) oraz zespół komór
{SPM (7) + reorientacji (10)} muszą być wygrzewane niezależnie od siebie i reszty
układu.
 wymagana gwarancja na system MBE wynosi 2 lata.
 system MBE wraz z elektroniką sterującą musi zmieścić się w zaznaczonym na rys 1
obszarze.
Rys. 1 Wymiary miejsca przeznaczonego na układ MBE (rzut z góry)
14
Rys. 2 Wymiary miejsca przeznaczonego na układ MBE (rzut z boku)
§2. Termin wykonania zamówienia:
Wymaga się aby, dostarczenie, instalacja i uruchomienie przedmiotu zamówienia nastąpiło
nie później niż 31 maja 2011 r.
§3. Warunki udziału w postępowaniu oraz opis sposobu dokonywania
oceny spełniania tych warunków:
1
2
3
4
5
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki z Art.
22 ust. 1 Ustawy PZP, dotyczące:
1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności,
jeżeli przepisy prawa nakładają obowiązek ich posiadania;
2) posiadania wiedzy i doświadczenia;
3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi
do wykonania zamówienia;
4) sytuacji ekonomicznej i finansowej,
i nie podlegają wykluczeniu z postępowania z trybie Art. 24 ust. 1.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą się.
wykonaniem i dostawą przynajmniej 10 sztuk wielokomorowych systemów
wysokopróżniowych o podobnych do przedmiotu zamówienia parametrach.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy ubezpieczeni są od
odpowiedzialności cywilnej na kwotę min. 250 000 EUR
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do
wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 2.
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy nie zalegają z
opłacaniem podatków.
15
6
7
8
O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy nie zalegają z
opłacaniem składek na ubezpieczenia zdrowotne i społeczne.
wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 4-8.
wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 9.
§4. Wykaz oświadczeń i dokumentów, jakie maja dostarczyć wykonawcy
w celu potwierdzenia spełniania tych warunków:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
Oświadczenie o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu zgodnie z Art. 22 ust. 1
Ustawy PZP.
Oświadczenie o braku podstaw do wykluczenia z postępowania zgodnie z Art. 24 ust. 1
Ustawy PZP.
Wykaz dostaw wielokomorowych systemów wysokopróżniowych o podobnych do
przedmiotu zamówienia parametrach, wykonanych w okresie ostatnich trzech lat przed
upływem terminu składania ofert , a jeżeli okres prowadzenia działalności jest krótszy
— w tym okresie, z podaniem ich wartości, przedmiotu, dat wykonania i odbiorców oraz
załączeniem dokumentu potwierdzającego, że te dostawy zostały wykonane należycie.
Opłacona polisa, a w przypadku jej braku inny dokument potwierdzający, że wykonawca
jest ubezpieczony od odpowiedzialności cywilnej w zakresie prowadzonej działalności
związanej z przedmiotem zamówienia.
Aktualny odpis z właściwego rejestru, jeżeli odrębne przepisy wymagają wpisu do
rejestru, w celu wykazania braku podstaw do wykluczenia w oparciu o art. 24 ust. 1 pkt.
2 ustawy, wystawionego nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania
ofert, a w stosunku do osób fizycznych oświadczenia w zakresie art. 24 ust. 1 pkt. 2
Ustawy.
Aktualne zaświadczenie właściwego naczelnika urzędu skarbowego potwierdzające, że
wykonawca nie zalega z opłacaniem podatków, lub zaświadczenie, że uzyskał
przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub rozłożenie na raty zaległych płatności
lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu — wystawionego nie
wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania ofert.
