Wykład_OFI_5_Cienkie warstwy
Transkrypt
Wykład_OFI_5_Cienkie warstwy
CIENKIE WARSTWY prof. dr hab. inż. Krzysztof Patorski Nakładając na pewne podłoże (np. powierzchnię soczewki) kilka warstw dielektrycznych (przez naparowanie / napylenie) o odpowiednio dobranych współczynnikach załamania i grubościach, można w kontrolowany sposób zmniejszyć lub zwiększyć współczynnik odbicia w różnych częściach widma promieniowania. Można udowodnić, że dla pojedynczej warstwy przeciwodblaskowej AR (ang. antireflection) 1 < ns < np, a dla warstwy o wysokim współczynniku odbicia 1 < ns > np. n=1 IS1 IpS I0 I0 I1S ISp nS np d warstwa podłoże Pomijając wtórne odbicia (niewielki wpływ przy małych kątach padania) światło wchodzące lub wychodzące jest częściowo odbijane na obydwu powierzchniach tworząc wiązki I1S i Isp, oraz IpS i Is1,które interferują ze sobą. Rozpatrując zjawisko dla ustalonej długości fali λ0, w obydwu przypadkach można zapisać tę samą zależność dla intensywności światła odbitego Irλ = I1λ + ISλ + 2 I1λISλ cos4 π nsd λ0 Skoki fazy między interferującymi promieniami są jednakowe i można je pominąć. Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski W celu zmniejszenia IrλÆ 0 przy danej długości fali λ0 należy spełnić następujące warunki d= λ0 (2M + 1) ; M = 0,1,2,... 4nS wtedy otrzymuje się oraz Irλ = I1λ + ISλ − 2 I1λISλ = 0 I1λ = ISλ gdy I1λ = ISλ Z wzorów Fresnela, dla światła wchodzącego do ośrodka, mamy ⎛ n − 1⎞ I1λ = I0λ ⎜⎜ s ⎟⎟ ⎝ n s + 1⎠ 2 ; ISλ ⎛ np − n s ⎞ ⎟ = (I0λ − I1λ )⎜ ⎜n +n ⎟ s ⎠ ⎝ p 2 Podobne zależności można napisać dla światła wychodzącego. Ponieważ I0λ >> I1λ, stąd wystarczającym warunkiem do spełnienia równania I1λ = ISλ będzie nS = np Dla szkieł np. =1.5 ÷ 1.8, ns powinno mieć wartość zawartą w przedziale 1.22 ÷ 1.34. Materiałem mieszczącym się w tym przedziale jest kryolit ns = 1.3, ale z uwagi na jego niską odporność mechaniczną najczęściej stosuje się fluorek magnezu MgF2, ns = 1.38. Z tego powodu pokrycie jednowarstwowe z MgF2 nie pozwala na całkowite wyeliminowanie światła odbitego (znacznie lepsze rezultaty uzyskuje się dla szkieł o wysokich współczynnikach załamania). Poza tym zależność λM d= 0 4n s może być spełniona tylko dla jednej długości fali, dla pozostałych λ współczynnik odbicia ≠0. Łatwo wykazać, wzrost współczynnika odbicia wraz ze zmianą λ jest najmniejszy dla M=1. Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Współczynnik odbicia powierzchni szklanej pokrytej pojedynczą warstwą w funkcji grubości fazowej warstwy. Krzywe wykreślono dla czterech wartości współczynnika załamania warstwy (n1=1, np.=1.5) Z wykresu wynika sposób doboru ns dla realizacji warstw minimalizujących (AR) i maksymalizujących odbicie. Rozwiązania praktyczne Materiały: Podkłady: szkło n=1.51 ÷ 1.70, kwarc 1.46, krzem 3.5 (dla podczerwieni), Ge n=4.05 (dla podczerwieni) Warstwy: kryolit 1.35 (miękki), ZnS 2.3 (miękki), SiO2 1.44 (twardy), MgF2 1.38 (twardy), TiO2 2.2 (twardy), ZrO2 2.05 (twardy) Metale: Ag n = 0.1 - 3.9i; Al. n = 1 - 6i; Au n = 7 - 53i Z uwagi na dużą absorpcję stosuje się b. cienkie warstwy metaliczne o grubości <<λ. Dla b. grubej warstwy można stosować wzory Fresnela (zespolona wartość n!). Stosowane są głównie na pokrycia zwierciadeł, często pokrywa się warstwami dielektrycznymi w celu zmniejszenia absorpcji. Poza tym warstwy metaliczne są rzadko stosowane. Jedyne inne ważne zastosowanie - w filtrach interferencyjnych. Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Pokrycia AR Współczynnik odbicia dla szkła (n = 1.5) pokrytego pojedynczą warstwą kryolitu (n = 1.35). Oświetlenie normalne z powietrza. Na osi odciętych λ0/λ, gdzie λ0 oznacza długość fali, dla której kryolit jest warstwą ćwierćfalową. Dla „zaprojektowanej” długości fali współczynnik odbicia ≈ 1% Jak wyżej, ale dla kąta padania 45°. Sytuacja poprawia się dla składowej ρ||, ale pogarsza się dla ρ⊥. Przesuwa się także położenie minimum, ponieważ zmianie ulega efektywna grubość warstwy. Warstwa staje się ćwierćfalówką dla krótszej długości fali, tzn. λ0/λ > 1. Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Właściwości AR polepszają się przy warstwach podwójnych. Projektuje się je dla uzyskania minimalnego współczynnika odbicia dla wybranej długości fali λ0 lub umożliwienia pracy przy nieco większej wartości współczynnika odbicia, ale w poszerzonym zakresie spektralnym. Przykładem rozwiązania pierwszego typu jest pokrycie n0 = 1 1.38 1.7 1.52 spełniające zależność 2 n3n1 = n0n2 2 Pokrycia o wysokim współczynniku odbicia Z podanego wcześniej wykresu (współczynnik odbicia przy warstwie pojedynczej) wynika, że współczynnik odbicia powierzchni szklanej można zwiększyć przez naniesienie cienkiej warstwy o wysokim współczynniku odbicia i grubości optycznej λ/4. Takie materiały jak ZnS (n = 2.35), CeO2 (n = 2.2 ÷ 2.4) i TiO2 (n = 2.2 ÷ 2.7) są stosowane na powierzchnie światłodzielące o małych stratach (zastąpiły one stosowane w tym celu cienkie warstwy metaliczne). Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Pokrycia wielowarstwowe o wysokim współczynniku odbicia Nakłada się na przemian warstwy ćwierćfalowe o wysokim i niskim współczynniku załamania. Przykładowo, stosując ZnS (n = 2.3) i kryolit (n = 1.35) dla padania normalnego i pod kątem 45°, uzyskuje się następujące wartości współczynnika odbicia dla pokrycia typu: powietrze (HL)N H szkło; N - liczba par (HL) N ρ (0°) ρ|| (45°) ρ⊥ (45°) 0 0.312 0.174 0.454 1 0.676 0.489 0.806 2 0.874 0.737 0.942 3 0.955 0.877 0.984 4 0.984 0.945 0.995 5 0.995 0.976 0.999 Widać natychmiast, że znacznie trudniej jest uzyskać wysoki współczynnik odbicia dla światła spolaryzowanego w płaszczyźnie padania niż w płaszczyźnie prostopadłej do płaszczyzny padania. Tę właściwość wykorzystuje się w projektowaniu polaryzatorów cienkowarstwowych. Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Zmianę współczynnika odbicia w funkcji długości fali dla N = 2 i N = 5 dla padania normalnego pokazano na wykresie poniżej. Zmiany współczynnika odbicia w funkcji λ0/λ dla 5 warstwowego (a) i 11 warstwowego (b) pokrycia, oświetlenie normalne. Powietrze (HL)NH szkło, N = 2 i N = 5. H: n = 2.3; L: n = 1.35 Kolejny wykres pokazuje ρ⊥ i ρ|| dla zwierciadła pod kątem 45°, N = 5. Jak w przypadku (b) powyżej, ale dla kąta padania 45° Z wykresów wynika, że tylko w centralnej części ρ jest wysokie, poza tą częścią mamy funkcję oscylacyjną. Szerokość centralnego zakresu wyznacza się z zależności ⎛ n − nH ⎞ ⎛π λ ⎞ ⎟⎟ cos⎜ ⋅ 0 ⎟ = ±⎜⎜ L + 2 λ n n ⎝ ⎠ H ⎠ ⎝ L Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Dla poszerzenia zakresu widmowego z wysoką wartością ρ stosuje się zwierciadło składające się z dwóch zespołów warstw zaprojektowanych dla różnych wartości środkowej długości fali, lub wielu zespołów z płynną zmianą centralnej długości fali. Zmiany współczynnika odbicia dla jednego z przykładowych rozwiązań pokazano poniżej. Współczynnik odbicia dla pokrycia 19-to warstwowego składającego się z dwóch zespołów: 9 warstw o średniej długości fali λ1=0.85 λ0, drugi zespół dla centralnej długości fali λ2=1.15 λ0, plus warstwa rozdzielająca między tymi dwoma zespołami. Ta prosta konstrukcja zapewnia ρ>o.9 dla większości zakresu widzialnego. Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Zwierciadła dichroniczne Ponieważ współczynnik odbicia takich zwierciadeł silnie zależy od λ, możliwe jest wykonanie zwierciadeł dichroicznych z powłok cienkowarstwowych. Jednym z problemów jest obecność oscylacji na zewnątrz pasma centralnego. Ich amplitudę można zmniejszyć wprowadzając warstwy λ/8 na wejściu i wyjściu pokrycia wielowarstwowego. Wykres poniżej pokazuje przykład takiego zwierciadła stosowanego w obiektywach telewizji kolorowej dla separacji różnych pasm barwowych. Powietrze (H/2) (LH)4 L(H/2) szkło, kąt padania 45°. H/2 odpowiada λ/8. Zwierciadło tego typu może służyć do transmisji większych długości fal, ograniczenie górne 1.2λ0. Jeśli warstwy λ/8 byłyby wykonane z materiału o niskim współczynniku załamania, wtedy otrzymalibyśmy filtr transmitujący krótsze długości fal. Podobne rozwiązania (tzw. filtry krawędziowe/brzegowe) stosuje się do transmisji do pewnej długości fali ( ). Czasami wykorzystuje się w nich cienką warstwę półprzewodników o wartości odcięcia dla żądanej długości λ. Przykład Powietrze | ZnS | PbTe | ZnS | podłoże Tutaj PbTe ma wartość odcięcia dla λ=3.5 μm; warstwa ZnS pełni rolę warstwy AR. Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Polaryzacyjne elementy światłodzielące (ang. PBS – polarisation beam splitters) Wspomniano wyżej, że trudniej jest uzyskać wysoki współczynnik odbicia dla składowej polaryzacji w płaszczyźnie padania niż dla składowej w płaszczyźnie prostopadłej. Spadek do zera współczynnika odbicia jednej ze składowych przy kącie Brewstera można wykorzystać w polaryzatorze cienkowarstwowym. Przykładowo, jeśli światło pada ze szkła (n = 1.52) pod kątem 50o na przemiennie nałożone warstwy ZnS (n = 2.3) i kryolitu (n = 1.35), wtedy wchodzi ono do warstw ZnS / kryolit pod kątem Brewstera. W ten sposób współczynnik odbicia dla składowej prostopadłej może być bardzo wysoki przy zastosowaniu wielu par warstw tego typu, a współczynnik odbicia dla składowej równoległej pozostaje bardzo niski. Przykład dobrego dzielnika polaryzacyjnego, tzw. polaryzator MacNeille'a Siedmiowarstwowy polaryzator MacNeille'a Współczynnik odbicia w funkcji długości fali dla polaryzatora pokazanego na rysunku powyżej. Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Filtry interferencyjne Zasada interferometru F - P Jednym z prostych sposobów wykonania cienkowarstwowego interferometru Fabry’ego - Perota jest naniesienie na podkład warstwy metalicznej (zwierciadła 1), następnie dielektrycznej warstwy o grubości m λ/2, i kolejno następnej warstwy metalicznej (zwierciadło 2). Wydajność energetyczna ograniczona jest przez absorpcję metalu. Przykładowo, dla m = 3 można uzyskać Δλ~10 nm, maksymalna transmisja ~0.5 (Ag I MgF2). Bardziej wydajnym jest zastosowanie dielektryków. Praktyczne rozwiązania (dla m = 1) to HLH. LL. HLH (HL)5. HH. (LH)5 λ0 = 520 nm λ0 = 660 nm Imax = 0.9 Imax = 0.5 λ0 = 38 nm Δλ = 2 nm Przepuszczalność filtra: szkło (HL)5 HH (LH)5 szkło Rozkład całkowity determinowany jest przez ρ dla każdego zwierciadła z osobna, ale kształt środkowego piku jest wynikiem właściwości interferometru F - P. Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski Jeszcze mniejsze szerokości spektralne można uzyskać pokrywając obie strony cienkiej płytki z miki lub wypolerowanej płytki szklanej. Jednakże sąsiednie rzędy (odpowiadające wartościom m różniącym się o 1) zbliżają się i często należy złożyć kilka filtrów (nałożonych na ten sam podkład), aby te rzędy zminimalizować. Kombinacje tych filtrów ("multiple cavity filters") stosuje się również w celu uzyskania transmisji w umiarkowanym zakresie spektralnym, ale przy silnym tłumieniu na zewnątrz pasma środkowego. Środkowy pik pokazany w zmienionej skali. Dla λ0 = 660 nm teoretycznie Δλ ≈ 1.3 nm. Transmisja filtra F - P zależy od kąta padania. Fakt ten można wykorzystać w celu przesunięcia pików transmisyjnych F - P o małe wartości. Przesunięcie występuje zawsze w kierunku barwy niebieskiej. Bezpieczniej więc jest kupić filtr o paśmie przepuszczania dla nieznacznie większej długości fali niż wymagania i stosować go lekko pochylonym w celu skompensowania ewentualnych błędów konstrukcyjnych lub stosować go w innych konfiguracjach. Przepuszczalność filtra cienkowarstwowego o konstrukcji: szkło HLHLH.LL.HLHLH.L.HLHLH.LL.HLHLH szkło Δλ = 0.016 λ0 ≈ 8 nm Optyka falowa cz. 1: Cienkie warstwy – K.Patorski