1 OPISY KURSÓW • Kod kursu: ETD3074 • Nazwa kursu: Technika

OPISY KURSÓW

Kod kursu: ETD3074

Nazwa kursu: Technika próżni

Język wykładowy: polski
Forma kursu
Tygodniowa
liczba godzin
ZZU *
Semestralna
liczba godzin
ZZU*
Forma
zaliczenia
Punkty ECTS
Liczba godzin
CNPS
Wykład
2
Ćwiczenia
Laboratorium
3
15
15
Kolokwium
Zal. z oceną
Projekt
Seminarium

Poziom kursu
zaawansowany

Wymagania wstępne: zaliczony kurs z fizyki

Imię, nazwisko i tytuł/ stopień prowadzącego: Witold Posadowski, dr hab. inż.

Imiona i nazwiska oraz tytuły/stopnie członków zespołu dydaktycznego: Artur
Wiatrowski, dr inż.

Rok: ......III...... Semestr:.......6.................

Typ kursu (obowiązkowy/wybieralny): wybieralny

Cele zajęć (efekty kształcenia): Wykład przedstawia klasyfikację, sposoby
wytwarzania i metodologię mierzenia próżni (środowiska gazowego przy ciśnieniach
mniejszych od ciśnienia atmosferycznego).

Forma nauczania (tradycyjna/zdalna): tradycyjna
(podstawowy/zaawansowany):
studia
I
stopnia
stacjonarne,
 Krótki opis zawartości całego kursu:
Celem kursu jest zaznajomienie studentów z problematyką i współczesnymi aplikacjami
techniki próżniowej. W ramach kolejnych wykładów omawiane są specyficzne właściwości
środowiska gazów rozrzedzonych, zjawiska występujące w tym środowisku oraz metody
wytwarzania i pomiaru próżni. Analizowane są możliwości wykorzystania w procesach
technologicznych stosowanych w szeroko rozumianej mikroelektronice cienkowarstwowej
wykorzystując wiedzę na temat zjawisk zachodzących podczas procesów w atmosferze
obniżonego ciśnienia (próżnia).

Wykład (podać z dokładnością do 2 godzin):
Zawartość tematyczna poszczególnych godzin wykładowych
1. Wprowadzenie. Definicje. Elementy kinetycznej teorii gazów
2. Przepływ gazu. Zasady projektowania instalacji próżniowych
3. Pompy próżni wstępnej
Liczba godzin
2
2
2
1
4. Pompy wysokiej próżni
5. Metody pomiaru ciśnienia. Próżniomierze
6. Pomiary ciśnień cząstkowych gazu
7. Procesy technologiczne przy obniżonym ciśnieniu
8. Podsumowanie
9. Zaliczenie

Ćwiczenia – zawartość tematyczna:

Seminarium – zawartość tematyczna:

Laboratorium – zawartość tematyczna:
2
2
1
2
1
1
Laboratorium rozpoczyna się w połowie semestru po zakończeniu wykładu. Wymiar 15 h
zajęć laboratoryjnych jest podzielony na 3-godzinne zajęcia tygodniowe. Cztery zestawy
ćwiczeń laboratoryjnych, uwzględniające:
 badanie zjawisk zachodzących przy obniżonym ciśnieniu,
 badanie charakterystyk stanowiska próżniowego NP-500 z układem pompowym na bazie
pompy dyfuzyjnej i pompy obrotowej (pomiar charakterystyk środowiska gazowego),
 badanie i pomiary parametrów zbiornika próżniowego przygotowywanego do procesów
próżniowego osadzania cienkich warstw metodą magnetronowego rozpylanie,
 pomiary nieszczelności i przepływów intencjonalnie wprowadzanych gazów roboczych
do komory procesowej stanowiska próżniowego.

Projekt – zawartość tematyczna:
 Literatura podstawowa:
Notatki z wykładu.
J. Groszkowski „Technika Wysokiej Próżni”, WNT W-wa, 1978;
A. Hałas „Technologia Wysokiej Próżni”, PWN W-wa, 1980;
J. Groszkowski, „Zagadnienia próżni w nauce, technice i przemyśle”, WNT, Warszawa, 1983,
A. Hałas, P. Szwemin, „Podstawy techniki próżni”, Uczelniane Wyd. Naukowo-Dyd.,
Kraków, 2008.Literatura uzupełniająca:
M. Wutz, H. Adam, W. Walcher „Theory and Practice of Vacuum Technology”,
Friedr.Vieweg & Sohn, Braunschweig, 1989,
J.O’Hanlon, “A user’s Guide to Vacuum Technology”, Wiley-Interscience, (third edition),
2003,
B. Chapman, Glow Discharge Processes – Sputtering & Plasma Etching, A Wiley
Interscience Publication, John Wiley&Sons Inc., 1980,
Nigel Harris, “Modern Vacuum Practice”, self-published, (third edition), 2005.
 Warunki zaliczenia: Pozytywna ocena z kolokwium i zaliczenie ćwiczeń
laboratoryjnych.
* - w zależności od systemu studiów
2