Aktualne zaświadczenie właściwego oddziału ZUS lub KRUS potwierdzającego, że
wykonawca nie zalega z opłacaniem składek na ubezpieczenia zdrowotne i społeczne,
lub potwierdzenia że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub
rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji
właściwego organu — wystawionego nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem
terminu składania ofert.
Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24
ust. 1 pkt. 4-8 ustawy, wystawionej nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu
albo składania ofert.
Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24
ust. 1 pkt. 9 ustawy, wystawionej nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu
albo składania ofert.
Jeżeli, w przypadku wykonawcy mającego siedzibę na terytorium Rzeczypospolitej Polskiej,
osoby, o których mowa w art. 24 ust. 1 pkt. 5-8 ustawy, mają miejsce zamieszkania poza
terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, wykonawca składa w odniesieniu do nich
16
zaświadczenie właściwego organu sądowego albo administracyjnego miejsca zamieszkania
dotyczące niekaralności tych osób w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 5-8 ustawy,
wystawione nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania ofert, z tym że w
przypadku gdy w miejscu zamieszkania tych osób nie wydaje się takich zaświadczeń zastępuje się je dokumentem zawierającym oświadczenie złożone przed notariuszem,
właściwym organem sądowym, administracyjnym albo organem samorządu zawodowego lub
gospodarczego miejsca zamieszkania tych osób.
Jeżeli wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej
Polskiej, zamiast dokumentów, o których mowa w § 4.5 – 4.9:
1) pkt. 5-7 i 9 - składa dokument lub dokumenty wystawione w kraju, w którym ma
siedzibę lub miejsce zamieszkania, potwierdzające odpowiednio, że:
a) nie otwarto jego likwidacji ani nie ogłoszono upadłości,
b) nie zalega z uiszczaniem podatków, opłat, składek na ubezpieczenie społeczne
i zdrowotne albo że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub
rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania
decyzji właściwego organu,
c) nie orzeczono wobec niego zakazu ubiegania się o zamówienie;
2) pkt. 8 - składa zaświadczenie właściwego organu sądowego lub administracyjnego
miejsca zamieszkania albo zamieszkania osoby, której dokumenty dotyczą, w zakresie
określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 4-8 ustawy.
Jeżeli w miejscu zamieszkania osoby lub w kraju, w którym wykonawca ma siedzibę lub
miejsce zamieszkania, nie wydaje się dokumentów, o których mowa powyżej, zastępuje się je
dokumentem zawierającym oświadczenie złożone przed notariuszem, właściwym organem
sądowym, administracyjnym albo organem samorządu zawodowego lub gospodarczego
odpowiednio miejsca zamieszkania osoby lub kraju, w którym wykonawca ma siedzibę lub
miejsce zamieszkania.
Wykonawca może polegać na wiedzy i doświadczeniu, potencjale technicznym, osobach
zdolnych do wykonania zamówienia lub zdolnościach finansowych innych podmiotów,
niezależnie od charakteru prawnego łączących go z nimi stosunków. Wykonawca w takiej
sytuacji zobowiązany jest udowodnić zamawiającemu, iż będzie dysponował zasobami
niezbędnymi do realizacji zamówienia, w szczególności przedstawiając w tym celu pisemne
zobowiązanie tych podmiotów do oddania mu do dyspozycji niezbędnych zasobów na okres
korzystania z nich przy wykonywaniu zamówienia.
§5. Informacje o sposobie porozumiewania się zamawiającego z
wykonawcami, a także wskazanie osób uprawnionych do
porozumiewania się z wykonawcami:
1
2
