1 OPISY KURSÓW • Kod kursu: MCD5103 • Nazwa kursu

OPISY KURSÓW

Kod kursu:

Nazwa kursu: Sensory i aktuatory

Język wykładowy:
MCD5103
polski
Forma kursu
Wykład
Tygodniowa
liczba godzin
1
ZZU *
Semestralna
liczba godzin
ZZU*
Forma
Kolokwium
zaliczenia
Punkty ECTS
1
Liczba godzin
30
CNPS
Ćwiczenia
Laboratorium
Projekt
Seminarium
2
Ocena
2
60

Poziom kursu
podstawowy

Wymagania wstępne: Fizyka

Imię, nazwisko i tytuł/ stopień prowadzącego: Rafał Walczak, dr. inż.

Imiona i nazwiska oraz tytuły/stopnie członków zespołu dydaktycznego:

Rok: III Semestr: V

Typ kursu (obowiązkowy/wybieralny): Obowiązkowy
(podstawowy/zaawansowany):
studia
I
stopnia
stacjonarne,
 Cele zajęć (efekty kształcenia): W ramach wykładu omówione zostaną podstawy
działania czujników siły ze specjalnym uwzględnieniem czujników ciśnienia i przyspieszenia.
Omówione zostaną zagadnienia związane z konstrukcja, parametrami oraz zasadami
wykorzystania tych czujników. Przedstawione zostaną różne metody aktuacji i detekcji
w mikroskali. Zaprezentowany zostanie przegląd wybranych mikromaszyn integrujących
czujniki i aktuatory. Wykład zilustrowany omówieniem konstrukcji czujników i aktuatorów
mikrosystemowych opisanych w literaturze przedmiotu.

Forma nauczania (tradycyjna/zdalna): Tradycyjna

Krótki opis zawartości całego kursu:

Wykład (podać z dokładnością do 2 godzin):
Zawartość tematyczna poszczególnych godzin wykładowych
Liczba godzin
1. Przegląd wybranych metod aktuacji i detekcji wykorzystywanych w MEMS
2
2.Wstęp do mechaniki mikrostruktur, ugięcie i naprężenie w różnych
2
strukturach mikromechanicznych
2
3. Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia – zasada działania, konstrukcja
2
4. Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia – parametry, kondycjonowanie
2
sygnału wyjściowego, przykłady
1
5. Czujniki przyspieszenia i żyroskopy – zasada działania, konstrukcja,
parametry i przykłady
6. Mikromaszyny jako mikrosystemy łączące czujniki i aktuatory.
7. Kolokwium zaliczeniowe

Ćwiczenia – zawartość tematyczna:

Seminarium – zawartość tematyczna:

Laboratorium – zawartość tematyczna:
2
2
2
1. Mikromechaniczne struktury krzemowo-szklane – konstrukcja i technologia.
2. Piezorezystancyjny krzemowo-szklany czujnik ciśnienia – konstrukcja, technologia
i podstawowe parametry.
3. Analogowe i cyfrowe metody przetwarzania sygnału z piezorezystancyjnego
krzemowo-szklanego czujnika ciśnienia.
4. Pojemnościowy mikromechaniczny czujnik ciśnienia – konstrukcja, technologia
i podstawowe parametry.
5. Termoprzewodnościowy czujnik przepływu gazów.
6. Przepływ cieczy w mikroskali dla zastosowań mechatronicznych.
7. Mikrozawory z aktuacją pneumatyczną.

Projekt – zawartość tematyczna:
 Literatura podstawowa:
1. M. Bao, Analysis and Design Principles of MEMS Devices, Elsevier 2005
2.
J. Dziuban, Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych
i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów, Oficyna Wydawnicza Politechniki
Wrocławskiej 2004.
3.
Karty katalogowe przedstawianych czujników i aktuatorów

Literatura uzupełniająca:

Warunki zaliczenia:
* - w zależności od systemu studiów
2