Zamawiający będzie kontaktował się z wykonawcami drogą faksu lub na piśmie.
Osoby przewidziane do kontaktu z wykonawcami:
 Maciej Zajączkowski – fax: (+48 22) 847 00 82.
§6. Termin związania ofertą:
1
Zamawiający ustala termin związania ofertą na okres 60 dni od daty terminu składania
ofert.
17
§7. Wymagania dotyczące wadium:
1
2
3
Zamawiający ustala kwotę wadium na sumę: 50.000,00 PLN.
Zgodnie z Art. 44 ust. 6 wadium może być wnoszone w jednej lub kilku następujących
formach:
 pieniądzu;
 poręczeniach bankowych lub poręczeniach spółdzielczej kasy oszczędnościowokredytowej, z tym że poręczenie kasy jest zawsze poręczeniem;
 gwarancjach bankowych;
 gwarancjach ubezpieczeniowych;
 poręczeniach udzielanych przez podmioty, o których mowa w art. 6b ust. 5 pkt. 2
ustawy z dnia 9 listopada 2000r. o utworzeniu Polskiej Agencji Rozwoju
Przedsiębiorczości (Dz. U. Nr 109, poz. 1158, z późn. zm.).
Konto bankowe w przypadku wpłaty wadium: BPH SA 77 1060 0076 0000 3210 0014
4494.
§8. Opis sposobu przygotowania oferty:
1
2
3
4
5
6
7
Oferta powinna być sporządzona w języku polskim z zachowaniem formy pisemnej,
trwałą, czytelną techniką.
Każdy wykonawca może złożyć tylko jedną ofertę. Wykonawca, który przedłożył więcej
niż jedną ofertę, zostanie wykluczony z postępowania.
Oferta powinna dotyczyć całości zamówienia zgodnie z wymogami i warunkami
specyfikacji. Nie dopuszcza się składania ofert częściowych.
Oferta powinna zawierać:
 specyfikację techniczną urządzenia;
 termin dostawy;
 warunki dostawy;
 ceny za poszczególne elementy.
Kserokopia dowodu uiszczenia wadium powinna być załączona do oferty; oryginał
powinien być w odrębnej kopercie.
Wszystkie zapisane strony oferty powinny być ponumerowane, podpisane i zszyte.
Oferent powinien zamieścić ofertę w dwóch kopertach z adresem i nazwą
Zamawiającego oraz Oferenta, a także napisem:
"Postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego w trybie przetargu
nieograniczonego na zakup urządzenia MBE [DZPIE/019/2010]"
§9. Miejsce oraz termin składania i otwarcia ofert:
1
2
3
Ofertę należy złożyć w siedzibie Zamawiającego, budynek I pok. Nr. 101 (kancelaria
ogólna) w godzinach 9.00 ÷ 15.00 w dni robocze, do dnia 2 września 2010 r., do godz.
10:00.
W przypadku wysłania oferty pocztą (lub pocztą kurierską) za termin złożenia przyjmuje
się termin otrzymania oferty, a nie datę stempla pocztowego (nadania).
Otwarcie ofert odbędzie się w ostatnim dniu ich składania, w siedzibie Zamawiającego,
budynek I sala 203 o godzinie 10:00.
18
§10. Opis sposobu obliczenia ceny:
1
2
Cena wyrażona w walucie „PLN”
Cena powinna uwzględniać:
 koszt towaru, oprogramowania,
 koszty instalacji,
 koszty opakowania,
 koszty transportu i ubezpieczenie towaru do IF PAN,
 koszty uruchomienia w IF PAN,
 koszty instruktażu obsługi w IF PAN.
§11. Opis kryteriów, którymi zamawiający będzie się kierował przy
wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia
publicznego:
1
2
3
4
5
6
Cena
76 pkt.
Parametry techniczne i zastosowane rozwiązania
10 pkt.
Gwarancja i termin dostawy
14 pkt.
Przy przeliczaniu punktów za cenę, Zamawiający posłuży się wzorem:
Cmin/Cbad x 76
gdzie:
Cmin – cena najtańszej oferty;
Cbad – cena oferty badanej
W ocenie parametrów technicznych i zastosowanych rozwiązań będą brane pod uwagę:
brak zastosowania prętów transferowych (transfer rods), za każdy pręt odejmuje
się 5 pkt. (ruchomy uchwyt oscylatorów kwarcowych nie jest uważany za pręt
transferowy)
liczba źródeł parowania materiałów w komorze wzrostu ponad liczbę
wyspecyfikowaną, za każde - 2 pkt, maksimum 6 pkt
temperatura wygrzewania próbki w komorze wzrostu, za każde 100 oC powyżej
1200 oC - 2 pkt, maksimum 4 pkt
Przyznawanie punktów za gwarancję i skrócenie terminu dostawy:
długość okresu gwarancji: za każdy dodatkowy rok 3 pkt., maksimum 6 pkt.
skrócenie terminu dostawy: za każdy pełny miesiąc - 4 pkt., maksimum 8 pkt.
§12. Informacje o formalnościach, jakie powinny zostać dopełnione po
wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia
publicznego:
1
Wykonawca, który wygra postępowania o udzielenie zamówienia publicznego, powinien
podpisać umowę w ciągu 7 dni od daty zakończenie terminu na wnoszenie odwołań, na
warunkach określonych w niniejszej specyfikacji istotnych warunków zamówienia,
jednak nie później niż termin związania ofertą.
19
§13. Istotne dla stron postanowienia, które zostaną wprowadzone do treści
zawieranej umowy w sprawie zamówienia publicznego:
1
2
Warunki płatności:
 I rata: 40% wartości umowy w terminie do 30 dni od daty podpisania umowy, na
podstawie faktury.
 II rata: 50% wartości umowy w terminie do 30 dni od daty dostawy przedmiotu
zamówienia do IF PAN, na podstawie faktury.
 III rata: 10% wartości umowy w terminie do 30 dni od daty instalacji i podpisania
protokołu odbioru technicznego przedmiotu zamówienia, na podstawie faktury.
Kwotę zabezpieczenia I raty, Zamawiający ustala na 10% jej wartości.
W przypadku wystąpienia zwłoki w wykonaniu przedmiotu umowy, Wykonawca
zobowiązuje się zapłacić na rzecz Zamawiającego kary umowne w wysokości 0,1%
wartość umowy za każdy dzień zwłoki, począwszy od pierwszego dnia następującego po
umownym terminie wykonania. Suma kar nie może przekroczyć 10% wartości umowy.
§14. Pouczenie o środkach ochrony prawnej:
Środki ochrony prawnej, przysługujące wszystkim wykonawcom, opisane są w Dziale VI
Prawa Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004r (Dz. U. Nr 19, poz. 177 z dnia 9 lutego
2004 wraz z późniejszymi zmianami).
20
……………………………
……………………………
pieczęć adresowa Oferenta
data
Oświadczenie
Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y,
że spełniam/y warunki udziału w niniejszym postępowaniu zawarte w art. 22 ust. 1
Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych, który stanowi, że:
„O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki, dotyczące:
1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności, jeżeli przepisy
prawa nakładają obowiązek ich posiadania;
2) posiadania wiedzy i doświadczenia;
3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi do wykonania
zamówienia;
4) sytuacji ekonomicznej i finansowej.”.
…………………………
podpis i pieczęć imienna Oferenta
……………………………
……………………………
data
Oświadczenie
Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y,
że nie podlegam/y wykluczeniu zgodnie z Art. 24 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień
Publicznych, który stanowi, że:
„1. Z postępowania o udzielenie zamówienia wyklucza się:
1) wykonawców, którzy wyrządzili szkodę, nie wykonując zamówienia lub wykonując je
nienależycie, jeżeli szkoda ta została stwierdzona orzeczeniem sądu, które uprawomocniło się
w okresie 3 lat przed wszczęciem postępowania;
2) wykonawców, w stosunku do których otwarto likwidację lub których upadłość ogłoszono, z
wyjątkiem wykonawców, którzy po ogłoszeniu upadłości zawarli układ zatwierdzony
prawomocnym postanowieniem sądu, jeżeli układ nie przewiduje zaspokojenia wierzycieli
przez likwidację majątku upadłego;
3) wykonawców, którzy zalegają z uiszczeniem podatków, opłat lub składek na ubezpieczenia
społeczne lub zdrowotne, z wyjątkiem przypadków gdy uzyskali oni przewidziane prawem
zwolnienie, odroczenie, rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości
wykonania decyzji właściwego organu;
4) osoby fizyczne, które prawomocnie skazano za przestępstwo popełnione w związku z
postępowaniem o udzielenie zamówienia, przestępstwo przeciwko prawom osób wykonujących
pracę zarobkową, przestępstwo przeciwko środowisku, przestępstwo przekupstwa,
przestępstwo przeciwko obrotowi gospodarczemu lub inne przestępstwo popełnione w celu
osiągnięcia korzyści majątkowych, a także za przestępstwo skarbowe lub przestępstwo udziału
w zorganizowanej grupie albo związku mających na celu popełnienie przestępstwa lub
przestępstwa skarbowego;
5) spółki jawne, których wspólnika prawomocnie skazano za przestępstwo popełnione w związku
z postępowaniem o udzielenie zamówienia, przestępstwo przeciwko prawom osób
wykonujących pracę zarobkową, przestępstwo przeciwko środowisku, przestępstwo
przekupstwa, przestępstwo przeciwko obrotowi gospodarczemu lub inne przestępstwo
popełnione w celu osiągnięcia korzyści majątkowych, a także za przestępstwo skarbowe lub
przestępstwo udziału w zorganizowanej grupie albo związku mających na celu popełnienie
przestępstwa lub przestępstwa skarbowego;
6) spółki partnerskie, których partnera lub członka zarządu prawomocnie skazano za
przestępstwo popełnione w związku z postępowaniem o udzielenie zamówienia, przestępstwo
przeciwko prawom osób wykonujących pracę zarobkową, przestępstwo przeciwko środowisku,
przestępstwo przekupstwa, przestępstwo przeciwko obrotowi gospodarczemu lub inne
przestępstwo popełnione w celu osiągnięcia korzyści majątkowych, a także za przestępstwo
skarbowe lub przestępstwo udziału w zorganizowanej grupie albo związku mających na celu
popełnienie przestępstwa lub przestępstwa skarbowego;
7) spółki komandytowe oraz spółki komandytowo-akcyjne, których komplementariusza
prawomocnie skazano za przestępstwo popełnione w związku z postępowaniem o udzielenie
zamówienia, przestępstwo przeciwko prawom osób wykonujących pracę zarobkową,
przestępstwo przeciwko środowisku, przestępstwo przekupstwa, przestępstwo przeciwko
obrotowi gospodarczemu lub inne przestępstwo popełnione w celu osiągnięcia korzyści
majątkowych, a także za przestępstwo skarbowe lub przestępstwo udziału w zorganizowanej
grupie albo związku mających na celu popełnienie przestępstwa lub przestępstwa
skarbowego;
8) osoby prawne, których urzędującego członka organu zarządzającego prawomocnie skazano za
przestępstwo popełnione w związku z postępowaniem o udzielenie zamówienia, przestępstwo
przeciwko prawom osób wykonujących pracę zarobkową, przestępstwo przeciwko środowisku,
przestępstwo przekupstwa, przestępstwo przeciwko obrotowi gospodarczemu lub inne
przestępstwo popełnione w celu osiągnięcia korzyści majątkowych, a także za przestępstwo
skarbowe lub przestępstwo udziału w zorganizowanej grupie albo związku mających na celu
popełnienie przestępstwa lub przestępstwa skarbowego;
9) podmioty zbiorowe, wobec których sąd orzekł zakaz ubiegania się o zamówienia na podstawie
przepisów o odpowiedzialności podmiotów zbiorowych za czyny zabronione pod groźbą kary.
…………………………
……………………………
……………………………
data
Wykaz części zamówienia, które Wykonawca powierzy
podwykonawcom.
Lp
Zakres zamówienia, który Wykonawca zamierza powierzyć
podwykonawcom
1
2
3
4
5
…………………………

Logo IFPAN po polsku - Instytut Fizyki PAN

Transkrypt

Podobne dokumenty

pobierz katalog

komora szybkiego schładzania

SPECYFIKACJA TECHNICZNA PRZEDMIOTU ZAMÓWIENIA

PODAJNIK KASOWY Z PRZESUWNĄ POJEMNĄ KOMORĄ

Komora laminarna BIO130 CYTO TYPU A2 - E

Zapytanie ofertowe na dostawę:

Komory chłodnicze do przechowywania zwłok

ekspertyza 2

FORMULARZ ZAMÓWIENIA

Druk zwrotu towaru - Bike Concept Store